Ao amin'ny coating banga, ny fanaraha-maso ny atmosfera no iray amin'ireo anton-javatra fototra indrindra misy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny sarimihetsika sy ny fahamarinan'ny fizotran'ny asa. Na dia miasa ao anaty banga aza ny efitrano coating, dia tsy toerana "tsy misy entona" tanteraka ny tontolo fametrahana. Ny entona sisa tavela, ny entona fanodinana, ny entona mihetsika, ny fikorianan'ny entona, ny tsindry miasa, ary ny fepetra paompy dia mifandray tsy tapaka amin'ny plasma sy ny karazana fametrahana.
Amin'ny famokarana tena izy, maro amin'ireo lesoka amin'ny coating izay toa mifandray amin'ny lasibatra, cathode, substrate, na famatsiana herinaratra dia azo avy amin'ny fanaraha-maso ny atmosfera tsy marin-toerana. Ny olana toy ny lokon'ny sarimihetsika tsy marin-toerana, ny tsy fahampian'ny fifikirana, ny tsy fahatomombanan'ny sarimihetsika tsy ara-dalàna, ny arcing be loatra, ny hatevin'ny sarimihetsika tsy mitovy, ny lavaka kely, ary ny fiovaovan'ny batch-by-by dia matetika mifandray akaiky amin'ny fiovan'ny atmosfera.
Noho izany, ho an'ny rafitra PVD indostrialy, ny fanaraha-maso ny atmosfera dia tsy tokony hoheverina ho fanitsiana ny metatra fikorianan'ny entona fotsiny. Dingana mirindra izay ahitana ny tsindry fototra, ny firafitry ny entona sisa tavela, ny fikorianan'ny entona eo amin'ny dingana, ny tsindry miasa, ny tsindry ampahany amin'ny entona, ny fitarihana paompy, ny fepetran'ny plasma, ary ny valin-kafatra mihetsika eo amin'ny entona.
1. Ny Dingana Voalohany dia Tsy ny Fampidirana Gaz, fa ny Fifehezana ny Vacuum Base
Ny fahadisoana mahazatra amin'ny famokarana dia ny mifantoka amin'ny masontsivana momba ny entona fanodinana raha tsy mijery ny toetran'ny efitrano banga mihitsy.
Alohan'ny hampidirana entona fanodinana, dia tsy maintsy mahatratra ny tsindry fototra sahaza azy ny efitrano fandrakofana. Ny tsindry fototra ambany dia manampy amin'ny fampihenana ny oksizenina sisa tavela, ny etona rano, ny hidrokarbonina ary ny loto hafa. Ireo entona sisa tavela ireo dia afaka mandray anjara amin'ny fizotran'ny fametrahana ary tafiditra ao anatin'ny sarimihetsika mitombo, izay misy fiantraikany amin'ny firafitry ny sarimihetsika, ny rafitra bitika, ny fifikirana ary ny toetra optika na elektrika.
Zava-dehibe indrindra izany ho an'ny dingana PVD mihetsika. Ohatra, rehefa mametraka nitrida na oksida, dia tsy maintsy avahana amin'ny oksizenina tsy voafehy na etona rano sisa tavela ao amin'ny efitrano ny entona mihetsika kasaina havoaka. Raha tsy izany, dia mety hivily lavitra amin'ny fomba fiasa ny atmosfera mihetsika tena izy na dia miasa ara-dalàna aza ny mpanara-maso ny fikorianan'ny zavatra.
Amin'ny famokarana azo ampiharina, raha toa ka miteraka vokatra samihafa tampoka ny fomba fanamboarana iray ihany, dia tsy tokony ho ny hoe niova ve ny herin'ny lasibatra no fanontaniana voalohany. Ilaina ihany koa ny manamarina raha niova ny tsindry fototra, ny fotoana fampidinana ny paompy, ny fahadiovan'ny efitrano, ary ny toe-javatra misy ny entona sisa tavela.
2. Ny fihetsika "pump-down" dia famantarana manan-danja amin'ny fizotran'ny asa
Ny rafitra banga salama dia tokony hanana toetra mampiavaka ny paompy midina azo antoka sy azo averimberina.
