স্পুটারিং লেপের ক্রমবর্ধমান বিকাশের সাথে সাথে, বিশেষ করে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ প্রযুক্তি, বর্তমানে, যেকোনো উপাদানের জন্য আয়ন বোমাবাজি লক্ষ্য ফিল্ম দ্বারা প্রস্তুত করা যেতে পারে, কারণ লক্ষ্যটি কোনও ধরণের সাবস্ট্রেটে আবরণ করার প্রক্রিয়ায় স্পুটার করা হয়, পরিমাপ করা ফিল্মের গুণমানের একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব রয়েছে, অতএব, লক্ষ্য উপাদানের প্রয়োজনীয়তা আরও কঠোর। লক্ষ্য উপাদান নির্বাচনের ক্ষেত্রে, ফিল্ম ব্যবহারের পাশাপাশি নিজেই নির্বাচন করা উচিত, নিম্নলিখিত বিষয়গুলিও বিবেচনা করা উচিত:
ফিল্মের পরে লক্ষ্য উপাদানের ভালো যান্ত্রিক শক্তি এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা থাকা উচিত;
লক্ষ্য এবং সাবস্ট্রেটকে দৃঢ়ভাবে একত্রিত করতে হবে, অন্যথায় এটি সাবস্ট্রেটের সাথে নেওয়া উচিত যার মেমব্রেন স্তরের একটি ভাল সমন্বয় রয়েছে, প্রথমে একটি বেস ফিল্ম স্পুটার করা এবং তারপর প্রয়োজনীয় মেমব্রেন স্তর প্রস্তুত করা;
বিক্রিয়া হিসেবে ঝিল্লির উপাদানের মধ্যে ছিটকে পড়া গ্যাসের সাথে সহজেই বিক্রিয়া করে একটি যৌগিক স্তর তৈরি করতে হবে।
ঝিল্লির কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা পূরণের ভিত্তিতে, লক্ষ্য উপাদান এবং সাবস্ট্রেটের তাপীয় প্রসারণের সহগের মধ্যে পার্থক্য যতটা সম্ভব কম, যাতে স্পুটারড ঝিল্লির উপর তাপীয় চাপের প্রভাব কমানো যায়।
ঝিল্লির ব্যবহার এবং কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, লক্ষ্য উপাদানটিকে অবশ্যই বিশুদ্ধতা, অপরিষ্কারতা সামগ্রী, উপাদানের অভিন্নতা, যন্ত্রের নির্ভুলতা এবং অন্যান্য প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে হবে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-০৯-২০২৪