L'estructura de la font d'evaporació per resistència és simple, fàcil d'utilitzar i de fabricar, i és el tipus de font d'evaporació més utilitzat. Normalment se l'anomena generador de calor o vaixell d'evaporació.
Els requisits d'escalfament del material de resistència utilitzat són: alta temperatura, resistivitat, baixa pressió de vapor a altes temperatures, sense reacció química amb el material de la membrana, sense desgasificació ni contaminació. Els materials de calefacció per resistència seleccionats es basen principalment en metalls refractaris, com ara W, Mo, Ta i altres materials, o bé en ceràmiques conductores sintètiques de grafit o nitrur de bor d'alta puresa i alta resistència. De vegades, també es pot triar Fe, Ni, aliatges de Ni-Cr i Pt com a material font d'evaporació.
Diversos materials comuns (com ara Ti, Mo, C, Ta, W, etc.) presenten una relació entre el punt de fusió, la pressió de vapor i la temperatura, amb diferents fonts d'escalfament per resistència i evaporació. Entre ells, el tungstè es torna fràgil quan s'escalfa a la temperatura d'evaporació a causa del producte de la unió d'escalfament. El molibdè, en canvi, té una puresa variable, i alguns es tornen fràgils i altres no. El tungstè reacciona amb el vapor d'aigua per formar el compost volàtil d'oxigen WO3.
Per tant, quan el tungstè s'escalfa en vapor d'aigua residual, el material escalfat s'esgota contínuament. Quan la pressió del gas residual és baixa, no hi ha gaire pèrdua de material, però sí que hi ha una contaminació greu de la membrana.
L'ús de fonts filamentàries ha de parar atenció a la mullada del fil calent sobre el material de la membrana. Per exemple, si la temperatura del fil calent augmenta massa ràpidament, el material de la membrana no és fàcil de fondre immediatament tot el material de la membrana i la mullada del fil calent no és suficient. Com a resultat, la pel·lícula no fosa pot caure de la cistella de filferro. Al mateix temps, un augment de temperatura massa ràpid també farà que el material de la membrana s'alliberi ràpidament de gas, cosa que provocarà bombolles o esquitxades, cosa que farà que es formin petites gotes que s'adhereixin al substrat. Per tant, les fonts de filament s'han d'utilitzar amb control de temperatura.
El principal desavantatge de les cistelles de filferro, les bobines còniques o les bobines espirals és que la quantitat de material de la pel·lícula de suport és massa petita, i aquesta font farà que la temperatura del filferro calent augmenti a mesura que la quantitat de material de la pel·lícula disminueix després que el material de la pel·lícula s'evapori, cosa que farà que la velocitat d'evaporació augmenti. Aquest també és un problema que cal tenir en compte per al procés de fabricació de pel·lícules que requereix un control estricte de la velocitat d'evaporació.
(2) El principi de funcionament i la forma de l'estructura i la característica d'ús
La font d'evaporació per resistència és un escalfador de resistència que utilitza un generador de calor o una barca d'evaporació directament energitzada, de manera que el corrent passa per una gran quantitat de Joules de calor i aconsegueix una temperatura elevada per fondre el material de la pel·lícula metàl·lica, de manera que la seva evaporació és una mena de font d'evaporació.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 23 de febrer de 2024