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Kurze Einführung und Vorteile von Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlagen

Artikelquelle: Zhenhua Vakuum
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Veröffentlicht:23-02-07

Prinzip des Magnetronsputterns: Elektronen kollidieren beim Beschleunigen auf das Substrat unter Einwirkung eines elektrischen Felds mit Argonatomen. Dabei werden zahlreiche Argonionen und Elektronen ionisiert, die Elektronen fliegen zum Substrat. Die Argonionen werden beschleunigt und bombardieren das Targetmaterial unter Einwirkung des elektrischen Felds. Dabei werden zahlreiche Targetatome herausgeschleudert, die sich als neutrale Targetatome (oder Moleküle) auf dem Substrat ablagern und einen Film bilden. Beim Beschleunigen auf das Substrat bewegen sich Sekundärelektronen unter dem Einfluss der Lorentzkraft des Magnetfelds spiralförmig und zykloid und führen eine Reihe von Kreisbewegungen auf der Targetoberfläche aus. Die Elektronen haben nicht nur einen langen Bewegungsweg, sondern befinden sich durch den elektromagnetischen Feldstrahl auch im Plasmabereich nahe der Targetoberfläche. Dort wird eine große Menge Argon ionisiert und bombardiert das Target. Dadurch ist die Beschichtungsrate der Magnetronsputtern-Beschichtungsanlage hoch.
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SomitMagnetron-Sputter-Beschichtungsanlagewurde entwickelt, das Magnetronsputtern und Ionenbeschichtungstechnologie integriert und eine Lösung zur Verbesserung der Farbkonsistenz und https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# der Stabilität der Abscheidungsrate und der Verbindungszusammensetzung bietet. Je nach Produktanforderungen können Heizsystem, Vorspannungssystem, Ionisierungssystem und andere Geräte ausgewählt werden. Die Targetverteilung lässt sich flexibel anpassen und die Filmgleichmäßigkeit ist überragend. Mit unterschiedlichen Targetmaterialien kann ein Verbundfilm mit besserer Leistung hergestellt werden. Die mit dieser Anlage hergestellte Beschichtung hat die Vorteile einer starken Verbundkraft und Kompaktheit, wodurch die Salzsprühbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und Oberflächenhärte des Produkts wirksam verbessert werden können und sie die Anforderungen an die Herstellung von Hochleistungsbeschichtungen erfüllt.
Die Ausrüstung ist reich an anwendbaren Materialien, die für wasserplattierte Beschläge/Kunststoffteile aus Edelstahl, Glas, Keramik und andere Materialien verwendet werden können. Sie wird hauptsächlich für die Herstellung von Beschlägen für elektronische Produkte, hochwertige Uhren, hochwertigen Schmuck und Beschläge für Markenlederwaren und andere hochwertige Produkte verwendet.


Beitragszeit: 07.02.2023