Kunyunyizia kwa sumaku ya ombwe kunafaa hasa kwa mipako ya uwekaji tendaji. Kwa kweli, mchakato huu unaweza kuweka filamu nyembamba za nyenzo zozote za oksidi, kabidi, na nitridi. Kwa kuongezea, mchakato huu pia unafaa hasa kwa uwekaji wa miundo ya filamu yenye tabaka nyingi, ikiwa ni pamoja na miundo ya macho, filamu za rangi, mipako inayostahimili uchakavu, nano-laminate, mipako ya superlattice, filamu za kuhami joto, n.k. Mapema kama 1970, mifano ya ubora wa juu ya uwekaji wa filamu ya macho imetengenezwa kwa aina mbalimbali za nyenzo za safu ya filamu ya macho. Nyenzo hizi ni pamoja na nyenzo za upitishaji zinazoonekana wazi, semiconductors, polima, oksidi, kabidi, na nitridi, huku floridi zikitumika katika michakato kama vile mipako ya uvukizi.
Faida kuu ya mchakato wa kunyunyizia sumaku kwa kutumia magnetron ni kutumia michakato ya mipako tendaji au isiyo tendaji ili kuweka tabaka za nyenzo hizi na kudhibiti kisima muundo wa safu, unene wa filamu, usawa wa unene wa filamu na sifa za kiufundi za safu. Mchakato una sifa kama ifuatavyo.
1、Kiwango kikubwa cha uwekaji. Kutokana na matumizi ya elektrodi za sumakuroni zenye kasi ya juu, mtiririko mkubwa wa ioni unaweza kupatikana, na hivyo kuboresha kwa ufanisi kiwango cha uwekaji na kiwango cha uwekaji wa ...
2、Ufanisi mkubwa wa nguvu. Lengo la kunyunyizia sumaku kwa ujumla huchagua volteji ndani ya kiwango cha 200V-1000V, kwa kawaida ni 600V, kwa sababu volteji ya 600V iko ndani ya kiwango cha juu zaidi cha ufanisi wa nguvu.
3. Nishati ya chini ya kunyunyizia. Volti ya sumaku hutumika chini, na uga wa sumaku huzuia plasma karibu na kathodi, ambayo huzuia chembe zenye chaji kubwa ya nishati kuanza kuruka kwenye substrate.
4、Halijoto ya chini ya substrate. Anodi inaweza kutumika kuongoza elektroni zinazozalishwa wakati wa kutoa, hakuna haja ya usaidizi wa substrate kukamilisha, ambayo inaweza kupunguza kwa ufanisi mlipuko wa elektroni wa substrate. Hivyo halijoto ya substrate ni ya chini, ambayo ni bora sana kwa baadhi ya substrate za plastiki ambazo hazistahimili sana mipako ya joto la juu.
5, Kuchora uso wa shabaha ya kunyunyizia Magnetron si sawa. Kuchora uso wa shabaha ya kunyunyizia Magnetron kutokuwa sawa husababishwa na uwanja wa sumaku usio sawa wa shabaha. Eneo la kiwango cha kuchora lengwa ni kubwa zaidi, hivyo kiwango cha matumizi bora cha shabaha ni cha chini (kiwango cha matumizi cha 20-30% pekee). Kwa hivyo, ili kuboresha matumizi ya shabaha, usambazaji wa uwanja wa sumaku unahitaji kubadilishwa kwa njia fulani, au matumizi ya sumaku zinazosonga kwenye kathodi pia yanaweza kuboresha matumizi ya shabaha.
6、Lengo la Mchanganyiko. Inaweza kutengeneza filamu ya aloi ya mipako ya shabaha mchanganyiko. Kwa sasa, matumizi ya mchakato wa kunyunyizia shabaha ya sumaku mchanganyiko yamepakwa kwa mafanikio kwenye aloi ya Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe na filamu ya aloi ya Gb-Co. Muundo wa shabaha mchanganyiko una aina nne, mtawalia, ni shabaha ya mviringo iliyochongwa, shabaha ya mraba iliyochongwa, shabaha ndogo ya mraba iliyochongwa na shabaha ya sekta iliyochongwa. Matumizi ya muundo wa shabaha ya sekta iliyochongwa ni bora zaidi.
7. Matumizi mbalimbali. Mchakato wa kunyunyizia sumaku wa Magnetron unaweza kuweka vipengele vingi, vya kawaida ni: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, nk.
Kunyunyizia kwa magnetron ni mojawapo ya michakato inayotumika sana ya mipako ili kupata filamu za ubora wa juu. Kwa kutumia kathodi mpya, ina matumizi ya shabaha kubwa na kiwango cha juu cha uwekaji. Teknolojia ya Guangdong Zhenhua mchakato wa mipako ya magnetron ya utupu sasa unatumika sana katika mipako ya substrates za eneo kubwa. Mchakato huu hautumiki tu kwa uwekaji wa filamu ya safu moja, lakini pia kwa mipako ya filamu ya safu nyingi, kwa kuongezea, pia hutumika katika mchakato wa kukunja kwa filamu ya kufungasha, filamu ya macho, lamination na mipako mingine ya filamu.
Muda wa chapisho: Mei-31-2024