స్పుటరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ సాంకేతిక లక్షణాలు

వాక్యూమ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ అనేది రియాక్టివ్ డిపోజిషన్ కోటింగ్స్ కోసం ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది. వాస్తవానికి, ఈ ప్రక్రియ ఏవైనా ఆక్సైడ్, కార్బైడ్ మరియు నైట్రైడ్ పదార్థాల పలుచని పొరలను డిపాజిట్ చేయగలదు. అంతేకాకుండా, ఆప్టికల్ డిజైన్‌లు, కలర్ ఫిల్మ్‌లు, వేర్-రెసిస్టెంట్ కోటింగ్స్, నానో-లామినేట్‌లు, సూపర్‌లాటిస్ కోటింగ్స్, ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్‌లు మొదలైన బహుళ-పొరల ఫిల్మ్ నిర్మాణాలను డిపాజిట్ చేయడానికి కూడా ఈ ప్రక్రియ ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది. 1970వ సంవత్సరం నాటికే, వివిధ రకాల ఆప్టికల్ ఫిల్మ్ లేయర్ పదార్థాల కోసం అధిక నాణ్యత గల ఆప్టికల్ ఫిల్మ్ డిపోజిషన్ నమూనాలు అభివృద్ధి చేయబడ్డాయి. ఈ పదార్థాలలో పారదర్శక వాహక పదార్థాలు, సెమీకండక్టర్లు, పాలిమర్లు, ఆక్సైడ్‌లు, కార్బైడ్‌లు మరియు నైట్రైడ్‌లు ఉంటాయి, అయితే ఎవాపరేటివ్ కోటింగ్ వంటి ప్రక్రియలలో ఫ్లోరైడ్‌లను ఉపయోగిస్తారు.

మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రధాన ప్రయోజనం ఏమిటంటే, ఈ పదార్థాల పొరలను నిక్షేపించడానికి రియాక్టివ్ లేదా నాన్-రియాక్టివ్ కోటింగ్ ప్రక్రియలను ఉపయోగించడం మరియు పొర కూర్పు, ఫిల్మ్ మందం, ఫిల్మ్ మందం ఏకరూపత మరియు పొర యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలను చక్కగా నియంత్రించడం. ఈ ప్రక్రియ కింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.

1. అధిక నిక్షేపణ రేటు. అధిక-వేగ మాగ్నెట్రాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లను ఉపయోగించడం వల్ల, అధిక అయాన్ ప్రవాహాన్ని పొందవచ్చు, ఇది ఈ కోటింగ్ ప్రక్రియ యొక్క నిక్షేపణ రేటు మరియు స్పుటరింగ్ రేటును సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది. ఇతర స్పుటరింగ్ కోటింగ్ ప్రక్రియలతో పోలిస్తే, మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్‌కు అధిక సామర్థ్యం మరియు అధిక దిగుబడి ఉంటాయి, మరియు ఇది వివిధ పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

2. అధిక శక్తి సామర్థ్యం. మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టార్గెట్ సాధారణంగా 200V-1000V పరిధిలో వోల్టేజ్‌ను ఎంచుకుంటుంది, సాధారణంగా 600V ఉంటుంది, ఎందుకంటే 600V వోల్టేజ్ శక్తి సామర్థ్యం యొక్క అత్యధిక ప్రభావవంతమైన పరిధిలో ఉంటుంది.

3. తక్కువ స్పుటరింగ్ శక్తి. మాగ్నెట్రాన్ టార్గెట్ వోల్టేజ్ తక్కువగా వర్తింపజేయబడుతుంది, మరియు అయస్కాంత క్షేత్రం ప్లాస్మాను కాథోడ్ దగ్గర బంధిస్తుంది, ఇది అధిక శక్తి గల ఆవేశిత కణాలు సబ్‌స్ట్రేట్‌పైకి ప్రయోగించబడకుండా నిరోధిస్తుంది.

