A forma di a superficia è u coefficientu di dilatazione termica di u sustratu nantu à u film

Affruntà a crescita di u film hà un impattu assai impurtante. Sè a rugosità di a superficia di u sustratu hè grande, è sempre di più cumminata cù difetti di superficia, questu affetterà l'attaccamentu è a velocità di crescita di u film. Dunque, prima di inizià u rivestimentu à u vacuum, u sustratu serà pre-processatu, chì ghjoca u rolu di a rugosità di a superficia di u sustratu nantu à a superficia di u sustratu. Dopu l'intervenzione ultrasonica, a superficia di u sustratu formerà una piccula graffiatura, chì aumenta l'area di cuntattu di e particelle di film sottile è a superficia di u sustratu, chì pò aumentà significativamente a furmalità di u rotore è a cumbinazione di a basa di a membrana.

Per a maiò parte di i materiali di u sustratu, à misura chì a rugosità di u sustratu diminuisce, l'adesione di u film aumenta, vale à dì, a forza di legame di a basa di a membrana diventa più forte; ci sò ancu certi materiali di u sustratu chì sò casi particulari, cum'è l'adesione di u film di a basa ceramica. Gradi diminuiti, vale à dì, a forza di legame di a basa di a membrana s'indebulisce.

In i fattori d'influenza chì currispondenu à u filmu è u filmu, u cuefficiente di massa termica ghjoca un rollu decisivu. Quandu u cuefficiente di dilatazione termica di u filmu hè più grande di u cuefficiente di dilatazione termica di a matrice, a coppia hè negativa, è a tensione massima hè à u cunfine liberu. Hè vicinu à u centru di u centru per esse cumpressu, è u filmu pò appare stratificatu. Pigliate u filmu sottile Skinus sedimentariu cum'è esempiu. Siccomu u cuefficiente di dilatazione termica di u diamante hè chjucu, quandu a deposizione in fase gassosa hè finita, a temperatura di u sustratu hè ridutta da una temperatura sedimentaria più alta à a temperatura ambiente, è a cuntrazione di u diamante hè ridutta paragunata à u sustratu. Una grande tensione termica si pruducerà à l'internu. Quandu u cuefficiente di dilatazione termica di u filmu hè menu di u cuefficiente di riscaldamentu di u sustratu, a coppia hè positiva, è u filmu ùn hè micca faciule da stratificà.

–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua