Modstandsvarmefordampningskildens struktur er enkel, nem at bruge og nem at lave, og er den mest anvendte type fordampningskilde. Folk kaldes normalt varmegenerator eller fordampningsbåd.
Kravene til det anvendte modstandsmateriale til opvarmning er: høj temperatur, resistivitet, lavt damptryk ved høje temperaturer, ingen kemisk reaktion med membranmaterialet, ingen udgasning og forurening. Modstandsopvarmningsmaterialer anvendes primært fra ildfaste metaller, såsom W, Mo, Ta og andre materialer, eller materialer som grafit med høj renhed og høj styrke eller bornitrid, syntetisk ledende keramik og andre materialer. Nogle gange kan Fe, Ni, Ni-Cr-legeringer og Pt også anvendes som fordampningskildemateriale.
Forskellige modstandsopvarmningsfordampningskilder af almindelige materialer (såsom Ti, Mo, C, Ta, W osv.) har forskellige smeltepunkts- og damptryks-/temperaturforholdskurver. Blandt disse bliver wolfram sprødt, når det opvarmes til fordampningstemperaturen på grund af varmeforbindelsesproduktet. Molybdæn varierer derimod i renhed, hvor noget bliver sprødt, mens andre ikke gør. Wolfram reagerer med vanddamp og danner den flygtige iltforbindelse WO3.
Derfor, når wolfram opvarmes i resterende vanddamp, udtømmes det opvarmede materiale kontinuerligt. Når restgastrykket er lavt, er der ikke meget materialetab, men det er en alvorlig forurening af membranen.
Ved brug af filamentkilder skal man være opmærksom på, om den varme tråd befugter membranmaterialet. For eksempel, hvis temperaturen på den varme tråd stiger for hurtigt, er det ikke let for membranmaterialet at smelte alt membranmaterialet med det samme, og den varme tråd befugtes ikke tilstrækkeligt. Som følge heraf kan den usmeltede film falde ud af trådkurven. Samtidig vil en for hurtig temperaturstigning også forårsage hurtig frigivelse af gas i membranmaterialet, hvilket resulterer i bobler eller stænk, hvilket vil føre til dannelse af små dråber, der klæber til substratet. Derfor bør filamentkilder anvendes med temperaturkontrol.
Den største ulempe ved trådkurve, koniske spoler eller spiralformede spoler er, at mængden af støttefilmmateriale er for lille, og denne kilde vil få temperaturen på den varme tråd til at stige, efterhånden som mængden af filmmateriale falder, efter at filmmaterialet er fordampet, hvilket får fordampningshastigheden til at stige. Dette er også et problem, der bør bemærkes for filmfremstillingsprocessen, som kræver streng kontrol af fordampningshastigheden.
(2) Arbejdsprincippet og strukturens form og brugskarakteristika
En modstandsopvarmningsfordampningskilde er faktisk en modstandsopvarmningskilde, der bruger en varmegenerator eller fordampningsbåd til direkte at blive aktiveret, således at strømmen ledes gennem en stor mængde joule og opnår høj temperatur for at smelte metalfilmmaterialet, så dets fordampningskilde danner en slags fordampningskilde.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 23. feb. 2024