З ростам развіцця распыляльных пакрыццяў, асабліва тэхналогіі магнетроннага распылення, у цяперашні час для любога матэрыялу можна падрыхтаваць плёнку-мішэнь шляхам іённай бамбардзіроўкі. Паколькі мішэнь распыляецца ў працэсе нанясення пакрыцця на нейкую падкладку, якасць атрыманай плёнкі мае важны ўплыў, таму патрабаванні да матэрыялу мішэні таксама больш жорсткія. Пры выбары матэрыялу мішэні, акрамя выкарыстання самой плёнкі, неабходна таксама ўлічваць наступныя пытанні:
Мэтавы матэрыял павінен мець добрую механічную трываласць і хімічную стабільнасць пасля нанясення плёнкі;
Мішэнь і падкладка павінны быць трывала злучаныя, у адваротным выпадку варта ўзяць падкладку з добрай камбінацыяй мембраннага пласта, спачатку распыліўшы асноўную плёнку, а затым падрыхтаваўшы неабходны мембранны пласт;
Паколькі рэакцыйнае распыленне ў мембрану, матэрыял павінен лёгка рэагаваць з газам для стварэння складанай плёнкі.
Зыходзячы з патрабаванняў да характарыстык мембраны, розніца паміж каэфіцыентам цеплавога пашырэння мэтавага матэрыялу і падкладкі павінна быць як мага меншай, каб мінімізаваць уплыў цеплавога напружання на распыленую мембрану.
Згодна з патрабаваннямі да выкарыстання і прадукцыйнасці мембраны, мэтавы матэрыял павінен адпавядаць чысціні, утрыманню прымешак, аднастайнасці кампанентаў, дакладнасці апрацоўкі і іншым тэхнічным патрабаванням.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 09 студзеня 2024 г.