Ioonbedekking beteken dat die reaktante of verdampte materiale op die substraat neergelê word deur die ioonbombardement van gasione of verdampte materiale terwyl die verdampte materiale gedissosieer of gas in 'n vakuumkamer ontlaai word. Die tegniese beginsel van hol katode-hardebedekkingstoerusting is hol katode-ioonbedekking, wat 'n hol katode-ontladingsafsettingstegnologie is.
Oor die beginsel van hol katode-ontladingsafsetting: Die hol katode-ontladingsafsettingstegniek gebruik 'n warm katode-ontlading om 'n plasmastraal te genereer, en die katode is 'n hol tantaalbuis. Die katode en die hulpanode is naby mekaar, wat die twee pole is wat die boogontlading aansteek.
Die hol katode-ontladingsafsettingsgeweer ontbrand op twee maniere.
1. Die gebruik van 'n hoëfrekwensie-elektriese veld wat op die katode-tantaalbuis toegepas word, sodat die argongas van die katode-tantaalbuis in argonione geïoniseer word en dan deur die katode-tantaalbuis voortdurend met argonione gebombardeer word, totdat die hitte opgewarm word tot die minimum temperatuurstandaard van elektronemissie en 'n plasma-elektronstraal gegenereer word.
2. In die toepassing van ongeveer 300V GS-spanning tussen die hulpanode en katode se tantaalbuis, gaan die katode se tantaalbuis steeds in die argongas. Onder argongasdruk van 1Pa-10Pa, veroorsaak die gloei-ontladingsverskynsel van die hulpanode en katode se tantaalbuis, wat voortdurend argonioonbombardement op die katode se tantaalbuis veroorsaak. Tot 'n temperatuur van 2300K-2400K stel die katode se tantaalbuis 'n groot aantal elektrone uit, wat van "gloei-ontlading" na "boogontlading" verander. Hierdie keer is die spanning so laag as 30V-60V, en solank die katode en anode tussen die kragtoevoer is, kan 'n plasma-elektronstraal gegenereer word.
Katodiese bedekkingstoerusting
1. Verbeter die oorspronklike geweerstruktuur, van die oorspronklike maksimum stroom van 230A tot 280A.
2. Verbeter die oorspronklike verkoelingstelselstruktuur, van die oorspronklike 4℃ yswatermasjienverkoeling tot kamertemperatuur verkoelingswaterverkoeling, wat die elektrisiteitskoste vir gebruikers bespaar.
3, Verbeter die oorspronklike meganiese transmissiestruktuur, verander na magnetiese vloeistoftransmissiestruktuur, hoë temperatuur sal nie die roterende raam vassteek nie.
4, die effektiewe bedekkingsarea ￠ 650X1100, kan 750 X 1250X600 oorgrootte matryse en ratvervaardigers van ekstra lang broach, met 'n baie groot volume, akkommodeer.
Die hol katode-ioonbedekkingsmasjien word hoofsaaklik gebruik in die platering van gereedskap, vorms, groot spieëlvorms, plastiekvorms, slypmesse en ander produkte.
Plasingstyd: 7 Nov 2022