4. తక్కువ సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత. డిశ్చార్జ్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే ఎలక్ట్రాన్‌లను మళ్లించడానికి యానోడ్‌ను ఉపయోగించవచ్చు, దీనికి సబ్‌స్ట్రేట్ సపోర్ట్ అవసరం లేదు, ఇది సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఎలక్ట్రాన్ల తాకిడిని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది. అందువల్ల సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత తక్కువగా ఉంటుంది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కోటింగ్‌కు అంతగా నిరోధకత లేని కొన్ని ప్లాస్టిక్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు చాలా అనువైనది.

5. మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టార్గెట్ ఉపరితల ఎచింగ్ ఏకరీతిగా ఉండదు. టార్గెట్ యొక్క అసమాన అయస్కాంత క్షేత్రం కారణంగా మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ టార్గెట్ ఉపరితల ఎచింగ్ అసమానంగా ఉంటుంది. టార్గెట్ ఎచింగ్ రేటు ఉన్న ప్రదేశంలో ఇది ఎక్కువగా ఉంటుంది, అందువల్ల టార్గెట్ యొక్క ప్రభావవంతమైన వినియోగ రేటు తక్కువగా ఉంటుంది (కేవలం 20-30% వినియోగ రేటు). అందువల్ల, టార్గెట్ వినియోగాన్ని మెరుగుపరచడానికి, అయస్కాంత క్షేత్ర పంపిణీని నిర్దిష్ట మార్గాల ద్వారా మార్చాలి, లేదా కాథోడ్‌లో కదిలే అయస్కాంతాలను ఉపయోగించడం ద్వారా కూడా టార్గెట్ వినియోగాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు.

6. మిశ్రమ టార్గెట్. మిశ్రమ టార్గెట్ కోటింగ్ మిశ్రమలోహ ఫిల్మ్‌ను తయారు చేయవచ్చు. ప్రస్తుతం, మిశ్రమ మాగ్నెట్రాన్ టార్గెట్ స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించి Ta-Ti మిశ్రమలోహం, (Tb-Dy)-Fe మరియు Gb-Co మిశ్రమలోహ ఫిల్మ్‌పై విజయవంతంగా కోటింగ్ చేయబడింది. మిశ్రమ టార్గెట్ నిర్మాణంలో వరుసగా నాలుగు రకాలు ఉన్నాయి, అవి గుండ్రని ఇన్‌లేడ్ టార్గెట్, చతురస్రాకార ఇన్‌లేడ్ టార్గెట్, చిన్న చతురస్రాకార ఇన్‌లేడ్ టార్గెట్ మరియు సెక్టార్ ఇన్‌లేడ్ టార్గెట్. సెక్టార్ ఇన్‌లేడ్ టార్గెట్ నిర్మాణం యొక్క ఉపయోగం ఉత్తమమైనది.

7. విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలు. మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా అనేక మూలకాలను నిక్షేపించవచ్చు, వాటిలో సాధారణమైనవి: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, మొదలైనవి.

అధిక నాణ్యత గల ఫిల్మ్‌లను పొందడానికి మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ అత్యంత విస్తృతంగా ఉపయోగించే కోటింగ్ ప్రక్రియలలో ఒకటి. కొత్త కాథోడ్‌తో, ఇది అధిక టార్గెట్ వినియోగాన్ని మరియు అధిక డిపాజిషన్ రేటును కలిగి ఉంటుంది. గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా టెక్నాలజీ వాక్యూమ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ ప్రక్రియ ఇప్పుడు పెద్ద-ప్రాంత సబ్‌స్ట్రేట్‌ల కోటింగ్‌లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది. ఈ ప్రక్రియ కేవలం సింగిల్-లేయర్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసమే కాకుండా, మల్టీ-లేయర్ ఫిల్మ్ కోటింగ్ కోసం కూడా ఉపయోగించబడుతుంది. అదనంగా, ప్యాకేజింగ్ ఫిల్మ్, ఆప్టికల్ ఫిల్మ్, లామినేషన్ మరియు ఇతర ఫిల్మ్ కోటింగ్ కోసం రోల్ టు రోల్ ప్రక్రియలో కూడా దీనిని ఉపయోగిస్తారు.