នៅក្នុងការស្រោបដោយខ្យល់ក្នុងសុញ្ញកាស ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសគឺជាកត្តាមួយក្នុងចំណោមកត្តាជាមូលដ្ឋានបំផុតដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពខ្សែភាពយន្ត និងស្ថេរភាពដំណើរការ។ ទោះបីជាបន្ទប់ស្រោបដំណើរការក្រោមសុញ្ញកាសក៏ដោយ បរិស្ថាននៃការដាក់ស្រទាប់មិនមែនជាកន្លែង "គ្មានឧស្ម័ន" ទាំងស្រុងនោះទេ។ ឧស្ម័នសំណល់ ឧស្ម័នដំណើរការ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម លំហូរឧស្ម័ន សម្ពាធការងារ និងលក្ខខណ្ឌនៃការបូម បន្តធ្វើអន្តរកម្មជាមួយប្លាស្មា និងប្រភេទសារធាតុដាក់ស្រទាប់។
នៅក្នុងផលិតកម្មជាក់ស្តែង ពិការភាពថ្នាំកូតជាច្រើនដែលហាក់ដូចជាទាក់ទងនឹងគោលដៅ កាតូត ស្រទាប់ខាងក្រោម ឬការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ទីបំផុតអាចត្រូវបានតាមដានត្រឡប់ទៅការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសមិនស្ថិតស្ថេរ។ បញ្ហាដូចជាពណ៌ខ្សែភាពយន្តមិនស្ថិតស្ថេរ ភាពស្អិតមិនល្អ ភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្តមិនប្រក្រតី ការកកើតធ្នូខ្លាំងពេក កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តមិនស្មើគ្នា រន្ធតូចៗ និងការប្រែប្រួលពីមួយបាច់ទៅមួយបាច់ ជារឿយៗត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់យ៉ាងជិតស្និទ្ធជាមួយនឹងការផ្លាស់ប្តូរនៅក្នុងបរិយាកាសដំណើរការ។
ដូច្នេះ សម្រាប់ប្រព័ន្ធ PVD ឧស្សាហកម្ម ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសមិនគួរត្រូវបានចាត់ទុកថាគ្រាន់តែជាការកែតម្រូវម៉ែត្រលំហូរឧស្ម័ននោះទេ។ វាគឺជាដំណើរការសម្របសម្រួលដែលពាក់ព័ន្ធនឹងសម្ពាធមូលដ្ឋាន សមាសធាតុឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ លំហូរឧស្ម័នដំណើរការ សម្ពាធការងារ សម្ពាធផ្នែកឧស្ម័ន ចរន្តបូម លក្ខខណ្ឌប្លាស្មា និងមតិប្រតិកម្មឧស្ម័ន។
១. ជំហានដំបូងមិនមែនជាការចាក់ឧស្ម័នទេ ប៉ុន្តែជាការគ្រប់គ្រងម៉ាស៊ីនបូមធូលីមូលដ្ឋាន
កំហុសទូទៅមួយក្នុងការផលិតគឺការផ្តោតលើប៉ារ៉ាម៉ែត្រឧស្ម័នដំណើរការ ខណៈពេលដែលមើលរំលងស្ថានភាពនៃបន្ទប់បូមធូលីខ្លួនឯង។
មុនពេលបញ្ចូលឧស្ម័នដំណើរការ បន្ទប់ថ្នាំកូតត្រូវតែឈានដល់សម្ពាធមូលដ្ឋានសមស្រប។ សម្ពាធមូលដ្ឋានទាបគ្រប់គ្រាន់ជួយកាត់បន្ថយអុកស៊ីសែនដែលនៅសេសសល់ ចំហាយទឹក អ៊ីដ្រូកាបូន និងសារធាតុបំពុលផ្សេងៗទៀត។ ឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ទាំងនេះអាចចូលរួមក្នុងដំណើរការដាក់ស្រទាប់ ហើយបញ្ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់ ដែលប៉ះពាល់ដល់សមាសធាតុខ្សែភាពយន្ត មីក្រូស្ត្រុកទ័រ ភាពស្អិត និងលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក ឬអគ្គិសនី។
នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់ដំណើរការ PVD ដែលមានប្រតិកម្ម។ ឧទាហរណ៍ នៅពេលដាក់នីទ្រីត ឬអុកស៊ីដ ឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដែលចង់បានត្រូវតែសម្គាល់ពីអុកស៊ីសែន ឬចំហាយទឹកដែលមិនអាចគ្រប់គ្រងបានដែលនៅសេសសល់ក្នុងបន្ទប់។ បើមិនដូច្នោះទេ បរិយាកាសដែលមានប្រតិកម្មពិតប្រាកដអាចប្រែប្រួលយ៉ាងខ្លាំងពីរូបមន្តដំណើរការ ទោះបីជាឧបករណ៍បញ្ជាលំហូរម៉ាសកំពុងដំណើរការធម្មតាក៏ដោយ។
