A struttura di a fonte d'evaporazione per riscaldamentu à resistenza hè simplice, faciule d'utilizà, faciule da fà, hè u tipu di fonte d'evaporazione u più utilizatu. A ghjente hè generalmente chjamata generatore di calore o barca d'evaporazione.
I requisiti di riscaldamentu di u materiale di resistenza utilizatu sò: alta temperatura, resistività, bassa pressione di vapore à alte temperature, nisuna reazione chimica cù u materiale di a membrana, ùn produce micca degassamentu è inquinamentu. I materiali di riscaldamentu di resistenza sò scelti principalmente da metalli refrattarii, cum'è W, Mo, Ta è altri materiali o selezzione di grafite di alta purezza è alta resistenza o ceramica conduttiva sintetica di nitruru di boru è altri materiali. Calchì volta, si pò ancu sceglie Fe, Ni, lega Ni-Cr è Pt cum'è materiale fonte di evaporazione.
Diverse fonti di riscaldamentu per resistenza è evaporazione di materiali cumuni (cum'è Ti, Mo, C, Ta, W, ecc.) anu una curva di relazione trà u puntu di fusione è a pressione di vapore è a temperatura. Trà elle, u tungstenu diventa fragile quandu hè riscaldatu à a temperatura di evaporazione per via di u pruduttu di giunzione di riscaldamentu. U molibdenu, invece, varia in purezza, alcuni diventanu fragili è altri micca. U tungstenu reagisce cù u vapore acqueo per furmà u cumpostu volatile di l'ossigenu WO3.
Dunque, quandu u tungstenu hè riscaldatu in u vapore acqueo residuale, u materiale riscaldatu hè continuamente esauritu. Quandu a pressione di u gasu residuale hè bassa, ùn ci hè micca assai perdita di materiale, ma hè una seria contaminazione di a membrana.
L'usu di fonti filamentari deve fà attenzione à l'umidificazione di u filu caldu nantu à u materiale di a membrana. Per esempiu, se a temperatura di u filu caldu aumenta troppu rapidamente, u materiale di a membrana ùn hè micca faciule per scioglie subitu tuttu u materiale di a membrana è l'umidificazione di u filu caldu ùn hè micca sufficiente. Di cunsiguenza, u film micca scioltu pò cascà fora di u cestinu di filu. À u listessu tempu, se l'aumentu di a temperatura hè troppu veloce, u gasu di u materiale di a membrana serà liberatu rapidamente, risultendu in bolle o spruzzi, chì causeranu a furmazione di piccule gocce chì si attaccanu à u sustratu. Dunque, e fonti filamentari devenu esse aduprate cù u cuntrollu di a temperatura.
U principale svantaghju di i cestini di filu metallicu, di e bobine còniche o di e bobine a spirale hè chì a quantità di materiale di film di supportu hè troppu chjuca, è sta fonte farà cresce a temperatura di u filu caldu mentre a quantità di materiale di film diminuisce dopu chì u materiale di film hè evaporatu, causendu cusì un aumentu di a velocità di evaporazione. Questu hè ancu un prublema chì deve esse nutatu per u prucessu di fabricazione di film chì richiede un cuntrollu strettu di a velocità di evaporazione.
(2) U principiu di funziunamentu è a forma di a struttura è a caratteristica d'usu
A fonte d'evaporazione di riscaldamentu à resistenza, in fattu, hè un riscaldatore à resistenza, hè l'usu di un generatore di calore o di una barca d'evaporazione direttamente energizzata, in modu chì a corrente passa per un gran numeru di Joule di calore è ghjunghje à una temperatura elevata per scioglie u materiale di film metallicu, in modu chì a so evaporazione sia una sorta di fonte d'evaporazione.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 23 di ferraghju 2024