1. Termiese CVD-tegnologie
Harde bedekkings is meestal metaalkeramiekbedekkings (TiN, ens.), wat gevorm word deur die reaksie van metaal in die bedekking en reaktiewe vergassing. Aanvanklik is die termiese CVD-tegnologie gebruik om die aktiveringsenergie van die kombinasiereaksie deur termiese energie by 'n hoë temperatuur van 1000 ℃ te verskaf. Hierdie temperatuur is slegs geskik vir die neerlegging van TiN en ander harde bedekkings op gesementeerde karbiedgereedskap. Tot dusver is dit steeds 'n belangrike tegnologie om TiN-Al20-saamgestelde bedekkings op gesementeerde karbiedgereedskapkoppe te neerslaan.
2. Hol katode-ioonbedekking en warmdraadboog-ioonbedekking
In die 1980's is hol katode-ioonbedekking en warm draadboogioonbedekking gebruik om bedekte snygereedskap neer te sit. Beide hierdie ioonbedekkingstegnologieë is boogontladingsioonbedekkingstegnologieë, met 'n metaalionisasietempo van tot 20%~40%.
3. Katodeboogioonbedekking
Die opkoms van katodiese boogioonbedekking het gelei tot die ontwikkeling van die tegnologie om harde bedekkings op vorms neer te sit. Die ionisasietempo van katodiese boogioonbedekking is 60%~90%, wat 'n groot aantal metaalione en reaksiegasione toelaat om die oppervlak van die werkstuk te bereik en steeds hoë aktiwiteit te handhaaf, wat lei tot reaksie-afsetting en die vorming van harde bedekkings soos TiN. Tans word katodiese boogioonbedekkingstegnologie hoofsaaklik gebruik om harde bedekkings op vorms neer te sit.
Die katodeboogbron is 'n vastetoestand-verdampingsbron sonder 'n vaste gesmelte poel, en die boogbronposisie kan arbitrêr geplaas word, wat die ruimtebenuttingstempo van die bedekkingskamer verbeter en die oond se laaikapasiteit verhoog. Die vorms van katodeboogbronne sluit in klein sirkelvormige katodeboogbronne, kolomvormige boogbronne en reghoekige plat grootboogbronne. Verskillende komponente van kleinboogbronne, kolomvormige boogbronne en grootboogbronne kan afsonderlik gerangskik word om meerlaagfilms en nano-meerlaagfilms neer te lê. Intussen, as gevolg van die hoë metaalionisasietempo van katodiese boogioonbedekking, kan metaalione meer reaksiegasse absorbeer, wat lei tot 'n wye prosesreeks en eenvoudige werking om uitstekende harde bedekkings te verkry. Daar is egter growwe druppels in die mikrostruktuur van die bedekkingslaag wat verkry word deur katodiese boogioonbedekking. In onlangse jare het baie nuwe tegnologieë na vore gekom om die struktuur van die filmlaag te verfyn, wat die kwaliteit van die boogioonbedekkingsfilm verbeter het.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, 'nvervaardiger van optiese bedekkingsmasjiene.
Plasingstyd: 28 Apr-2023