طلاء الأيونات يعني ترسيب المواد المتفاعلة أو المتبخرة على الركيزة عن طريق القصف الأيوني لأيونات الغاز أو المواد المتبخرة، بينما تُفكك المواد المتبخرة أو تُفرّغ الغاز في حجرة مفرغة. المبدأ التقني لمعدات طلاء الكاثود المجوف الصلب هو طلاء أيونات الكاثود المجوف، وهي تقنية ترسيب تفريغ الكاثود المجوف.
حول مبدأ ترسيب تفريغ الكاثود المجوف: تعتمد تقنية ترسيب تفريغ الكاثود المجوف على تفريغ الكاثود الساخن لتوليد شعاع بلازما، والكاثود عبارة عن أنبوب تنتالوم مجوف. يكون الكاثود والأنود المساعد قريبين من بعضهما البعض، وهما القطبان اللذان يُشعلان تفريغ القوس.
تشتعل مسدس ترسيب التفريغ الكاثودي المجوف بطريقتين.
1، استخدام المجال الكهربائي عالي التردد المطبق على أنبوب التنتالوم الكاثود، بحيث يتأين غاز الأرجون في أنبوب التنتالوم الكاثود إلى أيونات الأرجون ثم يتم تشغيله بواسطة أنبوب التنتالوم الكاثود الذي يتم قصفه باستمرار بواسطة أيونات الأرجون، حتى ترتفع الحرارة إلى الحد الأدنى لمعيار درجة الحرارة لانبعاث الإلكترون وتوليد شعاع إلكترون البلازما.
2، في الأنود المساعد وأنبوب التنتالوم الكاثود بين تطبيق حوالي 300 فولت تيار مستمر الجهد، لا يزال أنبوب التنتالوم الكاثود يمر في غاز الأرجون، في ضغط غاز الأرجون 1Pa-10Pa، ظاهرة تفريغ توهج الأنود المساعد وأنبوب التنتالوم الكاثود، توليد قصف أيون الأرجون باستمرار قصف أنبوب التنتالوم الكاثود، حتى درجة حرارة 2300K-2400K، ينبعث من أنبوب التنتالوم الكاثود عدد كبير من الإلكترونات، سيتم تغييرها من "تفريغ الوهج" إلى "تفريغ القوس"، هذه المرة الجهد منخفض يصل إلى 30V-60V، ثم طالما الكاثود والأنود بين مصدر الطاقة، يمكنك توليد شعاع إلكترون البلازما.
معدات الطلاء الكاثودي
1. تحسين هيكل البندقية الأصلي، من الحد الأقصى للتيار الأصلي 230 أمبير إلى 280 أمبير.
2. تحسين هيكل نظام التبريد الأصلي، من تبريد آلة الماء المثلج الأصلية 4 درجات مئوية إلى تبريد الماء بدرجة حرارة الغرفة، مما يوفر تكلفة الكهرباء للمستخدمين.
3. تحسين هيكل النقل الميكانيكي الأصلي، وتغييره إلى هيكل نقل السوائل المغناطيسية، ودرجة الحرارة العالية لن تؤدي إلى تشويش الإطار الدوار.
4، مساحة الطلاء الفعالة ￠ 650X1100، يمكن أن تستوعب 750 X 1250X600 من مصنعي القوالب والعتاد كبيرة الحجم من المقص الطويل للغاية، مع حجم كبير جدًا.
تُستخدم آلة طلاء الأيونات الكاثودية المجوفة بشكل أساسي في طلاء الأدوات والقوالب وقوالب المرايا الكبيرة والقوالب البلاستيكية وسكاكين التقطيع وغيرها من المنتجات.
وقت النشر: ٧ نوفمبر ٢٠٢٢