សូមស្វាគមន៍មកកាន់ក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
បដាតែមួយ

លក្ខណៈពិសេសបច្ចេកទេសរបស់ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត Sputtering

ប្រភពអត្ថបទ៖ ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
អាន៖ ១០
បានចេញផ្សាយ៖ ២៤-០៥-៣១

ការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុងក្នុងសុញ្ញកាសគឺស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ថ្នាំកូតដែលមានប្រតិកម្ម។ តាមពិតទៅ ដំណើរការនេះអាចដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗនៃអុកស៊ីដ កាបូអ៊ីដ្រាត និងនីទ្រីតណាមួយ។ លើសពីនេះ ដំណើរការនេះក៏ស័ក្តិសមជាពិសេសសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់នៃរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់ រួមទាំងការរចនាអុបទិក ខ្សែភាពយន្តពណ៌ ថ្នាំកូតធន់នឹងការពាក់ ណាណូឡាមីណេត ថ្នាំកូតស៊ូពែរឡាទីស ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ជាដើម។ តាំងពីឆ្នាំ 1970 ឧទាហរណ៍នៃការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអុបទិកដែលមានគុណភាពខ្ពស់ត្រូវបានបង្កើតឡើងសម្រាប់សម្ភារៈស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអុបទិកជាច្រើនប្រភេទ។ សម្ភារៈទាំងនេះរួមមានសម្ភារៈដឹកនាំដែលមានតម្លាភាព ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ប៉ូលីមែរ អុកស៊ីដ កាបូអ៊ីដ្រាត និងនីទ្រីត ខណៈពេលដែលហ្វ្លុយអូរីតត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការដូចជាថ្នាំកូតហួត។

គុណសម្បត្តិចម្បងនៃដំណើរការបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េទិចត្រុង គឺការប្រើប្រាស់ដំណើរការថ្នាំកូតដែលមានប្រតិកម្ម ឬមិនមានប្រតិកម្ម ដើម្បីដាក់ស្រទាប់នៃវត្ថុធាតុទាំងនេះ និងគ្រប់គ្រងសមាសភាពស្រទាប់ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ឯកសណ្ឋានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចនៃស្រទាប់។ ដំណើរការនេះមានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម។

១. អត្រា​បញ្ចេញ​ចំហាយ​ច្រើន។ ដោយសារ​តែ​ការ​ប្រើប្រាស់​អេឡិចត្រូត​ម៉ាញ៉េទិច​ល្បឿន​លឿន អាច​ទទួល​បាន​លំហូរ​អ៊ីយ៉ុង​ច្រើន ដែល​ធ្វើ​ឲ្យ​ប្រសើរ​ឡើង​នូវ​អត្រា​បញ្ចេញ​ចំហាយ និង​អត្រា​បញ្ចេញ​ចំហាយ​នៃ​ដំណើរការ​ស្រោប​នេះ​ប្រកប​ដោយ​ប្រសិទ្ធភាព។ បើ​ធៀប​នឹង​ដំណើរការ​ស្រោប​ចំហាយ​ផ្សេង​ទៀត ការ​បញ្ចេញ​ចំហាយ​ម៉ាញ៉េទិច​មាន​សមត្ថភាព​ខ្ពស់ និង​ទិន្នផល​ខ្ពស់ ហើយ​ត្រូវ​បាន​គេ​ប្រើប្រាស់​យ៉ាង​ទូលំទូលាយ​ក្នុង​ផលិតកម្ម​ឧស្សាហកម្ម​ផ្សេងៗ។

2. ប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់។ ជាទូទៅ គោលដៅបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុងជ្រើសរើសវ៉ុលក្នុងចន្លោះពី 200V-1000V ជាធម្មតាគឺ 600V ពីព្រោះវ៉ុល 600V ស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះប្រសិទ្ធភាពថាមពលខ្ពស់បំផុត។

៣. ថាមពល​ស្ព្រាយទ័រ​ទាប។ វ៉ុល​គោលដៅ​ម៉ាញ៉េទិច​ត្រូវ​បាន​អនុវត្ត​ទាប ហើយ​ដែន​ម៉ាញ៉េទិច​រឹតត្បិត​ប្លាស្មា​នៅ​ជិត​កាតូត ដែល​ការពារ​ភាគល្អិត​ដែល​មាន​បន្ទុក​ថាមពល​ខ្ពស់​មិន​ឲ្យ​បាញ់​ចូល​ទៅ​លើ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម។