នៅក្នុងផលិតកម្មជាក់ស្តែង ប្រសិនបើរូបមន្តដូចគ្នាស្រាប់តែបង្កើតលទ្ធផលថ្នាំកូតខុសគ្នា សំណួរដំបូងមិនគួរតែងតែជាថាតើថាមពលគោលដៅបានផ្លាស់ប្តូរឬអត់នោះទេ។ វាក៏ចាំបាច់ផងដែរក្នុងការពិនិត្យមើលថាតើសម្ពាធមូលដ្ឋាន ពេលវេលាបូមចុះ អនាម័យបន្ទប់ និងស្ថានភាពឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់បានផ្លាស់ប្តូរឬអត់។
2. ឥរិយាបថបូមចុះក្រោមគឺជាសូចនាករដំណើរការសំខាន់មួយ
ប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលមានសុខភាពល្អគួរតែមានលក្ខណៈបូមចុះក្រោមដែលមានស្ថេរភាព និងអាចធ្វើម្តងទៀត។
ប្រសិនបើបន្ទប់នេះចំណាយពេលយូរជាងធម្មតាដើម្បីឈានដល់សម្ពាធមូលដ្ឋានដែលត្រូវការ នេះអាចបង្ហាញពីការកើនឡើងនៃការបញ្ចេញឧស្ម័ន ការបំពុល ការលេចធ្លាយក្នុងសុញ្ញកាស ការថយចុះដំណើរការស្នប់ ឬសំណើមលើសលប់នៅក្នុងបន្ទប់។
ប្រភពធម្មតានៃការបញ្ចេញឧស្ម័នរួមមានសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម គ្រឿងបរិក្ខារ សំណល់ប៉ូលីមែរ ខាញ់ក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី ផ្ទៃបន្ទប់ដែលមានមេរោគ និងសំណើមដែលស្រូបយក។ សម្ភារៈមួយចំនួនអាចបន្តបញ្ចេញឧស្ម័នបន្ទាប់ពីបន្ទប់បានឈានដល់សម្ពាធដែលអាចទទួលយកបាន ដែលបណ្តាលឱ្យមានលក្ខខណ្ឌដំណើរការមិនស្ថិតស្ថេរក្នុងអំឡុងពេលដាក់។
ដូច្នេះ ទំនាក់ទំនងរវាងពេលវេលាបូមចុះ សម្ពាធចុងក្រោយ អត្រាកើនឡើងសម្ពាធ និងស្ថេរភាពដំណើរការអាចផ្តល់ព័ត៌មានដ៏មានតម្លៃអំពីស្ថានភាពនៃប្រព័ន្ធសុញ្ញកាស។
ចំពោះឧបករណ៍ផលិតកម្ម ការតាមដានឥរិយាបថនៃការកើនឡើងសម្ពាធបន្ទាប់ពីញែកចេញពីប្រព័ន្ធបូមក៏អាចជួយបែងចែករវាងការលេចធ្លាយពិតប្រាកដ និងការបញ្ចេញឧស្ម័នធម្មតាផងដែរ។ នេះមានប្រយោជន៍ជាពិសេសក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយបញ្ហា។
៣. សម្ពាធការងារកំណត់បរិយាកាសដឹកជញ្ជូន
បន្ទាប់ពីសម្រេចបាននូវកន្លែងទំនេរមូលដ្ឋានសមស្របមួយ ឧស្ម័នដំណើរការត្រូវបានណែនាំ ហើយបន្ទប់ចូលទៅក្នុងរបបសម្ពាធការងារ។
សម្ពាធការងារមានឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើផ្លូវសេរីមធ្យមនៃអាតូម អ៊ីយ៉ុង និងអេឡិចត្រុងដែលហៀរចេញ។ ដូច្នេះវាប៉ះពាល់ដល់លក្ខណៈប្លាស្មា អត្រានៃការបញ្ចេញ អ៊ីយ៉ូដនីយកម្ម ការខ្ចាត់ខ្ចាយភាគល្អិត និងការចែកចាយមុំនៃលំហូរការបញ្ចេញ។
នៅសម្ពាធទាប ប្រភេទសារធាតុដែលហៀរចេញអាចធ្វើដំណើរឆ្លងកាត់បន្ទប់ដោយមានការប៉ះទង្គិចតិចជាងមុន ដែលបណ្តាលឱ្យមានលំហូរនៃការធ្លាក់ចុះទិសដៅកាន់តែច្រើន។ នេះអាចមានប្រយោជន៍សម្រាប់កម្មវិធីមួយចំនួន ប៉ុន្តែអាចបង្កើនឥទ្ធិពលស្រមោលលើសមាសធាតុបីវិមាត្រស្មុគស្មាញ។
នៅពេលដែលសម្ពាធកើនឡើង ការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងប្រភេទសារធាតុដាក់ និងម៉ូលេគុលឧស្ម័នកាន់តែញឹកញាប់។ លំហូរសារធាតុដាក់កាន់តែខ្ចាត់ខ្ចាយ ដែលអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការគ្របដណ្តប់លើផ្ទៃដែលលិចចូល ប៉ុន្តែក៏អាចកាត់បន្ថយប្រសិទ្ធភាពនៃសារធាតុដាក់ និងផ្លាស់ប្តូររូបរាងខ្សែភាពយន្តផងដែរ។
