يتميز مصدر تبخير التسخين بالمقاومة ببنيته البسيطة، وسهولة استخدامه، وسهولة تصنيعه، وهو من أكثر مصادر التبخير استخدامًا. ويُطلق عليه عادةً اسم "مولد الحرارة" أو "قارب التبخير".
متطلبات تسخين مادة المقاومة المستخدمة هي: درجة حرارة عالية، ومقاومة حرارية، وضغط بخار منخفض عند درجات حرارة عالية، وعدم تفاعل كيميائي مع مادة الغشاء، وعدم انبعاث غازات أو تلوث. تُختار مواد التسخين المقاومة بشكل رئيسي من معادن حرارية، مثل W وMo وTa وغيرها من المواد، أو من سيراميك موصل صناعي عالي النقاء والقوة من الجرافيت أو نتريد البورون، وغيرها من المواد. في بعض الأحيان، يمكن أيضًا اختيار Fe وNi وNi-Cr وPt كمواد مصدر للتبخر.
تختلف مصادر تبخر التسخين بالمقاومة للمواد الشائعة (مثل Ti، Mo، C، Ta، W، إلخ) من حيث درجة الانصهار وضغط البخار ودرجة الحرارة. من بينها، يصبح التنغستن هشًا عند تسخينه إلى درجة حرارة التبخر بسبب ناتج تقاطع التسخين. من ناحية أخرى، يختلف الموليبدينوم في نقائه، فبعضه يصبح هشًا والبعض الآخر لا. يتفاعل التنغستن مع بخار الماء لتكوين مركب الأكسجين المتطاير WO3.
لذلك، عند تسخين التنغستن في بخار الماء المتبقي، تُستنزف المادة المُسخّنة باستمرار. وعندما يكون ضغط الغاز المتبقي منخفضًا، لا يُفقد الكثير من المواد، ولكنه يُسبب تلوثًا خطيرًا للغشاء.
عند استخدام مصادر الفتيل، يجب الانتباه إلى تبليل السلك الساخن بمادة الغشاء. على سبيل المثال، ترتفع درجة حرارة السلك الساخن بسرعة كبيرة، مما يصعب على مادة الغشاء إذابتها فورًا، ولا يكفي تبليل السلك الساخن. نتيجةً لذلك، قد يتساقط الغشاء غير المذاب من سلة الأسلاك. في الوقت نفسه، يؤدي ارتفاع درجة الحرارة السريع إلى إطلاق الغاز من مادة الغشاء بسرعة، مما يؤدي إلى ظهور فقاعات أو تناثر، مما يؤدي إلى التصاق قطرات صغيرة بالركيزة. لذلك، يجب استخدام مصادر الفتيل مع التحكم في درجة الحرارة.
العيب الرئيسي لسلال الأسلاك، أو الملفات المخروطية، أو الحلزونية، هو قلة كمية مادة الفيلم الداعم، مما يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة السلك الساخن مع انخفاض كمية مادة الفيلم بعد تبخرها، مما يؤدي إلى ارتفاع معدل التبخر. وهذه أيضًا مشكلة يجب مراعاتها في عملية تصنيع الفيلم التي تتطلب تحكمًا صارمًا في معدل التبخر.
(2) مبدأ العمل وشكل البنية وخصائص الاستخدام
في الواقع، فإن مصدر تبخر التدفئة المقاومة هو سخان المقاومة الذي يستخدم مولد الحرارة أو قارب التبخر الذي يتم تنشيطه مباشرة، بحيث يمر التيار عبر عدد كبير من جول الحرارة ويحصل على درجة حرارة عالية لإذابة مادة الفيلم المعدنية، بحيث يصبح تبخرها نوعًا من مصدر التبخر.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٣ فبراير ٢٠٢٤