Ioi estaldurak esan nahi du erreaktiboak edo lurrundutako materialak substratuan metatzen direla gas ioien edo lurrundutako materialen ioi bonbardaketaren bidez, lurrundutako materialak disoziatzen edo gas bidez isurtzen diren bitartean huts-ganbera batean. Katodo hutseko estaldura gogorreko ekipamenduen printzipio teknikoa katodo hutseko ioi estaldura da, hau da, katodo hutseko deskarga bidezko metatze teknologia bat.
Katodo hutsaren deskarga bidezko deposizioaren printzipioari buruz: Katodo hutsaren deskarga bidezko deposizio teknikak katodo beroaren deskarga erabiltzen du plasma izpi bat sortzeko, eta katodoa tantalio hodi huts bat da. Katodoa eta anodo laguntzailea elkarrengandik gertu daude, eta hauek dira arkuaren deskarga pizten duten bi poloak.
Katodo hutsaren deskarga bidezko deposizio-pistola bi modutan pizten da.
1, Maiztasun handiko eremu elektrikoa erabiltzen da katodoaren tantalio-hodian aplikatzeko, katodoaren tantalio-hodiaren argon gasa argon ioietan ionizatzeko eta ondoren katodoaren tantalio-hodiak argon ioiek etengabe bonbardatzeko eraginda, beroa elektroi-igorpenaren gutxieneko tenperatura-estandarrera berotu eta plasma elektroi-sorta sortu arte.
2, anodo laguntzailean eta katodoaren tantalio-hodian, 300V inguruko tentsio zuzena aplikatzen den bitartean, katodoaren tantalio-hodia argon gasera igarotzen da oraindik. 1Pa-10Pa argon gasaren presioan, anodo laguntzailean eta katodoaren tantalio-hodiaren distira-deskarga fenomenoa gertatzen da. Argon ioien bonbardaketa sortzen da etengabe katodoaren tantalio-hodia bonbardatzen duena. 2300K-2400K tenperaturara iritsi arte, katodoaren tantalio-hodiak elektroi kopuru handia igortzen du, "distira-deskarga"-tik "arku-deskarga"-ra aldatuz. Oraingoan tentsioa 30V-60V bezain baxua da. Katodoa eta anodoa elikatze-iturriaren artean konektatuta dauden bitartean, plasma elektroi-sorta sor daiteke.
Estaldura katodikoaren ekipoak
1. Jatorrizko pistolaren egitura hobetu, jatorrizko 230A-ko korronte maximotik 280A-ra.
2. Jatorrizko hozte-sistemaren egitura hobetu, jatorrizko 4℃-ko izotz-ur bidezko hozte-makinaren giro-tenperaturako ur bidezko hozte-hozteraino, erabiltzaileentzako elektrizitate-kostua aurreztuz.
3, Jatorrizko transmisio mekanikoaren egitura hobetu, fluido magnetikoaren transmisio-egitura aldatu, tenperatura altuak ez du biraketa-markoa blokeatuko.
4, estaldura-eremu eraginkorra ￠ 650X1100 da, eta 750 X 1250X600 tamaina handiko trokel eta engranaje-fabrikatzaileentzako brotxa luzeetarako eta bolumen oso handikoak har ditzake.
Katodo hutseko ioi estaldura-makina batez ere erremintak, moldeak, ispilu handiko moldeak, plastikozko moldeak, labana-xaflak eta beste produktu batzuk estaltzeko erabiltzen da.
Argitaratze data: 2022ko azaroaren 7a