La strukturo de rezistanca hejtado kaj vaporiĝa fonto estas simpla, facile uzebla, facile fabrikebla, kaj estas la plej vaste uzata speco de vaporiĝa fonto. Oni kutime nomas ĝin varmogeneratoro aŭ vaporiĝa boato.
La postuloj por hejtado de la uzata rezistanco estas: alta temperaturo, rezisteco, malalta vaporpremo je altaj temperaturoj, neniu kemia reakcio kun la membrana materialo, ne produktas gaseligon kaj poluadon. Rezistaj hejtigaj materialoj estas elektitaj ĉefe el obstinaj metaloj, kiel W, Mo, Ta kaj aliaj materialoj, aŭ elektitaj altpurecaj, altfortaj grafito aŭ bornitridaj sintezaj konduktivaj ceramikaĵoj kaj aliaj materialoj. Iafoje, oni ankaŭ povas elekti Fe, Ni, Ni-Cr-alojojn kaj Pt kiel vaporiĝan fontmaterialon.
Diversaj rezistancaj varmigaj vaporiĝaj fontoj de komunaj materialoj (kiel Ti, Mo, C, Ta, W, ktp.) havas malsamajn fandopunktojn kaj vaporpremajn rilatojn inter temperaturo kaj vaporpremo. Inter ili, volframo fariĝas fragila kiam varmigita ĝis la vaporiĝa temperaturo pro la varmigliga produkto. Molibdeno, aliflanke, varias laŭ pureco, iuj fariĝas fragilaj kaj aliaj ne. Volframo reagas kun akva vaporo por formi la volatilan oksigenan kombinaĵon WO3.
Tial, kiam volframo estas varmigita en resta akvovaporo, la varmigita materialo kontinue malpleniĝas. Kiam la resta gaspremo estas malalta, ne estas granda materialperdo, sed ĝi estas grava poluado de la membrano.
Ĉe la uzo de filamentaj fontoj oni devas atenti la malsekiĝon de la varmega drato sur la membrana materialo. Ekzemple, se la temperaturo de la varmega drato tro rapide altiĝas, la membrana materialo ne facile tuj fandas la tutan membranan materialon, kaj la malsekiĝo de la varmega drato ne sufiĉas. Rezulte, la nefandita filmo povas elfali el la drata korbo. Samtempe, se la temperaturo tro altiĝas, la membrana materialo rapide liberiĝas de gaso, kio rezultas en vezikoj aŭ ŝprucado, kio kaŭzas la formadon de malgrandaj gutetoj algluiĝantaj al la substrato. Tial, filamentaj fontoj devas esti uzataj kun temperaturkontrolo.
La ĉefa malavantaĝo de dratkorboj, konusformaj volvaĵoj aŭ spiralaj volvaĵoj estas, ke la kvanto de subtena filmmaterialo estas tro malgranda, kaj ĉi tiu fonto kaŭzos altiĝon de la temperaturo de la varmega drato dum la kvanto de filmmaterialo malpliiĝas post kiam la filmmaterialo vaporiĝas, tiel kaŭzante altiĝon de la vaporiĝrapideco. Ĉi tio ankaŭ estas problemo, kiun oni devas rimarki por la filmfarada procezo, kiu postulas striktan kontrolon de la vaporiĝrapideco.
(2) La funkciprincipo kaj strukturo, formo kaj uzkarakterizaĵo
Rezista hejtado por vaporiĝo, fakte, estas rezistanco-hejtilo, ĝi uzas varmogeneratoron aŭ vaporigan boaton rekte ŝargitan, tiel ke la kurento tra granda nombro da Ĵuloj varmiĝas kaj atingas altan temperaturon por fandi metalan filmmaterialon, tiel ke ĝia vaporiĝo formas vaporigan fonton.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 23-a de februaro 2024