Какъв е техническият принцип на оборудването за твърдо покритие с кухи катоди?

Йонното покритие означава, че реагентите или изпарените материали се отлагат върху субстрата чрез йонно бомбардиране с газови йони или изпарени материали, докато изпарените материали се дисоциират или се разреждат газове във вакуумна камера. Техническият принцип на оборудването за твърдо покритие с кухи катоди е йонното покритие с кухи катоди, което е технология за отлагане чрез разряд с кухи катоди.

Относно принципа на отлагането с кух катод: Техниката на отлагане с кух катод използва горещ катоден разряд за генериране на плазмен лъч, а катодът е куха танталова тръба. Катодът и спомагателният анод са близо един до друг, което е двата полюса, които запалват дъговия разряд.

Пистолетът за отлагане с кух катод се запалва по два начина.
1, Използването на високочестотно електрическо поле, приложено към катода на танталовата тръба, води до йонизация на аргоновия газ в катода на танталовата тръба в аргонови йони, след което катодът се бомбардира от танталовата тръба, като непрекъснато се бомбардира от аргонови йони, докато температурата достигне минималния температурен стандарт за електронна емисия и генерира плазмен електронен лъч.

2. В спомагателния анод и катод на танталовата тръба, между прилагането на постоянно напрежение от около 300 V, катодът на танталовата тръба все още преминава в аргон. При налягане от 1 Pa-10 Pa аргон, явлението тлеещ разряд между спомагателния анод и катода на танталовата тръба, генерира постоянно бомбардиране с аргонови йони върху катода на танталовата тръба. Докато температурата достигне 2300 K-2400 K, катодът на танталовата тръба излъчва голям брой електрони. Това ще се промени от „тлеещ разряд“ на „дъгов разряд“. Този път напрежението е 30 V-60 V, а докато катодът и анодът са свързани към захранването, може да се генерира плазмен електронен лъч.

Оборудване за катодно покритие
1. Подобрете оригиналната структура на пистолета, от оригиналния максимален ток от 230A до 280A.
2. Подобрете оригиналната структура на охладителната система, от оригиналното охлаждане с машина за ледена вода от 4℃ до охлаждане с вода при стайна температура, спестявайки разходи за електроенергия за потребителите.
3, Подобрете оригиналната структура на механичната трансмисия, променете я на структура на трансмисия с магнитна течност, високата температура няма да заседне въртящата се рамка.
4, ефективната площ на покритие ￠ 650X1100, може да побере 750 X 1250X600 големи производители на матрици и зъбни колела с екстра дълга протяжка, с много голям обем.

Машината за йонно покритие с кухи катоди се използва главно за покритие на инструменти, форми, големи огледални форми, пластмасови форми, ножове за фрезоване и други продукти.