ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং-এ মূলত ডিসচার্জ প্লাজমা ট্রান্সপোর্ট, টার্গেট এচিং, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন এবং অন্যান্য প্রক্রিয়া অন্তর্ভুক্ত থাকে। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রক্রিয়ার উপর চৌম্বক ক্ষেত্র প্রভাব ফেলবে। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং সিস্টেম এবং অরথোগোনাল চৌম্বক ক্ষেত্রের ক্ষেত্রে, ইলেকট্রনগুলি লরেন্টজ বলের ভূমিকা পালন করে এবং সর্পিল ট্র্যাজেক্টোরি চলাচল করে, ধীরে ধীরে অ্যানোডে যাওয়ার জন্য ধ্রুবক সংঘর্ষের মধ্য দিয়ে যেতে হয়, সংঘর্ষের কারণে ইলেকট্রনের কিছু অংশ অ্যানোডে পৌঁছায় শক্তি কম হওয়ার পরে, সাবস্ট্রেটের উপর বোমাবর্ষণের তাপও বড় হয় না। এছাড়াও, লক্ষ্য চৌম্বক ক্ষেত্রের সীমাবদ্ধতার কারণে, ডিসচার্জ রানওয়ের মধ্যে থাকা অঞ্চলের চৌম্বকীয় প্রভাবের লক্ষ্য পৃষ্ঠে ইলেকট্রনের ঘনত্বের এই স্থানীয় ছোট পরিসর খুব বেশি, এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের বাইরের অঞ্চলের চৌম্বকীয় প্রভাবে, বিশেষ করে পৃষ্ঠের কাছাকাছি চৌম্বক ক্ষেত্র থেকে দূরে, ইলেকট্রনের ঘনত্ব অনেক কম এবং তুলনামূলকভাবে অভিন্ন বিতরণের বিচ্ছুরণের কারণে এবং ডাইপোল স্পুটারিং অবস্থার চেয়েও কম (দুটি কার্যকরী গ্যাস চাপের পার্থক্যের কারণে)। সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ইলেকট্রনের ঘনত্ব কম থাকে, যার ফলে নিম্ন তাপমাত্রা বৃদ্ধির ফলে সাবস্ট্রেটের বোমাবর্ষণ হয়, যা ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বৃদ্ধির প্রধান প্রক্রিয়া। এছাড়াও, যদি শুধুমাত্র একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র থাকে, তাহলে ইলেকট্রনগুলি খুব অল্প দূরত্বের পরে অ্যানোডে পৌঁছায় এবং কার্যকরী গ্যাসের সাথে সংঘর্ষের সম্ভাবনা মাত্র 63.8%। এবং চৌম্বক ক্ষেত্র যোগ করুন, সর্পিল গতির জন্য অ্যানোডে যাওয়ার প্রক্রিয়ায় ইলেকট্রনগুলি, চৌম্বক ক্ষেত্রটি আবদ্ধ হয় এবং ইলেকট্রনের গতিপথ প্রসারিত করে, ইলেকট্রন এবং কার্যকরী গ্যাসের সংঘর্ষের সম্ভাবনাকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে, যা আয়নীকরণ, আয়নীকরণ এবং পুনরায় ইলেকট্রন উৎপাদনের ঘটনাকে ব্যাপকভাবে উৎসাহিত করে। সংঘর্ষের প্রক্রিয়ায় যোগদান, সংঘর্ষের সম্ভাবনা বিভিন্ন মাত্রার ক্রম দ্বারা বৃদ্ধি করা যেতে পারে, ইলেকট্রনের শক্তির কার্যকর ব্যবহার, এবং এইভাবে উচ্চ-ঘনত্ব গঠনে প্লাজমার অস্বাভাবিক গ্লো ডিসচার্জে প্লাজমা ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়। লক্ষ্যবস্তু থেকে পরমাণু বের করে দেওয়ার হারও বৃদ্ধি পায়, এবং ধনাত্মক আয়ন দ্বারা লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণের ফলে লক্ষ্যবস্তু স্পুটারিং আরও কার্যকর হয়, যা ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং জমার উচ্চ হারের কারণ। এছাড়াও, চৌম্বক ক্ষেত্রের উপস্থিতি স্পুটারিং সিস্টেমকে কম বায়ুচাপে পরিচালিত করতে পারে, বায়ুচাপের জন্য কম 1 সংঘর্ষ কমাতে খাপ স্তর অঞ্চলে আয়ন তৈরি করতে পারে, তুলনামূলকভাবে বড় গতিশক্তি দিয়ে লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করতে পারে এবং স্পুটার করা লক্ষ্যবস্তু পরমাণু এবং নিরপেক্ষ গ্যাস সংঘর্ষ কমাতে সক্ষম হতে পারে, লক্ষ্যবস্তু পরমাণুগুলিকে ডিভাইসের দেয়ালে ছড়িয়ে ছিটিয়ে থাকা বা লক্ষ্যবস্তু পৃষ্ঠে ফিরে আসা থেকে বিরত রাখতে, পাতলা ফিল্ম জমার হার এবং গুণমান উন্নত করতে।
লক্ষ্য চৌম্বক ক্ষেত্র কার্যকরভাবে ইলেকট্রনের গতিপথকে সীমাবদ্ধ করতে পারে, যা ফলস্বরূপ প্লাজমা বৈশিষ্ট্য এবং লক্ষ্যবস্তুর উপর আয়নগুলির খোদাইকে প্রভাবিত করে।
ট্রেস: লক্ষ্য চৌম্বক ক্ষেত্রের অভিন্নতা বৃদ্ধি লক্ষ্য পৃষ্ঠের খোদাইয়ের অভিন্নতা বৃদ্ধি করতে পারে, এইভাবে লক্ষ্য উপাদানের ব্যবহার উন্নত করতে পারে; যুক্তিসঙ্গত তড়িৎ চৌম্বক ক্ষেত্র বিতরণ কার্যকরভাবে স্পুটারিং প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব উন্নত করতে পারে। অতএব, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লক্ষ্যের জন্য, চৌম্বক ক্ষেত্রের আকার এবং বিতরণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-১৪-২০২৩