1. Термична CVD технология
Твърдите покрития са предимно металокерамични покрития (TiN и др.), които се образуват чрез реакцията на метала в покритието и реактивната газификация. Първоначално термичната CVD технология се използваше за осигуряване на активираща енергия на комбинираната реакция чрез топлинна енергия при висока температура от 1000 ℃. Тази температура е подходяща само за отлагане на TiN и други твърди покрития върху инструменти от циментиран карбид. Досега все още е важна технология за отлагане на композитни покрития TiN-Al20 върху инструменти от циментиран карбид.
2. Йонно покритие с кух катод и йонно покритие с гореща тел
През 80-те години на миналия век за нанасяне на покритие върху режещи инструменти са използвани йонно покритие с кух катод и йонно покритие с гореща тел. И двете технологии за йонно покритие са технологии за йонно покритие с дъгово разрядно покритие, със степен на йонизация на метала до 20%~40%.
3. Йонно покритие с катодна дъга
Появата на катодно-дъгово йонно покритие доведе до разработването на технологията за нанасяне на твърди покрития върху форми. Скоростта на йонизация на катодно-дъговото йонно покритие е 60%~90%, което позволява на голям брой метални йони и реакционни газови йони да достигнат повърхността на детайла, като същевременно поддържат висока активност. Това води до реакционно отлагане и образуване на твърди покрития като TiN. Понастоящем технологията за катодно-дъгово йонно покритие се използва главно за нанасяне на твърди покрития върху форми.
Катодният дъгов източник е твърдотелен изпарителен източник без фиксирана разтопена вана, като позицията на дъговия източник може да бъде произволно разположена, което подобрява коефициента на използване на пространството в помещението за покритие и увеличава капацитета на натоварване на пещта. Формите на катодните дъгови източници включват малки кръгли катодни дъгови източници, колоновидни дъгови източници и правоъгълни плоски големи дъгови източници. Различните компоненти на малките дъгови източници, колоновите дъгови източници и големите дъгови източници могат да бъдат разположени отделно за отлагане на многослойни филми и нано многослойни филми. В същото време, поради високата скорост на йонизация на метала при катодно дъгово йонно покритие, металните йони могат да абсорбират повече реакционни газове, което води до широк технологичен диапазон и лесна операция за получаване на отлични твърди покрития. Въпреки това, в микроструктурата на покривния слой, получен чрез катодно дъгово йонно покритие, има едри капчици. През последните години се появиха много нови технологии за усъвършенстване на структурата на филмовия слой, което е подобрило качеството на филма за дъгово йонно покритие.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology,производител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 28 април 2023 г.