1. Termisk CVD-teknologi
Hårde belægninger er for det meste metalkeramiske belægninger (TiN osv.), som dannes ved reaktion af metal i belægningen og reaktiv forgasning. I starten blev termisk CVD-teknologi brugt til at tilvejebringe aktiveringsenergien fra en kombinationsreaktion ved hjælp af termisk energi ved en høj temperatur på 1000 ℃. Denne temperatur er kun egnet til aflejring af TiN og andre hårde belægninger på hårdmetalværktøjer. Indtil videre er det stadig en vigtig teknologi at aflejre TiN-Al20-kompositbelægninger på hårdmetalværktøjshoveder.
2. Hulkatodeionbelægning og varmtrådsbueionbelægning
I 1980'erne blev hulkatode-ionbelægning og varmtrådsbue-ionbelægning anvendt til at aflejre belagte skæreværktøjer. Begge disse ionbelægningsteknologier er bueudladningsionbelægningsteknologier med en metalioniseringsrate på op til 20%~40%.
3. Katodebueionbelægning
Fremkomsten af katodisk bueionbelægning har ført til udviklingen af teknologien til aflejring af hårde belægninger på forme. Ioniseringshastigheden for katodisk bueionbelægning er 60%~90%, hvilket tillader et stort antal metalioner og reaktionsgasioner at nå emnets overflade og stadig opretholde høj aktivitet, hvilket resulterer i reaktionsaflejring og dannelse af hårde belægninger såsom TiN. I øjeblikket anvendes katodisk bueionbelægningsteknologi hovedsageligt til at aflejre hårde belægninger på forme.
Katodebuekilden er en faststoffordampningskilde uden en fast smeltebassin, og buekildens position kan placeres vilkårligt, hvilket forbedrer pladsudnyttelsesgraden i belægningsrummet og øger ovnens belastningskapacitet. Formerne på katodebuekilder omfatter små cirkulære katodebuekilder, søjleformede buekilder og rektangulære flade store buekilder. Forskellige komponenter i små buekilder, søjleformede buekilder og store buekilder kan arrangeres separat for at aflejre flerlagsfilm og nano-flerlagsfilm. På grund af den høje metalioniseringshastighed ved katodisk bueionbelægning kan metalioner absorbere flere reaktionsgasser, hvilket resulterer i et bredt procesområde og enkel betjening for at opnå fremragende hårde belægninger. Der er dog grove dråber i mikrostrukturen af belægningslaget opnået ved katodisk bueionbelægning. I de senere år er der dukket mange nye teknologier op for at forfine filmlagets struktur, hvilket har forbedret kvaliteten af bueionbelægningsfilmen.
——Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua Technology, enproducent af optiske belægningsmaskiner.
Opslagstidspunkt: 28. april 2023