៤. សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមទាប។ អាណូតអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីនាំអេឡិចត្រុងដែលបង្កើតក្នុងអំឡុងពេលបញ្ចេញចេញ ដោយមិនចាំបាច់មានការគាំទ្រស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបញ្ចប់នោះទេ ដែលអាចកាត់បន្ថយការទម្លាក់គ្រាប់បែកអេឡិចត្រុងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ដូច្នេះសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមគឺទាប ដែលល្អសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមប្លាស្ទិកមួយចំនួនដែលមិនធន់នឹងថ្នាំកូតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

៥, ការឆ្លាក់លើផ្ទៃគោលដៅដោយម៉ាញ៉េទិចស្ព្រាយមិនស្មើគ្នា។ ការឆ្លាក់លើផ្ទៃគោលដៅដោយម៉ាញ៉េទិចស្ព្រាយមិនស្មើគ្នាគឺបណ្តាលមកពីដែនម៉ាញ៉េទិចមិនស្មើគ្នានៃគោលដៅ។ ទីតាំងនៃអត្រាឆ្លាក់គោលដៅគឺធំជាង ដូច្នេះអត្រាប្រើប្រាស់ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃគោលដៅគឺទាប (អត្រាប្រើប្រាស់ត្រឹមតែ 20-30%)។ ដូច្នេះ ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់គោលដៅ ការចែកចាយដែនម៉ាញ៉េទិចត្រូវតែផ្លាស់ប្តូរតាមមធ្យោបាយជាក់លាក់មួយ ឬការប្រើប្រាស់មេដែកដែលផ្លាស់ទីក្នុងកាតូតក៏អាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់គោលដៅផងដែរ។

៦. គោលដៅសមាសធាតុ។ អាចបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតគោលដៅសមាសធាតុ។ បច្ចុប្បន្ននេះ ការប្រើប្រាស់ដំណើរការបាញ់គោលដៅម៉ាញ៉េត្រុងសមាសធាតុត្រូវបានស្រោបដោយជោគជ័យលើខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រ Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe និង Gb-Co។ រចនាសម្ព័ន្ធគោលដៅសមាសធាតុមានបួនប្រភេទរៀងៗខ្លួន គឺគោលដៅដែលបញ្ចូលរាងមូល គោលដៅដែលបញ្ចូលរាងការ៉េ គោលដៅដែលបញ្ចូលរាងការ៉េតូច និងគោលដៅដែលបញ្ចូលតាមវិស័យ។ ការប្រើប្រាស់រចនាសម្ព័ន្ធគោលដៅដែលបញ្ចូលតាមវិស័យគឺល្អជាង។

៧. កម្មវិធី​ជាច្រើន​ប្រភេទ។ ដំណើរការ​បាញ់​ម៉ាញ៉េទិច​អាច​ដាក់​ធាតុ​ជាច្រើន ដែល​ធាតុ​ទូទៅ​មាន​ដូចជា៖ Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO ជាដើម។

ការបាញ់ថ្នាំម៉ាញ៉េត្រុងគឺជាដំណើរការថ្នាំកូតមួយក្នុងចំណោមដំណើរការថ្នាំកូតដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ ជាមួយនឹងកាតូតថ្មី វាមានការប្រើប្រាស់គោលដៅខ្ពស់ និងអត្រាការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់។ ដំណើរការថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងបូមធូលីរបស់ក្រុមហ៊ុនបច្ចេកវិទ្យា Guangdong Zhenhua ឥឡូវនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការលាបស្រទាប់ខាងក្រោមនៃផ្ទៃធំ។ ដំណើរការនេះមិនត្រឹមតែត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តតែមួយស្រទាប់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏សម្រាប់ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់ផងដែរ លើសពីនេះ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងដំណើរការរមៀលទៅរមៀលសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តវេចខ្ចប់ ខ្សែភាពយន្តអុបទិក ការលាបស្រទាប់ និងថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀត។


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ៣១ ខែឧសភា ឆ្នាំ ២០២៤