S rostoucím rozvojem naprašování, zejména magnetronového naprašování, lze v současnosti připravit terčovou vrstvu iontovým bombardováním pro jakýkoli materiál. Protože terč je naprašován během procesu nanášení na nějaký druh substrátu, má kvalita naměřené vrstvy důležitý vliv, a proto jsou požadavky na terčový materiál také přísnější. Při výběru terčového materiálu je třeba kromě samotného použití filmu zvážit také následující aspekty:
Cílový materiál by měl mít po nanesení filmu dobrou mechanickou pevnost a chemickou stabilitu;
Cíl a substrát musí být pevně spojeny, jinak by se mělo dodržet dobré sladění membránové vrstvy se substrátem, nejprve se nanese základní film naprašováním a poté se připraví požadovaná membránová vrstva.
Vzhledem k tomu, že reakční naprašování do membránového materiálu musí snadno reagovat s plynem za vzniku složeného filmu.
Za předpokladu splnění výkonnostních požadavků membrány je rozdíl mezi koeficientem tepelné roztažnosti cílového materiálu a substrátu co nejmenší, aby se minimalizoval vliv tepelného namáhání na naprašovanou membránu.
Podle požadavků na použití a výkon membrány musí cílový materiál splňovat požadavky na čistotu, obsah nečistot, uniformitu součástí, přesnost obrábění a další technické požadavky.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 9. ledna 2024