1. Тэхналогія тэрмічнай хімічнай апрацоўкі парашка (CVD)
Цвёрдыя пакрыцці ў асноўным уяўляюць сабой металакерамічныя пакрыцці (TiN і г.д.), якія ўтвараюцца ў выніку рэакцыі металу ў пакрыцці і рэактыўнай газіфікацыі. Спачатку тэхналогія тэрмічнага CVD выкарыстоўвалася для забеспячэння энергіі актывацыі камбінаванай рэакцыі за кошт цеплавой энергіі пры высокай тэмпературы 1000 ℃. Гэтая тэмпература падыходзіць толькі для нанясення TiN і іншых цвёрдых пакрыццяў на цвёрдасплаўныя інструменты. Да гэтага часу важнай тэхналогіяй застаецца нанясенне кампазітных пакрыццяў TiN-Al20 на цвёрдасплаўныя інструментальныя галоўкі.
2. Іённае пакрыццё з полым катодам і іённае пакрыццё з гарачай дугі
У 1980-х гадах для нанясення пакрыццяў на рэжучыя інструменты выкарыстоўваліся іённае пакрыццё з полым катодам і дугавое іённае пакрыццё гарачым дротам. Абедзве гэтыя тэхналогіі іённага пакрыцця з'яўляюцца тэхналогіямі іённага пакрыцця дугавым разрадам, са хуткасцю іанізацыі металу да 20%~40%.
3. Пакрыццё іённай дугавой катодай
З'яўленне іонна-дугавога пакрыцця прывяло да распрацоўкі тэхналогіі нанясення цвёрдых пакрыццяў на формы. Хуткасць іанізацыі іонна-дугавога пакрыцця складае 60%~90%, што дазваляе вялікай колькасці іёнаў металаў і іёнаў рэакцыйных газаў дасягнуць паверхні апрацоўванай дэталі, захоўваючы пры гэтым высокую актыўнасць, што прыводзіць да рэакцыйнага адкладання і ўтварэння цвёрдых пакрыццяў, такіх як TiN. У цяперашні час тэхналогія іонна-дугавога пакрыцця ў асноўным выкарыстоўваецца для нанясення цвёрдых пакрыццяў на формы.
Крыніца дугі з катодам — гэта цвёрдацельная крыніца выпарэння без фіксаванай ванны расплаўленага раствора, і месцазнаходжанне крыніцы дугі можа быць адвольным, што паляпшае каэфіцыент выкарыстання прасторы памяшкання для нанясення пакрыцця і павялічвае грузападымальнасць печы. Формы крыніц дугі з катодам ўключаюць невялікія круглыя крыніцы дугі з катодам, слупкападобныя крыніцы дугі і прастакутныя плоскія вялікія крыніцы дугі. Розныя кампаненты невялікіх крыніц дугі, слупкападобных крыніц дугі і вялікіх крыніц дугі могуць быць размешчаны асобна для нанясення шматслаёвых плёнак і нанашматслаёвых плёнак. У той жа час, дзякуючы высокай хуткасці іанізацыі металу пры нанясенні іёнаў з катодам, іёны металаў могуць паглынаць больш рэакцыйных газаў, што прыводзіць да шырокага дыяпазону працэсаў і простай эксплуатацыі для атрымання выдатных цвёрдых пакрыццяў. Аднак у мікраструктуры пласта пакрыцця, атрыманага пры нанясенні іёнаў з катодам, прысутнічаюць буйныя кроплі. У апошнія гады з'явілася шмат новых тэхналогій для ўдасканалення структуры пласта плёнкі, што палепшыла якасць плёнкі пакрыцця з іёнаў з катодам.
——Гэты артыкул быў апублікаваны кампаніяй Guangdong Zhenhua Technology,вытворца машын для аптычнага пакрыцця.
Час публікацыі: 28 красавіка 2023 г.