Růst filmu má velmi důležitý dopad. Pokud je drsnost povrchu substrátu velká a je v kombinaci s povrchovými vadami stále více ovlivněna, ovlivní to rychlost přichycení a růstu filmu. Před zahájením vakuového nanášení je proto substrát předběžně opracován, což má vliv na drsnost povrchu substrátu. Po ultrazvukovém zásahu se na povrchu substrátu vytvoří malý škrábanec, který zvětší kontaktní plochu mezi částicemi tenkého filmu a povrchem substrátu, což může výrazně zvýšit pevnost rotoru a membránové základny.
U většiny substrátových materiálů platí, že s klesající drsností substrátu se zvyšuje adheze filmu, tj. síla vazby membrány na bázi membrány se zesiluje; existují také některé substrátové materiály, které jsou zvláštními případy, jako například přilnavost filmu ke keramické bázi. S klesajícím stupněm se síla vazby membrány na bázi membrány oslabuje.
Z faktorů, které ovlivňují vzájemný působení filmu a filmu, hraje rozhodující roli koeficient tepelné roztažnosti. Pokud je koeficient tepelné roztažnosti filmu větší než koeficient tepelné roztažnosti matrice, je točivý moment záporný a maximální napětí je na volné hranici. Blízko středu se stlačuje a film se může jevit vrstevnatý. Vezměte si jako příklad sedimentární tenký film Skinus. Protože koeficient tepelné roztažnosti diamantu je malý, po ukončení depozice v plynné fázi se teplota substrátu sníží z vyšší sedimentární teploty na pokojovou teplotu a smrštění diamantu se ve srovnání se substrátem sníží. Uvnitř vzniká velké tepelné napětí. Pokud je koeficient tepelné roztažnosti filmu menší než koeficient tepelné roztažnosti substrátu, je točivý moment kladný a film se obtížně vrství.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 29. února 2024