Формата на повърхността и коефициентът на термично разширение на субстрата върху филма

Растежът на филма има много важно въздействие. Ако грапавостта на повърхността на субстрата е голяма и се комбинира с повърхностни дефекти, това ще повлияе на скоростта на закрепване и растеж на филма. Следователно, преди да започне вакуумното покритие, субстратът ще бъде предварително обработен, което играе ролята на грапавост на повърхността на субстрата. След ултразвуковата интервенция, повърхността на субстрата ще образува малка драскотина, което увеличава площта на контакт между частиците на тънкия филм и повърхността на субстрата, което може значително да увеличи формалността на ротора и комбинацията между мембранната основа.

При повечето материали за субстрати, с намаляване на грапавостта на субстрата, адхезията на филма се увеличава, т.е. силата на свързване на мембраната с основата се засилва; има и някои материали за субстрати, които са специални случаи, като например закрепването на филма към керамичната основа. С намаляване на грапавостта, силата на свързване на мембраната с основата се отслабва.

Във влияещите фактори, които съвпадат с филма и филма, коефициентът на термично разширение играе решаваща роля. Когато коефициентът на термично разширение на филма е по-голям от коефициента на термично разширение на матрицата, въртящият момент е отрицателен и максималното напрежение е на свободната граница. Близо до центъра центърът се компресира и филмът може да изглежда слоест. Вземете за пример тънкия седиментен филм Skinus. Тъй като коефициентът на термично разширение на диаманта е малък, когато отлагането в газова фаза приключи, температурата на субстрата се понижава от по-висока седиментна температура до стайна температура и свиването на диаманта се намалява в сравнение със субстрата. Вътре ще се получи голямо термично напрежение. Когато коефициентът на термично разширение на филма е по-малък от коефициента на нагряване на субстрата, въртящият момент е положителен и филмът не е лесен за нанасяне на слоеве.

–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа