1. Termalna CVD tehnologija
Tvrdi premazi su uglavnom metalokeramički premazi (TiN, itd.), koji nastaju reakcijom metala u premazu i reaktivnim gasifikacijom. U početku se koristila termička CVD tehnologija za obezbjeđivanje energije aktivacije kombinovane reakcije termičkom energijom na visokoj temperaturi od 1000 ℃. Ova temperatura je pogodna samo za nanošenje TiN i drugih tvrdih premaza na alate od cementiranog karbida. Do sada je i dalje važna tehnologija nanošenja kompozitnih premaza TiN-Al20 na glave alata od cementiranog karbida.
2. Ionski premaz šuplje katode i ionski premaz vrućom žicom
Osamdesetih godina prošlog stoljeća, za nanošenje premaza na alate za rezanje korišteni su ionski premaz šupljom katodom i ionski premaz vrućom žicom za elektrolučno pražnjenje. Obje ove tehnologije ionskog premaza su tehnologije ionskog premaza elektrolučnim pražnjenjem, sa stopom ionizacije metala do 20%~40%.
3. Katodni luk ionski premaz
Pojava katodnog lučnog ionskog premaza dovela je do razvoja tehnologije nanošenja tvrdih premaza na kalupe. Brzina ionizacije katodnog lučnog ionskog premaza je 60%~90%, što omogućava velikom broju metalnih iona i iona reakcijskog plina da dođu do površine obratka, a da i dalje održavaju visoku aktivnost, što rezultira reakcijskim taloženjem i stvaranjem tvrdih premaza poput TiN. Trenutno se tehnologija katodnog lučnog ionskog premaza uglavnom koristi za nanošenje tvrdih premaza na kalupe.
Katodni luk je izvor isparavanja u čvrstom stanju bez fiksnog rastopljenog bazena, a položaj luka može se proizvoljno postaviti, poboljšavajući iskorištenost prostora prostorije za premazivanje i povećavajući kapacitet punjenja peći. Oblici katodnih lukova uključuju male kružne katodne lukove, stupčaste lukove i pravokutne ravne velike lukove. Različite komponente malih lukova, stupčastih lukova i velikih lukova mogu se odvojeno rasporediti za nanošenje višeslojnih filmova i nano višeslojnih filmova. U međuvremenu, zbog visoke brzine ionizacije metala katodnim lučnim ionskim premazom, metalni ioni mogu apsorbirati više reakcijskih plinova, što rezultira širokim rasponom procesa i jednostavnim radom za dobivanje izvrsnih tvrdih premaza. Međutim, postoje grube kapljice u mikrostrukturi sloja premaza dobivenog katodnim lučnim ionskim premazom. Posljednjih godina pojavile su se mnoge nove tehnologije za poboljšanje strukture sloja filma, što je poboljšalo kvalitet filma lučnog ionskog premaza.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač mašina za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: 28. april 2023.