Nínú ìbòrí afẹ́fẹ́, ìṣàkóso afẹ́fẹ́ jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun pàtàkì tí ó ní ipa lórí dídára fíìmù àti ìdúróṣinṣin ilana. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé yàrá ìbòrí náà ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ afẹ́fẹ́, àyíká ìbòrí kì í ṣe ààyè “tí kò ní gaasi” pátápátá. Àwọn gaasi tí ó ṣẹ́kù, àwọn gaasi ìṣiṣẹ́, àwọn gaasi tí ń ṣe àtúnṣe, ìṣàn gaasi, ìfúnpá iṣẹ́, àti àwọn ipò fífọ́ omi máa ń bá àwọn ẹ̀yà plasma àti ìbòrí ṣiṣẹ́ nígbà gbogbo.
Nínú ìṣelọ́pọ́ gidi, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àbùkù ìbòrí tí ó dàbí ẹni pé ó níí ṣe pẹ̀lú ibi tí a fẹ́ dé, cathode, substrate, tàbí ìpèsè agbára ni a lè tọ́ka sí nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín sí ìṣàkóso afẹ́fẹ́ tí kò dúró ṣinṣin. Àwọn ìṣòro bíi àwọ̀ fíìmù tí kò dúró ṣinṣin, ìdènà tí kò dára, àìdọ́gba fíìmù, ìfàsẹ́yìn púpọ̀, ìfúnpọ̀ fíìmù tí kò dọ́gba, ihò pin, àti ìyàtọ̀ ipele-sí-ìpele sábà máa ń níí ṣe pẹ̀lú àwọn ìyípadà nínú afẹ́fẹ́ ìlànà náà.
Nítorí náà, fún àwọn ètò PVD ilé iṣẹ́, a kò gbọdọ̀ ka ìṣàkóso afẹ́fẹ́ sí ṣíṣe àtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn gaasi lásán. Ó jẹ́ ìlànà ìṣètò kan tí ó ní ìfúnpá ìpìlẹ̀, àkójọpọ̀ gaasi tí ó wà níbẹ̀, ìṣàn gaasi-ìṣiṣẹ́, ìfúnpá iṣẹ́, ìfúnpá apa kan gaasi, ìdarí fifa omi, àwọn ipò plasma, àti ìdáhùn sí gaasi-ìṣiṣẹ́.
1. Igbesẹ Akọkọ Kii Ṣe Abẹrẹ Gaasi, Ṣugbọn Ṣiṣakoso Aifiyesi Ipilẹ
Àṣìṣe kan tí ó wọ́pọ̀ nígbà tí a bá ń ṣe é ni láti pọkàn pọ̀ sórí àwọn pàrámítà gáàsì iṣẹ́-ẹ̀rọ nígbà tí a bá ń wo ipò yàrá afẹ́fẹ́ fúnrarẹ̀.
Kí a tó fi àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ kún inú yàrá ìbòrí, yàrá ìbòrí gbọ́dọ̀ dé ibi tí ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ bá yẹ. Ìfúnpọ̀ ìpìlẹ̀ tí ó kéré tó ń dínkù ń dín atẹ́gùn tí ó kù kù, èéfín omi, hydrocarbons, àti àwọn ohun ìbàjẹ́ mìíràn kù. Àwọn gáàsì tí ó kù wọ̀nyí lè kópa nínú ìlànà ìfipamọ́ àti dídàpọ̀ sínú fíìmù tí ń dàgbà, èyí tí yóò ní ipa lórí ìṣètò fíìmù, ìṣètò kékeré, ìdìpọ̀, àti àwọn ohun ìní optíkì tàbí iná mànàmáná.
Èyí ṣe pàtàkì gan-an fún àwọn ìlànà PVD tí ń ṣiṣẹ́. Fún àpẹẹrẹ, nígbà tí a bá ń kó àwọn nitrides tàbí oxides sínú ilé, a gbọ́dọ̀ ya àwọn gaasi tí a fẹ́ ṣe iṣẹ́ náà sọ́tọ̀ kúrò nínú atẹ́gùn tàbí omi tí a kò ṣàkóso tí ó kù nínú yàrá náà. Bí bẹ́ẹ̀ kọ́, afẹ́fẹ́ gidi tí ń ṣiṣẹ́ lè yà kúrò nínú ìlànà iṣẹ́ náà bí ó tilẹ̀ jẹ́ pé olùdarí ìṣàn omi náà ń ṣiṣẹ́ déédéé.
