Pihustuskatte, eriti magnetronpihustuskatte tehnoloogia üha arenedes saab ioonpommitamise teel valmistada sihtkile mis tahes materjali jaoks. Kuna sihtmärk pihustatakse mingisugusele aluspinnale katmise käigus, on mõõdetud kile kvaliteedil oluline mõju. Seetõttu on ka sihtmärgi materjalile esitatavad nõuded rangemad. Sihtmärgi materjali valimisel tuleks lisaks kile enda kasutamisele arvestada ka järgmiste punktidega:
Sihtmaterjalil peaks pärast kile pealekandmist olema hea mehaaniline tugevus ja keemiline stabiilsus;
Sihtmärk ja aluspind peavad olema kindlalt ühendatud, vastasel juhul tuleks aluspinnal membraanikihi hea kombinatsioon võtta, esmalt pritsida aluskile ja seejärel valmistada vajalik membraanikiht;
Membraanimaterjali sissepritsimise reaktsioonina peab gaasil olema lihtne reageerida, et tekiks ühendkile.
Membraani toimivusnõuete täitmise eeldusel on sihtmaterjali ja aluspinna soojuspaisumisteguri erinevus võimalikult väike, et minimeerida termilise pinge mõju pritsitud membraanile.
Membraani kasutus- ja toimivusnõuete kohaselt peab sihtmaterjal vastama puhtuse, lisandite sisalduse, komponentide ühtluse, töötlemise täpsuse ja muude tehniliste nõuete nõuetele.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 09.01.2024