El crecimiento de la película tiene un impacto muy importante. Si la rugosidad superficial del sustrato es alta y se combina con defectos superficiales, afectará la adherencia y la velocidad de crecimiento de la película. Por lo tanto, antes de comenzar el recubrimiento al vacío, el sustrato se somete a un preprocesamiento que influye en la rugosidad superficial. Tras la intervención ultrasónica, se formará una pequeña raya en la superficie del sustrato, lo que aumenta el área de contacto entre las partículas de película delgada y la superficie del sustrato, lo que puede mejorar significativamente la estructura del rotor y la combinación de la base de la membrana.
En la mayoría de los materiales de sustrato, al disminuir la rugosidad del sustrato, aumenta la adhesión de la película, es decir, la fuerza de unión de la base de la membrana se intensifica. Sin embargo, algunos materiales de sustrato son casos especiales, como la adhesión de la película a la base cerámica. Al disminuir la rugosidad, la fuerza de unión de la base de la membrana se debilita.
Entre los factores que influyen en la compatibilidad entre películas, el coeficiente de expansión térmica juega un papel decisivo. Cuando el coeficiente de expansión térmica de la película es mayor que el coeficiente de expansión térmica de la matriz, el par es negativo y la tensión máxima se encuentra en el límite libre. Al comprimirse cerca del centro, la película puede aparecer estratificada. Tomemos como ejemplo la película delgada sedimentaria Skinus. Debido a que el coeficiente de expansión térmica del diamante es bajo, al finalizar la deposición en fase gaseosa, la temperatura del sustrato se reduce de una temperatura sedimentaria más alta a temperatura ambiente, y la contracción del diamante se reduce en comparación con el sustrato. Se producirá una gran tensión térmica en el interior. Cuando el coeficiente de expansión térmica de la película es menor que el coeficiente de calentamiento del sustrato, el par es positivo y la película no es fácil de estratificar.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 29 de febrero de 2024