Nínú iṣẹ́ ṣíṣe, tí ohunelo kan náà bá yọrí sí àwọn àbájáde ìbòrí tó yàtọ̀ síra lójijì, ìbéèrè àkọ́kọ́ kò gbọdọ̀ jẹ́ bóyá agbára ìfojúsùn ti yípadà. Ó tún ṣe pàtàkì láti ṣàyẹ̀wò bóyá ìfúnpá ìpìlẹ̀, àkókò tí a fi ń fa omi, ìmọ́tótó yàrá, àti ipò gáàsì tí ó kù ti yípadà.
2. Ìwà Pípù-Sẹ́lẹ̀ Jẹ́ Àmì Pàtàkì fún Ìlànà
Eto fifẹ to ni ilera yẹ ki o ni awọn abuda ti o duro ṣinṣin ati ti o le tun fa fifa silẹ.
Tí yàrá náà bá gba àkókò púpọ̀ ju bí ó ti yẹ lọ láti dé ibi tí a ti ń tà á, èyí lè fi hàn pé èéfín tó ń jáde nínú yàrá náà pọ̀ sí i, ó lè ba ìbàjẹ́ jẹ́, ó lè fa ìjìnlẹ̀, iṣẹ́ pọ́ọ̀ǹpù tó ń bàjẹ́, tàbí ọ̀rinrin tó pọ̀ jù nínú yàrá náà.
Àwọn orísun tí ó sábà máa ń fa ìgbóná omi ni àwọn ohun èlò ìṣàn omi, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́, àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra polymer, òróró ìfọ́mọ́, àwọn ojú ilẹ̀ yàrá tí ó ti bàjẹ́, àti ọrinrin tí ó gbà. Àwọn ohun èlò kan lè máa tú àwọn gáàsì jáde lẹ́yìn tí yàrá náà bá ti dé ibi tí ó dàbí ẹni pé ó yẹ, èyí tí yóò yọrí sí àwọn ipò iṣẹ́ tí kò dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń gbé e kalẹ̀.
Nítorí náà, ìbáṣepọ̀ láàárín àkókò fífọ́ omi sí ìsàlẹ̀, ìfúnpá tó ga jùlọ, ìwọ̀n ìfúnpá tó ga, àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́ lè fúnni ní ìwífún tó wúlò nípa ipò ètò ìfúnpá.
Fún àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́, ṣíṣàkíyèsí ìwà ìfúnpọ̀ lẹ́yìn ìyàsọ́tọ̀ kúrò nínú ètò ìfúnpọ̀ lè ṣe ìrànlọ́wọ́ láti fi ìyàtọ̀ hàn láàárín jíjó gidi àti ìjákulẹ̀ tí ó déédé. Èyí wúlò ní pàtàkì nígbà tí a bá ń yanjú ìṣòro.
3. Ipọnju Iṣẹ n pinnu Ayika Irinna
Lẹ́yìn tí a bá ti ṣe àṣeyọrí ìfọ́mọ́ ipilẹ̀ tó yẹ, a óò gbé gaasi ilana kalẹ̀, yàrá náà yóò sì wọ inú ètò ìfúnpá iṣẹ́.
Iṣẹ́ titẹ ní tààrà ní ipa lórí ipa ọ̀nà ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ ti àwọn átọ̀mù, àwọn ion, àti àwọn elektroni tí a ti yọ jáde. Nítorí náà, ó ní ipa lórí àwọn ànímọ́ plasma, ìwọ̀n ìfipamọ́, ìṣàn ion, ìfọ́pọ̀ patiku, àti ìpínkiri igun ti ìṣàn ìfipamọ́.
Ní ìfúnpá tí ó kéré, àwọn ẹranko tí wọ́n ń gbọ̀n lè rìn gba inú yàrá náà kọjá pẹ̀lú ìkọlù díẹ̀, èyí tí yóò mú kí ìṣàn ìdúró ọkọ̀ pọ̀ sí i. Èyí lè ṣe àǹfààní fún àwọn ohun èlò kan ṣùgbọ́n ó lè mú kí àwọn ipa òjìji pọ̀ sí i lórí àwọn èròjà onípele mẹ́ta tí ó díjú.