Raha ela kokoa noho ny mahazatra vao mahatratra ny tsindry fototra ilaina ny ao anatin'ilay efitrano, dia mety hidika izany fa nitombo ny entona mivoaka, na misy loto, na misy fivoahan'ny banga, na tsy fahombiazan'ny paompy, na misy hamandoana be loatra ao anatin'ilay efitrano.
Ny loharanon'ny fivoahan'ny entona dia ahitana ny akora fototra, ny kojakoja, ny sisa tavela amin'ny polymer, ny menaka banga, ny velaran'ny efitrano voaloto, ary ny hamandoana voatsindrona. Ny akora sasany dia mety hanohy hamoaka entona na dia efa nahatratra tsindry toa azo ekena aza ny efitrano, ka miteraka fepetra tsy marin-toerana mandritra ny fametrahana azy.
Noho izany, ny fifandraisana misy eo amin'ny fotoana fiatoan'ny paompy, ny tsindry farany, ny tahan'ny fiakaran'ny tsindry, ary ny fahamarinan'ny dingana dia afaka manome fampahalalana sarobidy momba ny toetry ny rafitra banga.
Ho an'ny fitaovana famokarana, ny fanaraha-maso ny fiakaran'ny tsindry aorian'ny fisarahana amin'ny rafitra paompy dia afaka manampy amin'ny fanavahana ny fivoahan'ny entona tena izy sy ny fivoahan'ny entona mahazatra. Tena ilaina indrindra izany mandritra ny famahana olana.
3. Ny tsindrin'ny asa no mamaritra ny tontolo iainana fitaterana
Rehefa mahatratra ny banga fototra sahaza azy, dia ampidirina ny entona fanodinana ary miditra amin'ny tsindry miasa ny efitrano.
Ny tsindry miasa dia misy fiantraikany mivantana amin'ny lalan-kizorana malalaka antonony amin'ny atôma, iôna ary elektrôna miparitaka. Noho izany dia misy fiantraikany amin'ny toetran'ny plasma, ny tahan'ny fametrahana, ny iônisation, ny fiparitahan'ny poti-javatra, ary ny fizarana zoro amin'ny fikorianan'ny fametrahana.
Amin'ny tsindry ambany kokoa, ireo karazana zavatra miparitaka dia afaka mandeha mamaky ny efitrano miaraka amin'ny fifandonana vitsy kokoa, ka miteraka fikorianan'ny fametrahana mitongilana kokoa. Mety hahasoa amin'ny fampiharana sasany izany saingy mety hampitombo ny fiantraikan'ny aloka amin'ny singa telo refy sarotra.
Rehefa mitombo ny tsindry dia miha-matetika ny fifandonana eo amin'ny karazana fametrahana sy ny molekiola entona. Miha-miparitaka kokoa ny fivezivezen'ny fametrahana, izay afaka manatsara ny fandrakofana amin'ny velarana midina saingy mety hampihena ny fahombiazan'ny fametrahana sy hanova ny endriky ny sarimihetsika ihany koa.
Noho izany, ny tsindrin'ny fiasana dia tsy tokony hoheverina ho toy ny sanda mila "apetraka tsara" fotsiny. Fiovaovan'ny dingana izay misy fiantraikany mivantana amin'ny kinetikan'ny fitaterana ny karazana fametrahana izany.
4. Tsy mitovy ny fikorianan'ny entona sy ny tsindry
Amin'ny fampiasana PVD azo ampiharina, ny fikorianan'ny entona dia mazàna fehezina amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ny fikorianan'ny entona (MFC), raha ny tsindrin'ny efitrano kosa dia faritana amin'ny fifandanjana eo amin'ny fidiran'ny entona sy ny fahafahan'ny paompy.
Tena zava-dehibe tokoa ity fahasamihafana ity.
Ny tahan'ny fikorianan'ny entona mitovy dia tsy voatery hiteraka tsindry miasa mitovy amin'ny toe-javatra samihafa amin'ny rafitra banga. Raha miova ny hafainganam-pandehan'ny paompy, ny toerana misy ny valva throttle, ny fitarihan'ny efitrano, na ny lalan'ny fikorianan'ny entona anatiny, dia mety hiova ihany koa ny tsindry aterak'izany.
