S rastućim razvojem tehnologije raspršivanja, posebno magnetronskog raspršivanja, trenutno se za bilo koji materijal može pripremiti film mete bombardiranjem ionima. Budući da se meta raspršuje u procesu nanošenja na neku vrstu podloge, kvalitet izmjerenog filma ima važan utjecaj, stoga su i zahtjevi za materijal mete stroži. Prilikom odabira materijala mete, pored same upotrebe filma, treba uzeti u obzir i sljedeća pitanja:
Ciljni materijal treba imati dobru mehaničku čvrstoću i hemijsku stabilnost nakon nanošenja filma;
Meta i podloga moraju biti čvrsto spojeni, u suprotnom treba uzeti sa podlogom dobru kombinaciju membranskog sloja, prvo raspršiti osnovni film, a zatim pripremiti potreban membranski sloj;
Kao reakcija raspršivanja, materijal membrane mora lako reagirati s plinom kako bi se stvorio složeni film.
Pod pretpostavkom ispunjavanja zahtjeva performansi membrane, razlika između koeficijenta termičkog širenja ciljanog materijala i podloge je što manja, kako bi se minimizirao utjecaj termičkog naprezanja na raspršenu membranu.
Prema zahtjevima za upotrebu i performanse membrane, ciljni materijal mora ispunjavati čistoću, sadržaj nečistoća, ujednačenost komponenti, tačnost obrade i druge tehničke zahtjeve.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 09.01.2024.