Крыніца выпарэння з рэзістыўным нагрэвам мае простую структуру, лёгка выкарыстоўваецца і лёгка вырабляецца, з'яўляецца найбольш шырока выкарыстоўваным тыпам крыніцы выпарэння. Звычайна яе называюць цеплагенератарам або выпарнай лодкай.
Патрабаванні да выкарыстоўванага матэрыялу для награвання наступныя: высокая тэмпература, супраціўленне, нізкі ціск пары пры высокіх тэмпературах, адсутнасць хімічнай рэакцыі з матэрыялам мембраны, адсутнасць выдзялення газаў і забруджвання навакольнага асяроддзя. Выбіраемыя матэрыялы для награвання ў асноўным з тугаплаўкіх металаў, такіх як W, Mo, Ta і іншых матэрыялаў, або з высакаякаснага графіту або нітрыду бору, сінтэтычнай праводнай керамікі і іншых матэрыялаў. Часам у якасці крыніцы выпарэння можна выкарыстоўваць Fe, Ni, сплавы Ni-Cr і Pt.
Розныя распаўсюджаныя матэрыялы (напрыклад, Ti, Mo, C, Ta, W і г.д.) маюць розныя тэмпературы плаўлення, ціск пары і тэмпературу, якія адрозніваюцца. Сярод іх вальфрам становіцца далікатным пры награванні да тэмпературы выпарэння з-за прадукту награвання. Малібдэн, з іншага боку, мае розную чысціню, некаторыя становяцца далікатнымі, а іншыя не. Вальфрам рэагуе з вадзяной парай, утвараючы лятучае кіслароднае злучэнне WO3.
Такім чынам, пры награванні вальфраму ў рэшткавай вадзяной пары нагрэты матэрыял пастаянна высільваецца. Пры нізкім ціску рэшткавага газу страты матэрыялу невялікія, але гэта сур'ёзнае забруджванне мембраны.
Пры выкарыстанні ніткападобных крыніц варта звярнуць увагу на змочванне гарачага дроту на мембранным матэрыяле. Напрыклад, калі тэмпература гарачага дроту павышаецца занадта хутка, мембранны матэрыял не можа адразу расплавіць увесь яго, і змочванне гарачага дроту недастатковае. У выніку нерасплаўленая плёнка можа выпасці з дроцянога кошыка. Адначасова, занадта хуткае павышэнне тэмпературы таксама прывядзе да хуткага вызвалення газу з мембраннага матэрыялу, што прывядзе да ўтварэння бурбалак або пырскаў, у выніку чаго дробныя кроплі будуць прыліпаць да падкладкі. Таму ніткападобныя крыніцы павінны выкарыстоўвацца з кантролем тэмпературы.
Асноўным недахопам дроцяных кошыкаў, канічных або спіральных шпулек з'яўляецца тое, што колькасць апорнага плёнкавага матэрыялу занадта малая, і гэтая крыніца прывядзе да павышэння тэмпературы гарачага дроту па меры памяншэння колькасці плёнкавага матэрыялу пасля яго выпарэння, што прывядзе да павелічэння хуткасці выпарэння. Гэта таксама праблема, якую варта адзначыць для працэсу вырабу плёнкі, які патрабуе строгага кантролю хуткасці выпарэння.
(2) Прынцып працы, форма структуры і характарыстыкі выкарыстання
Крыніца выпарэння з дапамогай рэзістыўнага нагрэву, па сутнасці, з'яўляецца рэзістыўным награвальнікам. Ён выкарыстоўвае цеплагенератар або выпарнік, які непасрэдна падключаецца да крыніцы энергіі. Праз яго праходзіць вялікая колькасць джоўлева цяпла, і ток дасягае высокай тэмпературы, што вядзе да расплаўлення металічнай плёнкі і яе выпарэння.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 23 лютага 2024 г.