Takistuskütte aurustusallika struktuur on lihtne, seda on lihtne kasutada ja valmistada ning see on kõige laialdasemalt kasutatav aurustusallikas. Inimesed kutsuvad seda tavaliselt soojusgeneraatoriks või aurustuspaadiks.
Kasutatava takistusmaterjali kuumutamisnõuded on järgmised: kõrge temperatuur, eritakistus, madal aururõhk kõrgetel temperatuuridel, keemilise reaktsiooni puudumine membraanimaterjaliga, gaaside eraldumise ja saastumise vältimine. Takistusküttematerjalid valitakse peamiselt tulekindlatest metallidest, nagu W, Mo, Ta ja muud materjalid, või valitakse kõrge puhtusastmega ja tugeva grafiidi või boornitriidi sünteetilised juhtivad keraamikad ja muud materjalid. Mõnikord võib aurustusallikana valida ka Fe, Ni, Ni-Cr sulami ja Pt.
Erinevate tavaliste materjalide (nt Ti, Mo, C, Ta, W jne) takistusliku kuumutamise aurustusallikate sulamistemperatuuri ja aururõhu ning temperatuuri seose kõver on erinev. Nende hulgas muutub volfram aurustumistemperatuurini kuumutamisel hapraks kuumutussiirde produkti tõttu. Molübdeen seevastu on erineva puhtusega, mõned muutuvad hapraks ja teised mitte. Volfram reageerib veeauruga, moodustades lenduva hapnikuühendi WO3.
Seega, kui volframit kuumutatakse jääkveeauru sees, siis kuumutatud materjal pidevalt tühjeneb. Kui jääkgaasi rõhk on madal, ei ole materjali kadu suur, kuid see on membraani tõsine saastumine.
Niidiallikate kasutamisel tuleks pöörata tähelepanu kuuma traadi niisutamisele membraanimaterjalil. Näiteks kui kuuma traadi temperatuur tõuseb liiga kiiresti, ei ole membraanimaterjalil kerge kogu membraanimaterjali koheselt sulatada ja kuuma traadi niisutamine ei ole piisav. Selle tulemusena võib sulamata kile traatkorvist välja kukkuda. Samal ajal põhjustab liiga kiire temperatuuri tõus ka membraanimaterjalist gaasi kiiret eraldumist, mille tulemuseks on mullid või pritsimine, mille tulemusel tekivad aluspinnale kleepuvad väikesed tilgad. Seetõttu tuleks niidiallikate kasutamisel temperatuuri reguleerida.
Traatkorvide, kooniliste mähiste või spiraalsete mähiste peamine puudus on see, et tugikile materjali hulk on liiga väike ja see allikas põhjustab kuuma traadi temperatuuri tõusu, kuna kile materjali hulk pärast aurustumist väheneb, põhjustades seega aurustumiskiiruse suurenemist. See on ka probleem, mida tuleks märkida kile valmistamise protsessis, mis nõuab aurustumiskiiruse ranget kontrolli.
(2) Tööpõhimõte ning struktuuri kuju ja kasutusomadused
Takistuskütte aurustusallikas on tegelikult takistuskütteseade, mis kasutab soojusgeneraatorit või aurustuspaati otse pingestatud kujul, nii et vool läbib suure hulga džauli soojust ja saavutab kõrge temperatuuri, sulatades metallkile materjali, nii et selle aurustumine on omamoodi aurustusallikas.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 23. veebruar 2024