Bí ìfúnpá ṣe ń pọ̀ sí i, ìkọlù láàárín àwọn ẹ̀yà ìtújáde àti àwọn molecule gaasi máa ń pọ̀ sí i. Ìṣàn ìtújáde náà máa ń túká sí i, èyí tí ó lè mú kí ìbòrí àwọn ilẹ̀ tí ó ní ihò sunwọ̀n sí i, ṣùgbọ́n ó tún lè dín ìtújáde kù kí ó sì yí ìrísí fíìmù padà.
Nítorí náà, a kò gbọ́dọ̀ ka ìfúnpá iṣẹ́ sí iye tí ó yẹ kí a “tò ní ọ̀nà tí ó tọ́.” Ó jẹ́ oníyípadà ìlànà tí ó ní ipa taara lórí ìrìnnà àwọn ẹ̀yà ìfipamọ́.
4. Ṣíṣàn Gáàsì àti Ìfúnpá Kìí Ṣe Ohun Kan náà
Nínú iṣẹ́ PVD tó wúlò, a sábà máa ń lo ohun èlò ìṣàn omi gíga (MFC) láti darí ìṣàn omi gíga, nígbàtí a máa ń pinnu ìfúnpọ̀ yàrá nípa ìwọ̀n tí ó wà láàárín ìwọ̀n gáàsì àti agbára fífún omi jáde.
Iyatọ yii jẹ pataki pupọ.
Ìwọ̀n ìṣàn gaasi kan náà kò ní mú kí ìfúnpá iṣẹ́ kan náà wáyé lábẹ́ àwọn ipò ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ tó yàtọ̀ síra. Tí iyára fífọ́ omi, ipò throttle-valve, conductance chamber, tàbí ipa ọ̀nà ìṣàn gaasi inú bá yípadà, ìfúnpá tó ń jáde lè yípadà pẹ̀lú.
Fún àpẹẹrẹ, tí fọ́ọ̀fù ìfàsẹ́yìn tàbí ètò fífún omi bá ń ṣiṣẹ́ lọ́nà tí kò bójú mu, olùṣiṣẹ́ náà lè mú kí ìṣàn gaasi pọ̀ sí i láti san àtúnṣe ìyípadà titẹ. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìfún omi náà lè padà sí iye tí a fẹ́ lò fún ìgbà díẹ̀, àwọn ipò ìṣàn gaasi àti plasma gidi lè ti yípadà.
Nítorí náà, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ iṣẹ́-ọnà tó ní ìrírí sábà máa ń ṣe àkíyèsí ìṣàn gaasi àti ìfúnpá yàrá papọ̀, dípò lílo èyíkéyìí nínú àwọn paramita náà ní òmìnira gẹ́gẹ́ bí ìtọ́kasí iṣẹ́-ṣiṣe kan ṣoṣo.
5. Iṣakoso Gaasi ti n ṣiṣẹ jẹ ki o ni imọlara diẹ sii
Fún àwọn ìlànà PVD tí ó ń ṣiṣẹ́ bíi TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, àti àwọn ìbòrí mìíràn, ìṣàkóso afẹ́fẹ́ di ohun tí ó díjú gan-an.
Gáàsì afẹ́fẹ́ náà ń kópa tààrà nínú ìṣẹ̀dá fíìmù náà. Nitrogen, oxygen, acetylene, methane, tàbí àwọn gáàsì afẹ́fẹ́ mìíràn lè ṣe ìyípadà pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà tí a ti gbẹ tàbí tí a ti tú jáde láti pinnu ìṣẹ̀dá fíìmù ìkẹyìn.
Nítorí náà, ìyípadà kékeré nínú ìfúnpá afẹ́fẹ́-gaasi lè mú ìyípadà pàtàkì wá nínú àwọn ànímọ́ fíìmù náà.