Ohatra, raha miasa tsy ara-dalàna ny valva throttle na ny rafitra paompy, dia mety hampitombo ny fikorianan'ny entona ny mpampiasa mba hanonerana ny fivilian-tsindry. Na dia mety hiverina vetivety amin'ny sanda kendrena aza ny tsindry, dia mety efa niova ny tena fikorianan'ny entona sy ny toe-javatra misy ny plasma.
Noho izany, ireo injeniera za-draharaha amin'ny fizotran'ny asa dia mazàna manara-maso miaraka ny fikorianan'ny entona sy ny tsindrin'ny efitrano, fa tsy mampiasa ny iray amin'ireo masontsivana ireo ho toy ny hany referansa amin'ny fizotran'ny asa.
5. Mora tohina kokoa ny fanaraha-maso ny entona mihetsika
Ho an'ny dingana PVD mihetsika toy ny TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, ary ireo akora simika hafa, dia lasa sarotra kokoa ny fanaraha-maso ny atmosfera.
Mandray anjara mivantana amin'ny fiforonan'ny sarimihetsika ny entona mihetsika. Ny azota, oksizenina, asetilena, metana, na entona mihetsika hafa dia afaka mihetsika amin'ny karazana etona na ranoka miparitaka mba hamaritana ny firafitry ny sarimihetsika farany.
Noho izany, ny fiovana kely eo amin'ny tsindry ampahany amin'ny entona mihetsika dia mety hiteraka fiovana lehibe eo amin'ny toetran'ny sarimihetsika.
Ohatra, ny tsy fahampian'ny fikorianan'ny azota dia mety hiteraka tsy fahatomombanan'ny nitridation, raha toa kosa ny azota be loatra dia mety hisy fiantraikany amin'ny tahan'ny fametrahana, ny toetran'ny plasma, ny fihetsiky ny lasibatra, ary ny firafitry ny sarimihetsika. Amin'ny reactive magnetron sputtering, ny fampidirana entona reactive be loatra dia mety hiteraka fanapoizinana lasibatra ihany koa, izay ahitana sosona mitambatra miforona eo amin'ny velaran'ny lasibatra ary manova ny toetran'ny sputtering.
Izany no mahatonga ny reactive sputtering matetika mitaky fanaraha-maso sarotra kokoa noho ny fametrahana metaly mahazatra.
6. Olana mahazatra amin'ny fanaraha-maso ny atmosfera ny fanapoizinana amin'ny lasibatra
Ao amin'ny fiparitahan'ny magnetron reactive, ny fanapoizinana amin'ny lasibatra no iray amin'ireo olana mahazatra indrindra mifandraika amin'ny fanaraha-maso ny atmosfera.
Rehefa miakatra mihoatra ny fetra voafaritra ny tsindrin'ny entona mihetsika, dia mety ho voasarona sosona mifangaro ny velaran'ny lasibatra. Avy eo dia miova avy amin'ny toetry ny fiparitahan'ny metaly mankany amin'ny toetry ny poizina ny lasibatra.
Mety hiteraka fiovana eo amin'ny tahan'ny sputtering, ny voltase fivoahana, ny courant fivoahana, ny famoahana elektrôna faharoa, ny tahan'ny fametrahana, ary ny firafitry ny sarimihetsika ity tetezamita ity.
Mihasarotra kokoa ny olana satria matetika tsy mitongilana ny fifandraisana misy eo amin'ny fikorianan'ny entona mihetsika sy ny toetry ny kendrena. Ny fiovana kely eo amin'ny fikorianan'ny entona dia mety hiteraka fiovana lehibe tsy mitovy amin'ny toetry ny fizotrany.
Ho an'ny famokarana betsaka, ny fiankinana fotsiny amin'ny fikorianan'ny entona mihetsika raikitra dia mety tsy ho ampy. Ny rafitra mandroso kokoa dia afaka mampiasa fanaraha-maso mihidy mifototra amin'ny famoahana optika, ny toetran'ny fivoahana, ny fandrefesana ny tsindry ampahany, na ny famantarana hafa momba ny fizotrany mba hampiorenana ny varavarankely fametrahana mihetsika.
