Ìfọ́mọ́ra magnetron vacuum jẹ́ ohun tó dára jùlọ fún àwọn ìbòrí ìfàsẹ́yìn. Ní gidi, ìlànà yìí lè gbé àwọn fíìmù tín-tín ti èyíkéyìí ohun èlò oxide, carbide, àti nitride sí i. Ní àfikún, ìlànà náà tún dára fún ìforúkọsílẹ̀ àwọn ètò fíìmù onípele púpọ̀, títí bí àwọn àwòrán opitika, àwọn fíìmù àwọ̀, àwọn ìbòrí tí kò lè wọ aṣọ, àwọn nano-laminates, àwọn ìbòrí superlattice, àwọn fíìmù ìdábòbò, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ní ìbẹ̀rẹ̀ ọdún 1970, a ti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn àpẹẹrẹ ìforúkọsílẹ̀ fíìmù opitika tó ga jùlọ fún onírúurú ohun èlò ìpele fíìmù opitika. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ní àwọn ohun èlò ìdarí tí ó hàn gbangba, àwọn semiconductors, àwọn polymers, oxides, carbides, àti nitrides, nígbàtí a ń lo fluorides nínú àwọn iṣẹ́ bíi ìbòrí evaporative.
Àǹfààní pàtàkì ti ilana ìfọ́ magnetron ni lílo àwọn ilana ìbòrí tí ń ṣe àtúnṣe tàbí tí kò ṣe àtúnṣe láti fi àwọn fẹlẹfẹlẹ ti àwọn ohun èlò wọ̀nyí sí i àti ìṣàkóso dáradára ti ìṣètò fẹlẹfẹlẹ, sisanra fiimu, iṣọkan sisanra fiimu ati awọn ohun-ini ẹrọ ti fẹlẹfẹlẹ naa. Ilana naa ni awọn abuda bi atẹle.
1,Iye ìfipamọ́ tóbi. Nítorí lílo àwọn elektrodu magnetron iyara gíga, a lè rí ìṣàn ion tóbi, èyí tó ń mú kí ìwọ̀n ìfipamọ́ àti ìwọ̀n ìfipamọ́ nínú ilana ìbòrí yìí sunwọ̀n síi. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ilana ìbòrí sputtering mìíràn, magnetron sputtering ní agbára gíga àti ìyọrísí gíga, a sì ń lò ó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ibi iṣẹ́.
2, Agbara giga ṣiṣe. Àfojúsùn ìfọ́mọ́lẹ̀ Magnẹtron sábà máa ń yan folti laarin iwọn 200V-1000V, ó sábà máa ń jẹ́ 600V, nítorí pé folti 600V wà láàárín iwọn agbara ti o ga julọ.
3. Agbára ìfọ́nká díẹ̀. A fi folti ibi-afẹ́fẹ́ magnetron sí i, pápá oofa sì pààlà plasma náà sí ẹ̀gbẹ́ cathode, èyí tí ó ń dènà àwọn èròjà agbára gíga láti má ṣe tàn sórí substrate náà.
4,Iwọn otutu kekere ti substrate. A le lo anode lati dari awọn elekitironi ti a ṣẹda lakoko itusilẹ, ko si ye lati pari atilẹyin substrate naa, eyiti o le dinku bombardment elekitironi ti substrate naa ni imunadoko. Nitorinaa iwọn otutu substrate naa kere, eyiti o dara julọ fun diẹ ninu awọn substrate ṣiṣu ti ko ni resistance pupọ si ibora otutu giga.
5, Ìfọ́ ojú ibi tí a fi ń fọ̀ Magnetron sputtering kò dọ́gba. Ìfọ́ ojú ibi tí a fi ń fọ̀ Magnetron sputtering kò dọ́gba. Ipò tí a fi ń fọ̀ ibi ...
6, Àfojúsùn ìṣọ̀kan. Ó lè ṣe àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn ìṣọ̀kan. Lọ́wọ́lọ́wọ́, a ti fi àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn magnetron bo àfojúsùn lórí àfojúsùn Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe àti Gb-Co. Àfojúsùn ìṣọ̀kan ní oríṣiríṣi mẹ́rin, lẹ́sẹẹsẹ, ni àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn yíká, àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn onígun mẹ́rin, àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn onígun mẹ́rin àti àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn ìṣọ̀kan. Lílo àfojúsùn ìṣọ̀kan àfojúsùn ìṣọ̀kan sàn ju.
7. Oríṣiríṣi àwọn ohun èlò tí a lè lò. Ìlànà ìfọ́ Magnẹtron lè gbé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò sí i, àwọn tí ó wọ́pọ̀ ni: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ìfọ́ Magnetron jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ọ̀nà ìfọ́ tí a ń lò jùlọ láti gba àwọn fíìmù tó dára jùlọ. Pẹ̀lú cathode tuntun, ó ní lílo ibi-àfojúsùn gíga àti ìwọ̀n ìfọ́ tí ó ga. Ìlànà ìfọ́ Magnetron onígbàfẹ́ ti Guangdong Zhenhua ti di ohun tí a ń lò fún ìfọ́ tí a fi fíìmù onípele kan ṣoṣo ṣe. A kò lo ìlànà náà fún ìfọ́ tí a fi fíìmù onípele kan ṣoṣo ṣe nìkan, ṣùgbọ́n fún ìfọ́ tí a fi fíìmù onípele púpọ̀ ṣe, ní àfikún, a tún lò ó nínú ìlànà ìfọ́ tí a fi fíìmù ...
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-31-2024