Fún àpẹẹrẹ, ìṣàn nitrogen tí kò tó lè yọrí sí nitride tí kò pé, nígbà tí nitrogen tí ó pọ̀ jù lè ní ipa lórí ìwọ̀n ìfipamọ́, àwọn ànímọ́ plasma, ìwà ibi tí a fẹ́, àti ìṣètò fíìmù. Nínú ìfọ́nká magnetron tí ó ń ṣe àtúnṣe, ìfilọ́lẹ̀ gaasi tí ó pọ̀ jù lè yọrí sí majele ibi tí a fẹ́, nínú èyí tí ìpele àdàpọ̀ kan ń ṣẹ̀dá lórí ojú ibi tí a fẹ́, tí ó sì ń yí àwọn ànímọ́ ìfọ́nká padà.
Ìdí nìyí tí ìfọ̀rọ̀wérọ̀ oníṣẹ́-abẹ fi máa ń nílò ìṣàkóso ilana tó gbọ́n ju ìwádìí irin lọ.
6. Ìṣòro Ìṣàkóso Afẹ́fẹ́ Àfojúsùn jẹ́ ìṣòro tó wọ́pọ̀
Nínú ìfọ́pọ̀ magnetron tó ń ṣiṣẹ́, ìfọ́pọ̀ jẹ ọ̀kan lára àwọn ìṣòro tó wọ́pọ̀ jùlọ tó ní í ṣe pẹ̀lú ìṣàkóso afẹ́fẹ́.
Nígbà tí ìwọ̀n díẹ̀ ti gáàsì aṣeyọrí bá pọ̀ sí i ju ìwọ̀n kan lọ, ojú ibi tí a fojú sí lè di èyí tí a fi àdàpọ̀ kan bò. Lẹ́yìn náà, ibi tí a fojú sí náà yóò yípadà láti ipò ìfúnpọ̀ irin sí ipò tí a ti fi majele ṣe.
Ìyípadà yìí lè fa àwọn ìyípadà nínú ìwọ̀n sputtering, folti ìtújáde, ìtújáde ìtújáde, ìtújáde elekitironi kejì, ìwọ̀n ìtújáde, àti àkójọpọ̀ fíìmù.
Iṣoro naa di ipenija diẹ sii nitori ibatan laarin sisan gaasi-reactive ati ipo afojusun nigbagbogbo kii ṣe laini. Iyipada kekere ninu sisan gaasi le fa iyipada nla ti ko ni ibamu ni ipo ilana naa.
Fún ìṣẹ̀dá iwọn didun gíga, gbígbẹ́kẹ̀lé ìṣàn gaasi tí a ti ṣe àtúnṣe nìkan lè má tó. Àwọn ètò tí ó ti tẹ̀síwájú jùlọ le lo ìṣàkóso ìdènà tí ó dúró ní ìdúró ní ìbámu pẹ̀lú ìtújáde opitika, àwọn ànímọ́ ìtújáde, ìwọ̀n ìfúnpá díẹ̀, tàbí àwọn àmì ìlànà mìíràn láti mú kí window ìtújáde ìṣiṣẹ́ dúró ní ìdúró.
7. Ìmọ́tótó Yàrá Ní Ìpalára Tààrà fún Ìdúróṣinṣin Afẹ́fẹ́
Ìṣàkóso ojú ọjọ́ kò sinmi lórí ètò ìpèsè gáàsì nìkan. Ipò inú yàrá ìbòrí náà ṣe pàtàkì bákan náà.
Nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe, àwọn ohun èlò ìbòrí máa ń kóra jọ díẹ̀díẹ̀ lórí àwọn ògiri yàrá, àwọn ààbò, àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀, àti àwọn èròjà inú mìíràn. Àwọn ohun ìdókòwò wọ̀nyí lè di orísun ìbàjẹ́ pàtákì tàbí ìjákulẹ̀ èéfín. Àwọn ohun ìdókòwò kan tún lè ṣe àtúnṣe pẹ̀lú àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ tàbí kí wọ́n tú àwọn gáàsì tí a ti fà tẹ́lẹ̀ jáde nígbà tí a bá ń lo ìgbóná àti plasma lẹ́yìn náà.
Èyí lè yí àyíká yàrá gidi padà díẹ̀díẹ̀ kódà nígbà tí ohunelo ilana náà kò bá yí padà.
