ساختار منبع تبخیر گرمایش مقاومتی ساده، آسان برای استفاده و ساخت آسان است و پرکاربردترین نوع منبع تبخیر است. معمولاً به آن مولد گرما یا قایق تبخیر میگویند.
الزامات گرمایش مواد مقاومتی مورد استفاده عبارتند از: دمای بالا، مقاومت ویژه، فشار بخار پایین در دماهای بالا، عدم واکنش شیمیایی با مواد غشایی، عدم تولید گاز و آلودگی. مواد گرمایش مقاومتی انتخاب شده عمدتاً از فلزات نسوز مانند W، Mo، Ta و سایر مواد یا انتخاب گرافیت با خلوص بالا و استحکام بالا یا سرامیکهای رسانای مصنوعی نیترید بور و سایر مواد. گاهی اوقات، میتوان آلیاژ Fe، Ni، Ni-Cr و Pt را نیز به عنوان ماده منبع تبخیر انتخاب کرد.
منابع تبخیر و حرارت با مقاومتهای مختلف، منحنی رابطه نقطه ذوب و فشار بخار و دمای مواد رایج (مانند Ti، Mo، C، Ta، W و غیره) را متفاوت میکنند. در میان آنها، تنگستن به دلیل محصول اتصال حرارتی، هنگام گرم شدن تا دمای تبخیر شکننده میشود. از سوی دیگر، خلوص مولیبدن متفاوت است، برخی شکننده میشوند و برخی دیگر نه. تنگستن با بخار آب واکنش میدهد و ترکیب اکسیژن فرار WO3 را تشکیل میدهد.
بنابراین، هنگامی که تنگستن در بخار آب باقیمانده گرم میشود، ماده گرم شده به طور مداوم تخلیه میشود. هنگامی که فشار گاز باقیمانده کم است، اتلاف مواد زیادی وجود ندارد، اما آلودگی جدی برای غشاء ایجاد میشود.
در استفاده از منابع رشتهای باید به خیس شدن سیم داغ روی ماده غشاء توجه شود. به عنوان مثال، افزایش سریع دمای سیم داغ، ذوب فوری تمام ماده غشاء توسط ماده غشاء آسان نیست و خیس شدن سیم داغ کافی نیست. در نتیجه، فیلم ذوب نشده ممکن است از سبد سیم خارج شود. در عین حال، افزایش بیش از حد سریع دما همچنین باعث میشود که ماده غشاء به سرعت در گاز آزاد شود و در نتیجه حباب یا پاشش ایجاد شود که در نتیجه قطرات کوچک به زیرلایه میچسبند. بنابراین، منابع رشتهای باید با کنترل دما استفاده شوند.
عیب اصلی سبدهای سیمی، کویلهای مخروطی یا کویلهای مارپیچی این است که مقدار مادهی فیلم نگهدارنده بسیار کم است و این منبع باعث میشود که با کاهش مقدار مادهی فیلم پس از تبخیر مادهی فیلم، دمای سیم داغ افزایش یابد و در نتیجه باعث افزایش نرخ تبخیر شود. این نیز مشکلی است که باید برای فرآیند ساخت فیلم که نیاز به کنترل دقیق نرخ تبخیر دارد، مورد توجه قرار گیرد.
(2) اصل کار و شکل ساختار و ویژگی استفاده
منبع تبخیر گرمایش مقاومتی، در واقع، بخاری مقاومتی است. در این روش از مولد گرما یا قایق تبخیر که مستقیماً انرژی میگیرد، استفاده میشود، به طوری که جریان از طریق تعداد زیادی ژول گرما ایجاد میکند و دمای بالایی برای ذوب شدن مواد فیلم فلزی ایجاد میکند، به طوری که تبخیر آن نوعی منبع تبخیر است.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۳ فوریه ۲۰۲۴