Ho phunya ha magnetron ka vacuum ho loketse haholo bakeng sa ho roala ka mokhoa o arabelang. Ha e le hantle, mokhoa ona o ka beha lifilimi tse tšesaane tsa thepa efe kapa efe ea oxide, carbide le nitride. Ho phaella moo, mokhoa ona o boetse o loketse haholo bakeng sa ho roala meaho ea lifilimi tse nang le mekhahlelo e mengata, ho kenyeletsoa meralo ea mahlo, lifilimi tsa mebala, liaparo tse sa tsofaleng, nano-laminates, liaparo tsa superlattice, lifilimi tsa ho thibela mocheso, jj. Ho tloha ka 1970, mehlala ea boleng bo holimo ea ho roala filimi ea mahlo e se e ntlafalitsoe bakeng sa mefuta e fapaneng ea thepa ea lera la lifilimi tsa mahlo. Lisebelisoa tsena li kenyelletsa thepa e tsamaisang e bonaletsang, li-semiconductor, li-polymer, li-oxide, li-carbide le li-nitride, ha li-fluoride li sebelisoa lits'ebetsong tse kang ho roala ka mouoane.
Molemo o ka sehloohong oa ts'ebetso ea ho phunya ha magnetron ke ho sebelisa mekhoa ea ho roala e arabelang kapa e seng ea karabelo ho beha mekhahlelo ea thepa ena le taolo ea seliba ea sebopeho sa lera, botenya ba filimi, ho tšoana ha botenya ba filimi le litšobotsi tsa mechini tsa lera. Ts'ebetso ena e na le litšobotsi tse latelang.
1、Sekhahla se seholo sa ho ntsha metsi. Ka lebaka la tshebediso ya di-electrode tsa magnetron tse lebelo le hodimo, phallo e kgolo ya ion e ka fumanwa, e leng se ntlafatsang ka katleho sekhahla sa ho ntsha metsi le sekgahla sa ho ntsha metsi sa tshebetso ena ya ho ntsha metsi. Ha ho bapiswa le mekgwa e meng ya ho ntsha metsi, magnetron sputtering e na le bokgoni bo phahameng le chai e ngata, mme e sebediswa haholo tlhahisong e fapaneng ya diindasteri.
2, Bokgoni bo phahameng ba motlakase. Sepheo sa ho phunya ha magnetron ka kakaretso se kgetha motlakase o pakeng tsa 200V le 1000V, hangata ke 600V, hobane motlakase wa 600V o ka hare ho mefuta e phahameng ka ho fetisisa ya bokgoni ba motlakase.
3. Matla a fokolang a ho qhalana. Motlakase o lebisitsoeng oa magnetron o sebelisoa o le tlase, 'me matla a makenete a thibela plasma haufi le cathode, e leng se thibelang likaroloana tse nang le matla a mangata ho qala ho kena ka har'a substrate.
4, Mocheso o tlase oa substrate. Anode e ka sebelisoa ho tataisa lielektrone tse hlahisoang nakong ea ho ntša metsi, ha ho hlokahale hore substrate e tšehetsoe ho phethoa, e leng se ka fokotsang ho phatloha ha lielektrone tsa substrate ka katleho. Kahoo mocheso oa substrate o tlase, e leng se loketseng haholo bakeng sa li-substrate tse ling tsa polasetiki tse sa haneleng haholo ho koaheloa ke mocheso o phahameng.
5, Ho phunya bokaholimo ba sepheo sa Magnetron ha ho tšoane. Ho phunya bokaholimo ba sepheo sa Magnetron ho se lekane ho bakoa ke matla a makenete a sa lekanang a sepheo. Sebaka sa sekhahla sa ho phunya se seholo, hoo sekhahla sa tšebeliso e sebetsang sa sepheo se leng tlase (sekhahla sa ts'ebeliso ea 20-30% feela). Ka hona, ho ntlafatsa ts'ebeliso ea sepheo, kabo ea matla a makenete e hloka ho fetoloa ka mekhoa e itseng, kapa ts'ebeliso ea makenete a tsamaeang ka har'a cathode le eona e ka ntlafatsa ts'ebeliso ea sepheo.
6、Sepheo sa motsoako. E ka etsa filimi ea motsoako oa ho koahela sepheo se kopaneng. Hona joale, ts'ebetso ea ho phunya sepheo sa magnetron e kopantsoeng e se e koahetsoe ka katleho holim'a alloy ea Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe le filimi ea motsoako oa Gb-Co. Sebopeho sa sepheo sa motsoako se na le mefuta e mene, ka ho latellana, ke sepheo se chitja se kentsoeng, sepheo se sekoere se kentsoeng, sepheo se senyenyane se kentsoeng le sepheo se kentsoeng. Tšebeliso ea sebopeho sa sepheo se kentsoeng lekala e betere.
7. Mefuta e mengata ea lits'ebetso. Ts'ebetso ea ho phunya Magnetron e ka beha likarolo tse ngata, tse tloaelehileng ke: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, jj.
Ho sputtering ka Magnetron ke e 'ngoe ea mekhoa ea ho roala e sebelisoang haholo ho fumana lifilimi tsa boleng bo holimo. Ka cathode e ncha, e na le ts'ebeliso e phahameng ea sepheo le sekhahla se phahameng sa ho beha. Mokhoa oa ho roala oa Guangdong Zhenhua Technology vacuum magnetron sputtering joale o sebelisoa haholo ho roaleng li-substrate tsa sebaka se seholo. Ts'ebetso ena ha e sebelisoe feela bakeng sa ho beha filimi ea lera le le leng, empa hape le bakeng sa ho roala filimi ea lera le lengata, ho phaella moo, e boetse e sebelisoa ts'ebetsong ea ho rola moqolo bakeng sa filimi ea ho paka, filimi ea optical, lamination le liaparo tse ling tsa filimi.
Nako ea poso: Mots'eanong-31-2024