7. Ny fahadiovan'ny efitrano dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fahamarinan'ny atmosfera
Tsy miankina amin'ny rafitra famatsiana entona fotsiny ny fanaraha-maso ny atmosfera. Zava-dehibe mitovy amin'izany koa ny toe-javatra anatiny ao amin'ny efitrano fandrakofana.
Mandritra ny tsingerin'ny famokarana miverimberina, dia miangona tsikelikely eo amin'ny rindrin'ny efitrano, ny ampinga, ny fitaovana fototra, ary ny singa anatiny hafa ny akora fanosotra. Mety ho loharanon'ny fahalotoan'ny poti-javatra na ny fivoahan'ny entona ireo poti-javatra ireo. Ny poti-javatra sasany koa dia mety hihetsika amin'ny entona fanodinana na mamoaka entona efa voatsindrona teo aloha mandritra ny fanafanana sy ny fiasan'ny plasma manaraka.
Afaka manova tsikelikely ny atmosfera ao amin'ny efitrano fandraisana izany na dia tsy miova aza ny fomba fahandro.
Noho izany antony izany, ny fanadiovana tsy tapaka ny efi-trano, ny fanoloana ny ampinga, ny fikojakojana ny fitaovana, ary ny fanaraha-maso ny tombo-kase amin'ny banga dia singa tena ilaina amin'ny fitantanana ny atmosfera.
Tsy vokatry ny fomba fiasa milamina fotsiny ny dingana PVD marin-toerana. Miankina amin'ny fitazonana tontolo ara-batana marin-toerana ao anatin'ny efitrano izany.
8. Ny fizarana entona dia zava-dehibe toy ny habetsahan'ny entona
Olana azo ampiharina iray hafa ny hoe ny habetsaky ny entona miditra ao amin'ny efitrano dia tsy miantoka ny rivo-piainana mitovy amin'ny fizotran'ny asa.
Ny famolavolana sy ny toerana misy ny fidiran'ny entona, ny lohan'ny douche, ny baffle, ny seranana paompy, ny valva throttle, ary ny fitoeran'ny substrate no mamaritra ny fomba fizarazarana ny entona ao anatin'ny efitrano.
Ny tsy fahampian'ny fizarana entona dia mety hiteraka fiovaovana eo an-toerana eo amin'ny fifantohana entona mihetsika na ny hakitroky ny plasma. Ny vokany dia mety ho firafitry ny sarimihetsika na ny hateviny amin'ny toerana samihafa eo amin'ny substrate.
Zava-dehibe indrindra izany ho an'ny rafitra fanosorana velarana midadasika sy fitaovana famokarana izay afaka mitondra entana be dia be.
Noho izany, rehefa manatsara ny milina fanosorana banga, dia tokony hodinihina miaraka amin'ny firafitry ny loharanon'ny plasma, ny fihodinan'ny substrate, ny jeometrika paompy, ary ny rafitry ny efitrano ny famolavolana ny fikorianan'ny entona.
9. Rehefa miova tampoka ny sosona, jereo aloha ny atmosfera
Amin'ny famokarana tena izy, ny olana amin'ny coating dia matetika miseho ho fiovana tampoka eo amin'ny loko, ny hamafin'ny coating, ny firaikitra, ny hatevin'ny sarimihetsika, na ny fahombiazan'ny herinaratra.
Rehefa mitranga izany dia mety halaim-panahy hanitsy avy hatrany ny herin'ny fametrahana, ny fitongilanan'ny substrate, na ny fotoana fametrahana. Na izany aza, tokony hojerena aloha ireo fiovaovan'ny atmosfera.
Ny filaharan'ny famahana olana azo ampiharina dia ny mampitaha ny angon-drakitra momba ny famokarana ankehitriny amin'ny toe-javatra mahazatra amin'ny fizotran'ny asa: ny tsindry fototra, ny fotoana fiatoana amin'ny paompy, ny tsindry miasa, ny fikorianan'ny entona eo amin'ny fizotran'ny asa, ny fikorianan'ny entona mihetsika, ny toerana misy ny valva throttle, ny voltase/courant fivoahan'ny herinaratra, ny mari-pana ao amin'ny substrate, ary ny tahan'ny fametrahana.
