Kun la kreskanta disvolviĝo de ŝpruc-tegaĵo, precipe magnetrona ŝpruc-tegaĵoteknologio, nuntempe, ajna materialo povas esti preparita per jona bombado de celfilmo. Ĉar la celo estas ŝprucita dum la procezo de tegado al iu speco de substrato, la kvalito de la mezurata filmo havas gravan efikon, tial la postuloj por la celmaterialo ankaŭ estas pli striktaj. Dum la elekto de celmaterialo, krom la uzo de la filmo mem, oni devas ankaŭ konsideri la jenajn aferojn:
La cela materialo devus havi bonan mekanikan forton kaj kemian stabilecon post la filmo;
La celo kaj la substrato devas esti firme kombinitaj, alie oni devas preni kun la substrato havas bonan kombinaĵon de membrana tavolo, unue ŝprucante bazan filmon kaj poste la preparadon de la bezonata membrana tavolo;
Kiel reakcio, ŝprucado en la membranmaterialon devas esti facile reaganta kun la gaso por generi kunmetitan filmon.
Sub la premiso plenumi la funkciajn postulojn de la membrano, la diferenco inter la koeficiento de termika ekspansio de la cela materialo kaj la substrato estas kiel eble plej malgranda, por minimumigi la influon de termika streĉo sur la ŝprucitan membranon.
Laŭ la uzo kaj rendimentaj postuloj de la membrano, la cela materialo devas plenumi la purecon, malpuraĵan enhavon, komponentan homogenecon, maŝinadan precizecon kaj aliajn teknikajn postulojn.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: Jan-09-2024