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¿Cuál es el principio técnico del equipo de recubrimiento duro de cátodo hueco?

Fuente del artículo: Zhenhua Vacuum
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Publicado:22-11-07

El recubrimiento iónico consiste en depositar los reactivos o materiales evaporados sobre el sustrato mediante el bombardeo iónico de iones gaseosos o materiales evaporados, mientras que estos se disocian o se descargan en una cámara de vacío. El principio técnico del equipo de recubrimiento duro de cátodo hueco es el recubrimiento iónico de cátodo hueco, que es una tecnología de deposición por descarga de cátodo hueco.

Sobre el principio de la deposición por descarga de cátodo hueco: Esta técnica utiliza una descarga de cátodo caliente para generar un haz de plasma. El cátodo es un tubo hueco de tantalio. El cátodo y el ánodo auxiliar están próximos entre sí, y son los dos polos que activan la descarga del arco.
¿Cuál es el principio técnico del cilindro hueco?
La pistola de deposición de descarga de cátodo hueco se enciende de dos maneras.
1, el uso de un campo eléctrico de alta frecuencia aplicado al tubo de tantalio del cátodo, de modo que la ionización del gas argón del tubo de tantalio del cátodo se convierte en iones de argón y luego es activado por el tubo de tantalio del cátodo bombardeado continuamente por iones de argón, hasta que el calor se calienta al estándar de temperatura mínima de emisión de electrones y genera un haz de electrones de plasma.

2, en el ánodo auxiliar y el tubo de tantalio del cátodo entre la aplicación de aproximadamente 300 V de voltaje de CC, el tubo de tantalio del cátodo aún pasa al gas argón, en la presión de gas argón de 1 Pa-10 Pa, el ánodo auxiliar y el fenómeno de descarga luminiscente del tubo de tantalio del cátodo, la generación de bombardeo de iones de argón bombardean constantemente el tubo de tantalio del cátodo, hasta una temperatura de 2300 K-2400 K, el tubo de tantalio del cátodo emite una gran cantidad de electrones, cambiará de "descarga luminiscente" a "descarga de arco", esta vez el voltaje es tan bajo como 30 V-60 V, luego, mientras el cátodo y el ánodo estén entre la fuente de alimentación, puede generar un haz de electrones de plasma.

Equipos de recubrimiento catódico
1、Mejorar la estructura original del arma, de la corriente máxima original de 230A a 280A.
2、Mejore la estructura del sistema de enfriamiento original, desde el enfriamiento original de la máquina de agua helada de 4 ℃ hasta el enfriamiento con agua a temperatura ambiente, ahorrando el costo de electricidad para los usuarios.
3. Se mejora la estructura de transmisión mecánica original y se cambia a una estructura de transmisión de fluido magnético, y la alta temperatura no bloqueará el marco giratorio.
4, el área de recubrimiento efectiva ¢ 650X1100, puede acomodar 750 X 1250X600 fabricantes de matrices y engranajes de gran tamaño de brocha extra larga, con un volumen muy grande.

La máquina de recubrimiento de iones de cátodo hueco se utiliza principalmente en el recubrimiento de herramientas, moldes, moldes de espejos grandes, moldes de plástico, cuchillas para tallar y otros productos.


Hora de publicación: 07-nov-2022