Koji je tehnički princip opreme za tvrdo premazivanje sa šupljom katodom?

Jonsko premazivanje znači da se reaktanti ili ispareni materijali talože na podlogu jonskim bombardovanjem gasnih jona ili isparenih materijala dok se ispareni materijali disociraju ili gasno ispuštaju u vakuumskoj komori. Tehnički princip opreme za tvrdo premazivanje šupljom katodom je jonsko premazivanje šupljom katodom, što je tehnologija taloženja pražnjenjem šuplje katode.

O principu taloženja šupljim katodnim pražnjenjem: Tehnika taloženja šupljim katodnim pražnjenjem koristi pražnjenje vruće katode za generiranje plazma snopa, a katoda je šuplja tantalna cijev. Katoda i pomoćna anoda su blizu jedna drugoj, što su dva pola koja pale lučno pražnjenje.

Pištolj za taloženje sa šupljom katodom pali se na dva načina.
1, Korištenje visokofrekventnog električnog polja primijenjenog na katodu tantalne cijevi, tako da se argon u katodi tantalne cijevi ionizira u ione argona, a zatim se katoda tantalne cijevi kontinuirano bombardira ionima argona, sve dok se temperatura ne zagrije do minimalne temperature standardne emisije elektrona i generira plazma elektronski snop.

2, U pomoćnoj anodi i katodi tantal cijevi, između primjene jednosmjernog napona od oko 300V, katoda tantal cijevi i dalje prolazi u argon. Pod pritiskom argona od 1Pa-10Pa, pojava tinjajućeg pražnjenja između pomoćne anode i katode tantal cijevi stvara bombardiranje argonskim ionima, što neprestano bombardira katodu tantal cijevi. Dok temperatura ne dostigne 2300K-2400K, katoda tantal cijevi emituje veliki broj elektrona. Iz "tinjajućeg pražnjenja" prelazi u "lučno pražnjenje". Napon je u ovom slučaju nizak, između 30V-60V. Dok god se katoda i anoda napajaju, može se generirati plazma elektronski snop.

Oprema za katodno premazivanje
1. Poboljšajte originalnu strukturu pištolja, sa originalne maksimalne struje od 230A na 280A.
2. Poboljšajte originalnu strukturu sistema za hlađenje, od originalnog hlađenja mašine za ledenu vodu na 4℃ do hlađenja vodom na sobnoj temperaturi, štedeći troškove električne energije za korisnike.
3, Poboljšajte originalnu mehaničku strukturu prijenosa, promijenjenom u strukturu prijenosa s magnetskim fluidom, visoka temperatura neće zaglaviti rotirajući okvir.
4, efektivna površina premaza ￠ 650X1100, može primiti 750 X 1250X600 predimenzioniranih matrica i proizvođača zupčanika ekstra dugih provlačenja, s vrlo velikom zapreminom.

Mašina za nanošenje jonskih premaza sa šupljom katodom se uglavnom koristi za prevlačenje alata, kalupa, kalupa za velika ogledala, plastičnih kalupa, noževa za glodanje i drugih proizvoda.