Die struktuur van die weerstandverhittingsverdampingsbron is eenvoudig, maklik om te gebruik, maklik om te maak, en is die mees gebruikte soort verdampingsbron. Mense word gewoonlik hittegenerator of verdampingsboot genoem.
Die vereistes vir verhitting is: hoë temperatuur, weerstand, lae dampdruk by hoë temperature, geen chemiese reaksie met die membraanmateriaal nie, geen uitgassing en besoedeling nie. Weerstandsverhittingsmateriaal word hoofsaaklik van vuurvaste metale soos W, Mo, Ta en ander materiale gekies, of hoë suiwerheid, hoë sterkte grafiet of boornitried sintetiese geleidende keramiek en ander materiale word gekies. Soms kan Fe, Ni, Ni-Cr-legerings en Pt ook as verdampingsbronmateriaal gekies word.
Verskeie weerstandverhittingsverdampingsbronne van algemene materiale (soos Ti, Mo, C, Ta, W, ens.) se smeltpunt- en dampdruk-temperatuurverhoudingskurwe verskil. Onder hulle word wolfram bros wanneer dit tot die verdampingstemperatuur verhit word as gevolg van die verhittingsvoegproduk. Molibdeen, aan die ander kant, wissel in suiwerheid, met sommige wat bros word en ander nie. Wolfram reageer met waterdamp om die vlugtige suurstofverbinding WO3 te vorm.
Daarom, wanneer wolfram in oorblywende waterdamp verhit word, word die verhitte materiaal voortdurend uitgeput. Wanneer die oorblywende gasdruk laag is, is daar nie veel materiaalverlies nie, maar dit is 'n ernstige besoedeling van die membraan.
By die gebruik van filamentbronne moet aandag gegee word aan die benatting van die warm draad op die membraanmateriaal. Byvoorbeeld, as die warm draadtemperatuur te vinnig styg, is dit nie maklik om al die membraanmateriaal onmiddellik te smelt nie, en die warm draadbenatting is nie voldoende nie. Gevolglik kan die ongesmelte film uit die draadmandjie val. Terselfdertyd sal 'n te vinnige temperatuurstyging ook veroorsaak dat die membraanmateriaal se gas vinnig vrygestel word, wat lei tot borrels of spatsels, wat veroorsaak dat klein druppels aan die substraat vassit. Daarom moet filamentbronne met temperatuurbeheer gebruik word.
Die grootste nadeel van draadmandjies, koniese spoele of spiraalspoele is dat die hoeveelheid ondersteunende filmmateriaal te klein is, en hierdie bron sal veroorsaak dat die temperatuur van die warm draad styg namate die hoeveelheid filmmateriaal afneem nadat die filmmateriaal verdamp het, wat veroorsaak dat die verdampingstempo styg. Dit is ook 'n probleem wat in ag geneem moet word vir die filmvervaardigingsproses wat streng beheer oor die verdampingstempo vereis.
(2) Die werkbeginsel en struktuurvorm en gebruikskenmerk
Weerstandsverhittingsverdampingsbron is in werklikheid 'n weerstandsverwarmer. Dit is die gebruik van 'n hittegenerator of verdampingsboot wat direk energiek is, sodat die stroom deur 'n groot aantal Joule-hitte en hoë temperatuur verkry word om die metaalfilmmateriaal te smelt, sodat die verdamping daarvan 'n soort verdampingsbron vorm.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 23 Februarie 2024