اختيار الهدف وتصنيفه

مع التطور المتزايد في تقنية طلاء الرش، وخاصةً طلاء الرش المغناطيسي، أصبح من الممكن حاليًا تحضير أي مادة باستخدام غشاء هدف القصف الأيوني. ولأن الغشاء الهدف يُرش أثناء عملية طلاءه على نوع من الركيزة، فإن جودة الغشاء المقاس لها تأثير كبير، وبالتالي، أصبحت متطلبات مادة الهدف أكثر صرامة. عند اختيار غشاء الهدف، بالإضافة إلى نوع الغشاء نفسه، يجب مراعاة النقاط التالية:

يجب أن تتمتع المادة المستهدفة بقوة ميكانيكية جيدة واستقرار كيميائي بعد الفيلم؛

يجب أن يتم دمج الهدف والركيزة بشكل محكم، وإلا فيجب أخذ الركيزة مع طبقة الغشاء التي تحتوي على مزيج جيد، أولاً رش الفيلم الأساسي ثم تحضير طبقة الغشاء المطلوبة؛

حيث أن التفاعل الناتج عن الرش في مادة الغشاء يجب أن يكون من السهل تفاعله مع الغاز لتوليد فيلم مركب.

تحت فرضية تلبية متطلبات أداء الغشاء، فإن الفرق بين معامل التمدد الحراري للمادة المستهدفة والركيزة يكون صغيرًا قدر الإمكان، وذلك لتقليل تأثير الإجهاد الحراري على الغشاء المرشوش.

وفقًا لمتطلبات الاستخدام والأداء للغشاء، يجب أن تلبي المادة المستهدفة النقاء ومحتوى الشوائب وتوحيد المكونات ودقة التصنيع والمتطلبات الفنية الأخرى.

-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا