با توسعه روزافزون پوششدهی کندوپاش، به ویژه فناوری پوششدهی کندوپاش مگنترون، در حال حاضر، برای هر مادهای که بتوان آن را با بمباران یونی تهیه کرد، میتوان فیلم هدف را ایجاد کرد، زیرا هدف در فرآیند پوششدهی به نوعی زیرلایه کندوپاش میشود، کیفیت فیلم اندازهگیری شده تأثیر مهمی دارد، بنابراین، الزامات مربوط به ماده هدف نیز دقیقتر شده است. در انتخاب ماده هدف، علاوه بر استفاده از خود فیلم، باید موارد زیر را نیز در نظر گرفت:
ماده هدف باید پس از لایه نشانی، استحکام مکانیکی و پایداری شیمیایی خوبی داشته باشد.
هدف و زیرلایه باید کاملاً با هم ترکیب شوند، در غیر این صورت باید با زیرلایهای که ترکیب خوبی از لایه غشایی دارد، گرفته شود، ابتدا یک فیلم پایه را کندوپاش کرده و سپس لایه غشایی مورد نیاز را آماده کنید.
به عنوان یک واکنش، پاشش به داخل غشا، مادهای را در نظر بگیرید که به راحتی با گاز واکنش دهد تا یک لایه ترکیبی تشکیل دهد.
با فرض برآورده شدن الزامات عملکرد غشاء، اختلاف بین ضریب انبساط حرارتی ماده هدف و زیرلایه تا حد امکان کم است، به طوری که تأثیر تنش حرارتی بر غشاء کندوپاش شده به حداقل برسد.
با توجه به الزامات استفاده و عملکرد غشاء، ماده هدف باید خلوص، محتوای ناخالصی، یکنواختی اجزا، دقت ماشینکاری و سایر الزامات فنی را برآورده کند.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ژانویه-09-2024