La estructura de la fuente de evaporación por calentamiento por resistencia es simple, fácil de usar y de fabricar, y es el tipo de fuente de evaporación más utilizado. Generalmente se le conoce como generador de calor o nave de evaporación.
Los requisitos de calentamiento del material de resistencia son: alta temperatura, resistividad, baja presión de vapor a altas temperaturas, ausencia de reacción química con el material de la membrana y ausencia de desgasificación y contaminación. Los materiales de calentamiento por resistencia seleccionados se basan principalmente en metales refractarios, como W, Mo, Ta y otros, o en cerámicas conductoras sintéticas de grafito o nitruro de boro de alta pureza y alta resistencia, entre otros materiales. En ocasiones, también se pueden utilizar aleaciones de Fe, Ni, Ni-Cr y Pt como material de evaporación.
La curva de relación entre el punto de fusión, la presión de vapor y la temperatura varía según la fuente de evaporación de materiales comunes (como Ti, Mo, C, Ta, W, etc.). Entre ellos, el tungsteno se vuelve quebradizo al alcanzar la temperatura de evaporación debido al producto de la unión térmica. El molibdeno, por otro lado, varía en pureza, y algunos se vuelven quebradizos y otros no. El tungsteno reacciona con el vapor de agua para formar el compuesto volátil de oxígeno WO₃.
Por lo tanto, al calentar el tungsteno en vapor de agua residual, el material calentado se agota continuamente. Cuando la presión del gas residual es baja, la pérdida de material es mínima, pero la membrana se contamina gravemente.
Al usar fuentes de filamento, se debe prestar atención a la humectación del alambre caliente sobre el material de la membrana. Por ejemplo, si la temperatura del alambre caliente aumenta demasiado rápido, la membrana no se puede fundir completamente de inmediato y la humectación del alambre caliente no es suficiente. Como resultado, la película no fundida puede desprenderse de la cesta de alambre. Además, un aumento de temperatura demasiado rápido también provocará que el material de la membrana se libere rápidamente en el gas, lo que generará burbujas o salpicaduras, lo que provocará la formación de pequeñas gotas adheridas al sustrato. Por lo tanto, se recomienda usar fuentes de filamento con control de temperatura.
La principal desventaja de las cestas de alambre, las bobinas cónicas o las bobinas espirales es que la cantidad de material de soporte de la película es demasiado pequeña, lo que provoca que la temperatura del alambre caliente aumente a medida que disminuye la cantidad de material de la película después de evaporarse, lo que aumenta la velocidad de evaporación. Este problema también debe tenerse en cuenta en el proceso de fabricación de películas, que requiere un control estricto de la velocidad de evaporación.
(2) El principio de funcionamiento y la forma de la estructura y las características de uso.
Fuente de evaporación de calentamiento por resistencia, de hecho, es un calentador de resistencia que utiliza un generador de calor o un barco de evaporación energizado directamente, de modo que la corriente a través de una gran cantidad de calor Joule y obtiene una alta temperatura para fundir el material de la película de metal, de modo que su evaporación es un tipo de fuente de evaporación.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 23 de febrero de 2024