مواجهه با رشد فیلم تأثیر بسیار مهمی دارد. اگر زبری سطح زیرلایه زیاد باشد و بیشتر و بیشتر با نقصهای سطحی ترکیب شود، بر اتصال و سرعت رشد فیلم تأثیر میگذارد. بنابراین، قبل از شروع پوششدهی خلاء، زیرلایه پیشپردازش میشود که نقش زبری سطح زیرلایه را روی سطح زیرلایه ایفا میکند. پس از مداخله اولتراسونیک، سطح زیرلایه یک خراش کوچک ایجاد میکند که باعث افزایش سطح تماس ذرات فیلم نازک و سطح زیرلایه میشود که میتواند به طور قابل توجهی باعث افزایش رسمیت روتور و ترکیب پایه غشایی شود.
برای اکثر مواد زیرلایه، با کاهش زبری زیرلایه، چسبندگی فیلم افزایش مییابد، یعنی نیروی اتصال پایه غشا قویتر میشود؛ همچنین برخی از مواد زیرلایه موارد خاصی هستند، مانند اتصال فیلم پایه سرامیکی. درجه کاهش مییابد، یعنی نیروی اتصال پایه غشا ضعیف میشود.
در عوامل تأثیرگذاری که با فیلم و فیلم مطابقت دارند، ضریب حجمی حرارتی نقش تعیینکنندهای دارد. وقتی ضریب انبساط حرارتی فیلم بیشتر از ضریب انبساط حرارتی ماتریس باشد، گشتاور منفی است و حداکثر کشش در مرز آزاد است. نزدیک به مرکز مرکز فشرده میشود و فیلم ممکن است لایه لایه به نظر برسد. به عنوان مثال، فیلم نازک رسوبی Skinus را در نظر بگیرید. از آنجا که ضریب انبساط حرارتی الماس کوچک است، وقتی رسوب فاز گازی تمام میشود، دمای زیرلایه از دمای رسوبی بالاتر به دمای اتاق کاهش مییابد و انقباض الماس در مقایسه با زیرلایه کاهش مییابد. تنش حرارتی زیادی در داخل ایجاد میشود. وقتی ضریب انبساط حرارتی فیلم کمتر از ضریب گرمایش زیرلایه باشد، گشتاور مثبت است و لایه گذاری فیلم آسان نیست.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۹ فوریه ۲۰۲۴