Raha niova ny iray amin'ireo masontsivana ireo, dia mety hanome fanazavana mivantana kokoa noho ny fanovana fotsiny ny fomba fanamboarana ny fandrakofana izany.
Indrindra indrindra, raha tsy miova ny fikirana ny fikorianan'ny entona fa niova ny tsindrin'ny efitrano, dia mety ho ao amin'ny rafitra paompy, ny valva fanaraha-maso ny tsindry, ny famatsian-gazy, ny fitarihan'ny entona ao amin'ny efitrano, na ny toetry ny fivoahan'ny entona no misy ny olana, fa tsy ao amin'ny fitaovana fanosotra mihitsy.
10. Ny fanaraha-maso ny atmosfera dia olana amin'ny fanaraha-maso ny rafitra amin'ny farany
Ny traikefa azo ampiharina voangona avy amin'ny fampiasana "aspirateur" indostrialy dia mampiseho fa ny fanaraha-maso ny atmosfera dia tsy azo sarahina amin'ny rafitra "aspirateur" amin'ny ankapobeny.
Ny paompy banga no mamaritra ny fahafahan'ny paompy ao amin'ny efitrano. Ny rafitra fanaterana entona no mamaritra ny fidiran'ny entona. Ny valva fanindriana no mandrindra ny fifandraisana misy eo amin'ny fikorianan'ny entona sy ny tsindrin'ny efitrano. Ny loharanon'ny plasma no mamaritra ny fomba ionisasian'ny entona sy ny fifandraisany amin'ny karazana fametrahana. Ny rafitra substrate no mamaritra ny fifandraisan'ny workpiece amin'ny plasma.
Ireo rafitra ireo dia miasa miaraka, ary ny fiovan'ny masontsivana iray dia mety hisy fiantraikany amin'ny masontsivana maromaro hafa.
Noho izany, ny dingana PVD matotra dia tokony hametraka fe-potoana maharitra amin'ny dingana fa tsy hiantehitra amin'ny masontsivana raikitra tokana. Ny tanjona dia ny hahazoana antoka fa ny tsindry amin'ny banga, ny fikorianan'ny entona, ny toetran'ny plasma, ny toetry ny substrate, ary ny masontsivana fametrahana dia mijanona ao anatin'ny fetra voafehy mandritra ny famokarana.
Famaranana
Ny fanaraha-maso ny atmosfera dia iray amin'ireo singa fototra amin'ny coating banga marin-toerana. Manomboka amin'ny tsindry fototra sy ny fitantanana ny entona sisa tavela ka hatramin'ny tsindry miasa, ny fikorianan'ny entona, ny tsindry ampahany amin'ny entona mihetsika, ny fanapoizinana lasibatra, ary ny fahadiovan'ny efitrano, ny singa tsirairay dia mety hisy fiantraikany amin'ny coating farany.
Ho an'ny fametrahana PVD mahazatra, ny toetry ny atmosfera marin-toerana dia manome fototra ho an'ny fitomboan'ny sarimihetsika azo averina. Ho an'ny reactive sputtering sy ny dingana hafa ampian'ny plasma, ny fanaraha-maso mazava tsara ny atmosfera dia lasa zava-dehibe kokoa satria ny firafitry ny entona dia mandray anjara mivantana amin'ny fiforonan'ny sarimihetsika.
Noho izany, ny tena tanjon'ny fanaraha-maso ny atmosfera dia tsy ny fitazonana tsindry na sandan'ny fikorianan'ny entona fotsiny ihany. Fa ny fametrahana tontolo fametrahana marin-toerana sy azo averina izay hijanonan'ny plasma, ny karazana fametrahana, ny substrate ary ny atmosfera mihetsika amin'ny toetra voafehy.
Ho an'ny fitaovana indostrialy fanosorana banga, izany dia mitaky famolavolana mirindra ny rafitra paompy banga, ny rafitra fanaterana entona, ny rafitra fanaraha-maso ny tsindry, ny loharanon'ny plasma, ny rafitry ny efitrano, ary ny rindrambaiko fanaraha-maso ny dingana.
-Navoakan'nympanamboatra fitaovana fanosotra bangaZhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 08 Aogositra 2026