مرحباً بكم في شركة Guangdong Zhenhua Technology Co.,Ltd.
لافتة واحدة

شكل السطح ومعامل التمدد الحراري للركيزة على الفيلم

المصدر:Zhenhua Vacuum
اقرأ: 10
نُشر بتاريخ: ٢٤-٠٢-٢٩

إن مواجهة نمو الفيلم لها تأثير بالغ الأهمية. إذا كانت خشونة سطح الركيزة كبيرة، وزادت مع وجود عيوب سطحية، فسيؤثر ذلك على معدل التصاق الفيلم ونموه. لذلك، قبل بدء طلاء الفراغ، ستخضع الركيزة لمعالجة مسبقة، والتي تلعب دور خشونة سطح الركيزة على سطحها. بعد التدخل بالموجات فوق الصوتية، سيشكل سطح الركيزة خدشًا صغيرًا، مما يزيد من مساحة التلامس بين جزيئات الفيلم الرقيق وسطح الركيزة، مما قد يزيد بشكل كبير من شكلية الدوار وتركيب قاعدة الغشاء.

في معظم مواد الركيزة، مع انخفاض خشونة الركيزة، يزداد التصاق الغشاء، أي تزداد قوة ربط قاعدة الغشاء. كما توجد بعض مواد الركيزة التي تُعدّ حالات خاصة، مثل التصاق الغشاء بالقاعدة الخزفية. وبدرجات متناقصة، تضعف قوة ربط قاعدة الغشاء.

في العوامل المؤثرة التي تطابق الفيلم والفيلم، يلعب معامل الكتلة الحرارية دورًا حاسمًا. عندما يكون معامل التمدد الحراري للفيلم أكبر من معامل التمدد الحراري للمصفوفة، يكون عزم الدوران سلبيًا، ويكون الحد الأقصى للتوتر عند الحد الحر. إنه قريب من مركز المركز ليصبح مضغوطًا، وقد يظهر الفيلم على شكل طبقات. خذ فيلم Skinus الرسوبي الرقيق كمثال. نظرًا لأن معامل التمدد الحراري للماس صغير، فعندما ينتهي ترسب الطور الغازي، تنخفض درجة حرارة الركيزة من درجة حرارة رسوبية أعلى إلى درجة حرارة الغرفة، ويقل انكماش الماس مقارنة بالركيزة. سينتج إجهاد حراري كبير في الداخل. عندما يكون معامل التمدد الحراري للفيلم أقل من معامل دفتر الأستاذ للركيزة، يكون عزم الدوران موجبًا، ولا يكون الفيلم سهل الطبقات.

-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا


وقت النشر: ٢٩ فبراير ٢٠٢٤