1. CVD teknologia termikoa
Estaldura gogorrak gehienbat metal-zeramikazko estaldurak (TiN, etab.) dira, estaldurako metalaren erreakzioaren eta gasifikazio erreaktiboaren bidez sortzen direnak. Hasieran, CVD teknologia termikoa erabili zen 1000 ℃-ko tenperatura altuan energia termikoaren bidez erreakzio konbinatuaren aktibazio-energia emateko. Tenperatura hori TiN eta beste estaldura gogorrak karburo zementatuzko erremintetan metatzeko bakarrik da egokia. Orain arte, TiN-Al20 konpositezko estaldurak karburo zementatuzko erreminta-buruetan metatzea teknologia garrantzitsua da oraindik.
2. Katodo hutsaren ioien estaldura eta hari beroaren arkuaren ioien estaldura
1980ko hamarkadan, katodo hutseko ioi-estaldura eta hari beroko arku-ioi-estaldura erabili ziren estalitako ebaketa-erremintak gordailutzeko. Bi ioi-estaldura teknologia hauek arku-deskargako ioi-estaldura teknologiak dira, % 20~% 40 arteko metalen ionizazio-tasarekin.
3. Katodo arku ioien estaldura
Arku katodikoaren ioien estalduraren sorrerak moldeetan estaldura gogorrak jartzeko teknologia garatzea ekarri du. Arku katodikoaren ioien estalduraren ionizazio-tasa % 60~90ekoa da, eta horrek metal ioi eta erreakzio gas ioi kopuru handia piezaren gainazalera iristea ahalbidetzen du, eta hala ere jarduera handia mantentzea, erreakzio bidezko metaketa eta TiN bezalako estaldura gogorrak eratzea eraginez. Gaur egun, arku katodikoaren ioien estalduraren teknologia batez ere moldeetan estaldura gogorrak jartzeko erabiltzen da.
Katodo arku iturria lurruntze-iturri solidoa da, urtutako putzu finkorik gabe, eta arku iturriaren posizioa nahi bezala jar daiteke, estaldura-gelaren espazioaren erabilera-tasa hobetuz eta labearen karga-ahalmena handituz. Katodo arku iturrien formen artean daude katodo arku iturri zirkular txikiak, zutabe-arku iturriak eta arku iturri handi lauak angeluzuzenak. Arku iturri txikien, zutabe-arku iturrien eta arku iturri handien osagai desberdinak bereizita antola daitezke geruza anitzeko filmak eta nano geruza anitzeko filmak metatzeko. Bitartean, arku ioi katodikoaren estalduraren metal ionizazio-tasa handia dela eta, metal ioiek erreakzio-gas gehiago xurga ditzakete, eta horrek prozesu-eremu zabala eta funtzionamendu erraza ematen ditu estaldura gogor bikainak lortzeko. Hala ere, tanta lodiak daude arku ioi katodikoaren estalduraren bidez lortutako estaldura-geruzaren mikroegituran. Azken urteotan, teknologia berri asko sortu dira film geruzaren egitura fintzeko, eta horrek arku ioi estaldura-filmaren kalitatea hobetu du.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k argitaratu du,estaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitaratze data: 2023ko apirilaren 28a