Vakuumli magnetronli purkash, ayniqsa, reaktiv cho'ktirish qoplamalari uchun juda mos keladi. Aslida, bu jarayon har qanday oksid, karbid va nitrid materiallarining yupqa plyonkalarini cho'ktirishi mumkin. Bundan tashqari, bu jarayon, ayniqsa, optik dizaynlar, rangli plyonkalar, aşınmaya bardoshli qoplamalar, nano-laminatlar, superpanjara qoplamalari, izolyatsion plyonkalar va boshqalarni o'z ichiga olgan ko'p qatlamli plyonkali tuzilmalarni cho'ktirish uchun juda mos keladi. 1970-yillardayoq turli xil optik plyonka qatlami materiallari uchun yuqori sifatli optik plyonkali cho'ktirish namunalari ishlab chiqilgan. Bu materiallar shaffof o'tkazuvchan materiallar, yarimo'tkazgichlar, polimerlar, oksidlar, karbidlar va nitridlarni o'z ichiga oladi, ftoridlar esa bug'lanish qoplamasi kabi jarayonlarda qo'llaniladi.
Magnetronli purkash jarayonining asosiy afzalligi shundaki, ushbu materiallarning qatlamlarini yotqizish uchun reaktiv yoki reaktiv bo'lmagan qoplama jarayonlaridan foydalanish va qatlam tarkibini, plyonka qalinligini, plyonka qalinligining bir xilligini va qatlamning mexanik xususiyatlarini yaxshi nazorat qilish mumkin. Jarayon quyidagi xususiyatlarga ega.
1, Yuqori cho'kish tezligi. Yuqori tezlikdagi magnetron elektrodlaridan foydalanish tufayli katta ion oqimi olinishi mumkin, bu esa ushbu qoplama jarayonining cho'kish tezligi va purkash tezligini samarali ravishda yaxshilaydi. Boshqa purkash qoplama jarayonlari bilan taqqoslaganda, magnetron purkash yuqori quvvatga va yuqori mahsuldorlikka ega bo'lib, turli sanoat ishlab chiqarishlarida keng qo'llaniladi.
2, Yuqori quvvat samaradorligi. Magnetronli purkash maqsadi odatda 200V-1000V oralig'idagi kuchlanishni tanlaydi, odatda 600V, chunki 600V kuchlanish eng yuqori samarali quvvat samaradorligi oralig'ida.
3. Kam chayqalish energiyasi. Magnitron nishon kuchlanishi past qo'llaniladi va magnit maydon plazmani katod yaqinida ushlab turadi, bu esa yuqori energiyali zaryadlangan zarrachalarning substratga tushishiga yo'l qo'ymaydi.
4, Past substrat harorati. Anod zaryadsizlanish paytida hosil bo'lgan elektronlarni yo'naltirish uchun ishlatilishi mumkin, substratni to'liq qo'llab-quvvatlash shart emas, bu substratning elektron bombardimonini samarali ravishda kamaytirishi mumkin. Shunday qilib, substrat harorati past bo'ladi, bu yuqori haroratli qoplamaga juda chidamli bo'lmagan ba'zi plastik substratlar uchun juda idealdir.
5, Magnetronli purkash nishon yuzasini o'yish bir xil emas. Magnetronli purkash nishon yuzasini o'yish notekis bo'lishi nishonning notekis magnit maydoni tufayli yuzaga keladi. Nishonning o'yish tezligi yuqoriroq, shuning uchun nishonning samarali foydalanish darajasi past (faqat 20-30% foydalanish darajasi). Shuning uchun, nishondan foydalanishni yaxshilash uchun magnit maydon taqsimotini ma'lum vositalar bilan o'zgartirish kerak yoki katodda harakatlanuvchi magnitlardan foydalanish ham nishondan foydalanishni yaxshilashi mumkin.
6, Kompozit nishon. Kompozit nishon qoplamasi qotishma plyonkasini tayyorlash mumkin. Hozirgi vaqtda kompozit magnetron nishon purkash jarayoni Ta-Ti qotishmasi, (Tb-Dy)-Fe va Gb-Co qotishma plyonkasiga muvaffaqiyatli qoplandi. Kompozit nishon tuzilishi mos ravishda to'rt xil bo'ladi: yumaloq inkrustatsiyalangan nishon, kvadrat inkrustatsiyalangan nishon, kichik kvadrat inkrustatsiyalangan nishon va sektor inkrustatsiyalangan nishon. Sektor inkrustatsiyalangan nishon tuzilishidan foydalanish yaxshiroq.
7. Keng qo'llanilish doirasi. Magnetronli purkash jarayoni ko'plab elementlarni cho'ktirishi mumkin, eng keng tarqalganlari: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO va boshqalar.
Magnetronli purkash yuqori sifatli plyonkalar olish uchun eng keng qo'llaniladigan qoplama jarayonlaridan biridir. Yangi katod bilan u yuqori maqsadli foydalanish va yuqori cho'ktirish tezligiga ega. Guangdong Zhenhua Technology vakuumli magnetronli purkash qoplama jarayoni endi katta maydonli substratlarni qoplashda keng qo'llaniladi. Jarayon nafaqat bir qavatli plyonkali cho'ktirish uchun, balki ko'p qavatli plyonkali qoplama uchun ham qo'llaniladi, bundan tashqari, u plyonka, optik plyonka, laminatsiya va boshqa plyonkali qoplamalarni qadoqlash uchun rulondan rulonga o'tkazish jarayonida ham qo'llaniladi.
Nashr vaqti: 2024-yil 31-may