Nítorí èyí, ìwẹ̀nùmọ́ yàrá déédéé, ìyípadà àpáta, ìtọ́jú àwọn ohun èlò, àti àyẹ̀wò ìdènà afẹ́fẹ́ jẹ́ àwọn apá pàtàkì nínú ìṣàkóso afẹ́fẹ́.
Ìlànà PVD tí ó dúró ṣinṣin kì í ṣe àbájáde ohunelo tí ó dúró ṣinṣin nìkan. Ó sinmi lórí bí a ṣe ń ṣe àtúnṣe àyíká tí ó dúró ṣinṣin nínú yàrá náà.
8. Pínpín Gáàsì ṣe pàtàkì gẹ́gẹ́ bí iye Gáàsì ṣe ṣe pàtàkì
Ọ̀rọ̀ míì tó wúlò ni pé gbogbo gáàsì tó ń wọ inú yàrá náà kò ṣe ìdánilójú pé àyíká kan náà ni yóò wà.
Apẹrẹ ati ipo ti ẹnu-ọna gaasi, ori iwẹ, baffle, ibudo fifa omi, valve throttle, ati ohun ti o ni substrate ni o pinnu bi a ṣe n pin gaasi sinu yara naa.
Pínpín gáàsì tí kò dára lè fa ìyàtọ̀ ní agbègbè nínú ìṣọ̀kan gáàsì oníṣe tàbí ìwọ̀n plasma. Àbájáde rẹ̀ lè jẹ́ onírúurú àkójọpọ̀ fíìmù tàbí ìfúnpọ̀ ní àwọn ipò ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ lórí substrate náà.
Èyí ṣe pàtàkì gan-an fún àwọn ètò ìbòrí agbègbè ńlá àti àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá tí wọ́n ní agbára gbígbé ẹrù gíga.
Nítorí náà, nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe ẹ̀rọ ìbòrí afẹ́fẹ́, a gbọ́dọ̀ gbé àpẹẹrẹ ìṣàn gaasi yẹ̀wò pẹ̀lú ìṣètò orísun plasma, ìyípo substrate, geometry fifa omi, àti ìṣètò yàrá.
9. Tí ìbòrí náà bá yípadà lójijì, kọ́kọ́ ṣàyẹ̀wò afẹ́fẹ́ ojú ọjọ́ náà.
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ gidi, àwọn ìṣòro ìbòrí sábà máa ń farahàn bí àwọn ìyípadà òjijì nínú àwọ̀, líle, ìdènà, sísanra fíìmù, tàbí iṣẹ́ iná mànàmáná.
Tí èyí bá ṣẹlẹ̀, ó máa ń wúni lórí láti ṣe àtúnṣe agbára ìfipamọ́, ìfàmọ́ra substrate, tàbí àkókò ìfipamọ́ lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀. Síbẹ̀síbẹ̀, ó yẹ kí a kọ́kọ́ ṣàyẹ̀wò àwọn oníyípadà tí ó ní í ṣe pẹ̀lú afẹ́fẹ́.
Ìtẹ̀lé àtúnṣe tó wúlò ni láti fi àwọn ìwádìí ìṣẹ̀dá lọ́wọ́lọ́wọ́ wéra pẹ̀lú ipò ìlànà déédéé: ìfúnpá ìpìlẹ̀, àkókò fífọ́ omi, ìfúnpá iṣẹ́, ìfúnpá gaasi, ìfúnpá gaasi tó ń ṣiṣẹ́, ipò throttle-valve, fóltéèjì/ìṣàn omi, ìwọ̀n otútù substrate, àti ìwọ̀n ìfipamọ́.
Tí ọ̀kan lára àwọn ìlànà wọ̀nyí bá ti yípadà, ó lè fúnni ní àlàyé tààrà ju kí a kàn ṣe àtúnṣe ohunelo ìbòrí náà.
Ní pàtàkì, tí ètò ìṣàn gaasi kò bá yí padà ṣùgbọ́n tí ìfúnpá yàrá ti yípadà, ìṣòro náà lè wà nínú ètò pípèsè omi, fáìlì ìṣàkóso ìfúnpá, ìpèsè gaasi, ìdarí yàrá, tàbí ipò jíjó, dípò ohun èlò ìbòrí fúnra rẹ̀.
