Struktura zdroje odpařování s odporovým ohřevem je jednoduchá, snadno se používá a snadno se vyrábí, je to nejrozšířenější druh zdroje odpařování. Lidé ho obvykle nazývají generátorem tepla nebo odpařovacím člunem.
Požadavky na použitý odporový materiál pro ohřev jsou: vysoká teplota, měrný odpor, nízký tlak par při vysokých teplotách, žádná chemická reakce s membránovým materiálem, nedochází k odplyňování a znečištění. Vybrané odporové topné materiály jsou převážně z žáruvzdorných kovů, jako je W, Mo, Ta a další materiály, nebo z vysoce čistého a pevného grafitu nebo syntetické vodivé keramiky na bázi nitridu boru a dalších materiálů. Někdy lze jako zdroj odpařování zvolit také Fe, Ni, slitiny Ni-Cr a Pt.
Různé běžné materiály (jako je Ti, Mo, C, Ta, W atd.) s různými zdroji odporového ohřevu a odpařování mají různé křivky závislosti bodu tání a tlaku par na teplotě. Wolfram se při zahřátí na teplotu odpařování stává křehkým kvůli produktu tepelného spojení. Molybden se naopak liší čistotou, některé křehnou a jiné ne. Wolfram reaguje s vodní párou za vzniku těkavé kyslíkaté sloučeniny WO3.
Proto, když se wolfram zahřívá ve zbytkové vodní páře, zahřátý materiál se neustále vyčerpává. Při nízkém tlaku zbytkového plynu nedochází k velké ztrátě materiálu, ale dochází k vážné kontaminaci membrány.
Při použití vláknitých zdrojů je třeba dbát na smáčení horkého drátu na membránovém materiálu. Například pokud teplota horkého drátu stoupne příliš rychle, membránový materiál se snadno neroztaví a smáčení horkého drátu není dostatečné. V důsledku toho může neroztavená vrstva vypadnout z drátěného koše. Zároveň příliš rychlý nárůst teploty způsobí rychlé uvolnění plynu z membránového materiálu, což má za následek bubliny nebo stříkání, což vede k tvorbě malých kapiček, které se ulpívají na substrátu. Proto by se vláknové zdroje měly používat s regulací teploty.
Hlavní nevýhodou drátěných košů, kuželových cívek nebo spirálových cívek je, že množství nosného filmu je příliš malé a tento zdroj způsobí, že teplota horkého drátu stoupá, protože množství filmu se po odpaření snižuje, a tím se zvyšuje rychlost odpařování. To je také problém, který je třeba zmínit u procesu výroby filmu, který vyžaduje přísnou kontrolu rychlosti odpařování.
(2) Princip fungování, tvar konstrukce a charakteristika použití
Zdrojem odpařování s odporovým ohřevem je ve skutečnosti odporový ohřívač, který využívá tepelný generátor nebo odpařovací lodi, která je přímo napájena, takže proud prochází velkým množstvím Jouleova tepla a dosahuje vysoké teploty, čímž se kovový film roztaví a jeho odpařování je jakýmsi zdrojem odpařování.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 23. února 2024