Mae chwistrellu magnetron yn cynnwys cludo plasma rhyddhau, ysgythru targed, dyddodiad ffilm denau a phrosesau eraill yn bennaf, a bydd y maes magnetig ar y broses chwistrellu magnetron yn cael effaith. Yn y system chwistrellu magnetron ynghyd â maes magnetig orthogonal, mae'r electronau'n destun rôl grym Lorentz ac yn gwneud symudiad llwybr troellog, rhaid iddynt fynd trwy wrthdrawiad cyson i symud yn raddol i'r anod, oherwydd bod y gwrthdrawiad yn gwneud i ran o'r electronau gyrraedd yr anod ar ôl bod yr egni'n fach, ac nid yw gwres y bomio ar y swbstrad yn fawr chwaith. Yn ogystal, oherwydd cyfyngiadau'r maes magnetig targed ar yr electron, mae'r ystod leol fach hon o grynodiad electronau yn uchel iawn yn yr ardal effaith magnetig sydd o fewn y rhedfa rhyddhau yn wyneb y targed, ac yn yr ardal effaith magnetig y tu allan i wyneb y swbstrad, yn enwedig i ffwrdd o'r maes magnetig ger yr wyneb, mae crynodiad yr electronau oherwydd gwasgariad yn llawer is ac yn gymharol unffurf, a hyd yn oed yn is na'r amodau chwistrellu dipol (oherwydd y gwahaniaeth pwysau nwy gweithio dau orchymyn maint). Mae dwysedd isel yr electronau yn peledu wyneb y swbstrad, fel bod y peledu ar y swbstrad a achosir gan y cynnydd tymheredd is, sef prif fecanwaith y cynnydd tymheredd swbstrad chwistrellu magnetron yn isel. Yn ogystal, os oes maes trydan yn unig, mae'r electronau'n cyrraedd yr anod ar ôl pellter byr iawn, a dim ond 63.8% yw'r tebygolrwydd o wrthdrawiad â'r nwy gweithio. Ac ychwanegu'r maes magnetig, mae electronau yn y broses o symud i'r anod i wneud symudiad troellog, mae'r maes magnetig yn rhwymo ac yn ymestyn trywydd yr electronau, gan wella tebygolrwydd gwrthdrawiad electronau a nwyon gweithio yn fawr, sy'n hyrwyddo digwyddiad ïoneiddio yn fawr, ac yna mae ïoneiddio ac yna'n cynhyrchu electronau hefyd yn ymuno â'r broses gwrthdrawiad, gellir cynyddu tebygolrwydd gwrthdrawiad sawl maint, gan ddefnyddio ynni'r electronau yn effeithiol, ac felly ffurfio dwysedd uchel. Mae dwysedd y plasma yn cynyddu wrth i ryddhau tywynnu annormal y plasma gynyddu. Mae cyfradd chwistrellu atomau o'r targed hefyd yn cynyddu, ac mae chwistrellu targed a achosir gan fomio'r targed gan ïonau positif yn fwy effeithiol, sef y rheswm dros y gyfradd uchel o ddyddodiad chwistrellu magnetron. Yn ogystal, gall presenoldeb y maes magnetig hefyd wneud i'r system chwistrellu weithredu ar bwysedd aer is, gall pwysau aer isel 1 wneud i ïonau yn rhanbarth yr haen wain leihau'r gwrthdrawiad, bomio'r targed ag egni cinetig cymharol fawr, a'r diwrnod i allu lleihau'r atomau targed wedi'u chwistrellu a gwrthdrawiad nwy niwtral, i atal yr atomau targed rhag cael eu gwasgaru i wal y ddyfais neu eu bownsio'n ôl i wyneb y targed, i wella cyfradd ac ansawdd y dyddodiad ffilm denau.
Gall y maes magnetig targed gyfyngu ar lwybr electronau yn effeithiol, sydd yn ei dro yn effeithio ar briodweddau'r plasma ac ysgythriad ïonau ar y targed.
Olrhain: gall cynyddu unffurfiaeth maes magnetig y targed gynyddu unffurfiaeth ysgythru arwyneb y targed, a thrwy hynny wella'r defnydd o ddeunydd y targed; gall dosbarthiad maes electromagnetig rhesymol hefyd wella sefydlogrwydd y broses chwistrellu yn effeithiol. Felly, ar gyfer targed chwistrellu magnetron, mae maint a dosbarthiad y maes magnetig yn hynod bwysig.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: 14 Rhagfyr 2023