10. Iṣakoso Afẹfẹ Ni Ipari Jẹ Iṣoro Iṣakoso Eto-Iṣakoso
Ìrírí tó wúlò tí a kó jọ láti inú ìbòrí ìgbálẹ̀ ilé iṣẹ́ fihàn pé a kò le yà ìṣàkóso afẹ́fẹ́ kúrò nínú ètò ìgbálẹ̀ gbogbogbò.
Àwọn ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ ló ń pinnu agbára fífọ́mọ́ inú yàrá náà. Ètò ìfijiṣẹ́ná gaasi ló ń pinnu ìwọ̀n gáàsì tí a fi sínú rẹ̀. Fáìlìfọ́mọ́ náà ló ń ṣe àkóso ìbáṣepọ̀ láàárín ìṣàn gáàsì àti ìfúnpá yàrá. Orísun plasma ló ń pinnu bí gáàsì náà ṣe ń di ion, ó sì ń ṣe ìbáṣepọ̀ pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà ìfipamọ́. Ètò substrate náà ló ń pinnu bí iṣẹ́ náà ṣe ń ṣe ìbáṣepọ̀ pẹ̀lú plasma náà.
Àwọn ètò wọ̀nyí máa ń ṣiṣẹ́ ní àkókò kan náà, àyípadà nínú paramita kan sì lè ní ipa lórí ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn mìíràn.
Nítorí náà, ìlànà PVD tó dàgbà yẹ kí ó gbé fèrèsé iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin kalẹ̀ dípò kí ó gbẹ́kẹ̀lé paramita kan ṣoṣo tó wà ní ìdúró ṣinṣin. Ète rẹ̀ ni láti rí i dájú pé ìfúnpá afẹ́fẹ́, ìṣàn gaasi, àwọn ànímọ́ plasma, àwọn ipò substrate, àti àwọn paramita ìfipamọ́ wà láàrín ìwọ̀n ìṣàkóso ní gbogbo ìgbà tí a bá ń ṣe é.
Ìparí
Ìṣàkóso ojú ọjọ́ jẹ́ ọ̀kan lára àwọn kókó pàtàkì ti ìbòrí ìgbálẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin. Láti ìfúnpá ìpìlẹ̀ àti ìṣàkóso gaasi tí ó kù sí ìfúnpá iṣẹ́, ìṣàn gaasi, ìfúnpá afẹ́fẹ́-àpapọ̀, ìfúnpá afẹ́fẹ́, àti ìmọ́tótó yàrá, gbogbo kókó le ní ipa lórí ìbòrí ìkẹyìn.
Fún ìfipamọ́ PVD àtẹ̀yìnwá, àwọn ipò ojú ọjọ́ tí ó dúró ṣinṣin ń pèsè ìpìlẹ̀ fún ìdàgbàsókè fíìmù tí a lè tún ṣe. Fún ìfọ́pọ̀ oníṣẹ́ àti àwọn iṣẹ́ mìíràn tí a ń ṣe ìrànlọ́wọ́ fún plasma, ìṣàkóso ojú ọjọ́ tí ó péye di ohun pàtàkì síi nítorí pé ìṣètò gáàsì náà ń kópa ní tààràtà nínú ìṣẹ̀dá fíìmù.
Nítorí náà, ète gidi ti ìṣàkóso afẹ́fẹ́ kìí ṣe láti pa ìwọ̀n ìfúnpá tàbí ìṣàn gaasi kan mọ́ nìkan. Ó jẹ́ láti fìdí àyíká ìpamọ́ tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó ṣeé ṣe láti tún ṣe jáde múlẹ̀ níbi tí plasma, àwọn ẹ̀yà ìpamọ́, substrate, àti afẹ́fẹ́ oníṣeéṣe dúró sí ní ipò ìṣàkóso.
Fún àwọn ohun èlò ìbòrí ìgbálẹ̀ ilé-iṣẹ́, èyí nílò àgbékalẹ̀ ètò ìfúnpọ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀, ètò ìfijiṣẹ́ gaasi, ètò ìdarí ìfúnpọ̀ ìfúnpọ̀, orísun plasma, ìṣètò yàrá, àti sọ́fítíwẹ́ẹ̀tì ìṣàkóso iṣẹ́.
-Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́olupese ẹrọ ti a fi n bo igbaleẸ̀rọ ìfọṣọ Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-08-2026