ដូច្នេះ សម្ពាធការងារមិនគួរត្រូវបានចាត់ទុកថាគ្រាន់តែជាតម្លៃដែលត្រូវ "កំណត់ឱ្យបានត្រឹមត្រូវ" នោះទេ។ វាគឺជាអថេរដំណើរការដែលមានឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើចលនវិទ្យាដឹកជញ្ជូននៃប្រភេទសារធាតុដែលដាក់។
៤. លំហូរឧស្ម័ន និងសម្ពាធមិនមែនជារឿងដូចគ្នាទេ
នៅក្នុងប្រតិបត្តិការ PVD ជាក់ស្តែង លំហូរឧស្ម័នជាធម្មតាត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រើឧបករណ៍បញ្ជាលំហូរម៉ាស់ (MFC) ខណៈពេលដែលសម្ពាធបន្ទប់ត្រូវបានកំណត់ដោយតុល្យភាពរវាងការបញ្ចូលឧស្ម័ន និងសមត្ថភាពបូម។
ភាពខុសគ្នានេះគឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់។
អត្រាលំហូរឧស្ម័នដូចគ្នាមិនចាំបាច់បង្កើតសម្ពាធការងារដូចគ្នាក្រោមលក្ខខណ្ឌប្រព័ន្ធសុញ្ញកាសខុសៗគ្នានោះទេ។ ប្រសិនបើល្បឿនបូម ទីតាំងសន្ទះបិទបើក ចរន្តអគ្គិសនីក្នុងបន្ទប់ ឬផ្លូវលំហូរឧស្ម័នខាងក្នុងផ្លាស់ប្តូរ សម្ពាធលទ្ធផលក៏អាចផ្លាស់ប្តូរផងដែរ។
ឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើសន្ទះបិទបើក ឬប្រព័ន្ធបូមកំពុងដំណើរការមិនប្រក្រតី ប្រតិបត្តិករអាចបង្កើនលំហូរឧស្ម័នដើម្បីទូទាត់សងសម្រាប់គម្លាតសម្ពាធ។ ទោះបីជាសម្ពាធអាចត្រឡប់ទៅតម្លៃគោលដៅជាបណ្ដោះអាសន្នក៏ដោយ ស្ថានភាពលំហូរឧស្ម័ន និងប្លាស្មាជាក់ស្តែងអាចនឹងបានផ្លាស់ប្តូររួចហើយ។
ដូច្នេះ វិស្វករដំណើរការដែលមានបទពិសោធន៍ជាទូទៅត្រួតពិនិត្យលំហូរឧស្ម័ន និងសម្ពាធបន្ទប់ជាមួយគ្នា ជាជាងប្រើប៉ារ៉ាម៉ែត្រណាមួយដោយឯករាជ្យជាឯកសារយោងដំណើរការតែមួយគត់។
៥. ការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នប្រតិកម្មមានភាពរសើបជាង
ចំពោះដំណើរការ PVD ដែលមានប្រតិកម្មដូចជា TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂ និងថ្នាំកូតសមាសធាតុផ្សេងទៀត ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសកាន់តែស្មុគស្មាញ។
ឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មចូលរួមដោយផ្ទាល់ក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។ អាសូត អុកស៊ីសែន អាសេទីលីន មេតាន ឬឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មផ្សេងទៀតអាចមានប្រតិកម្មជាមួយប្រភេទឧស្ម័នដែលហួត ឬហៀរចេញ ដើម្បីកំណត់សមាសភាពខ្សែភាពយន្តចុងក្រោយ។
ដូច្នេះការផ្លាស់ប្តូរតិចតួចនៃសម្ពាធផ្នែកខ្លះនៃឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មអាចបង្កើតឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្ត។
ឧទាហរណ៍ លំហូរអាសូតមិនគ្រប់គ្រាន់អាចបណ្តាលឱ្យមាននីទ្រីដេសិនមិនពេញលេញ ខណៈពេលដែលអាសូតលើសអាចជះឥទ្ធិពលដល់អត្រានៃការដាក់សារធាតុ លក្ខណៈប្លាស្មា ឥរិយាបថគោលដៅ និងសមាសធាតុខ្សែភាពយន្ត។ នៅក្នុងការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុងដែលមានប្រតិកម្ម ការណែនាំឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មច្រើនពេកក៏អាចនាំឱ្យមានការពុលគោលដៅផងដែរ ដែលស្រទាប់សមាសធាតុមួយបង្កើតនៅលើផ្ទៃគោលដៅ ហើយផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈនៃការបាញ់។
នេះជាមូលហេតុដែលការបាញ់ថ្នាំដែលមានប្រតិកម្មជារឿយៗតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងដំណើរការដ៏ស្មុគស្មាញជាងការដាក់លោហៈធម្មតា។
៦. ការពុលគោលដៅគឺជាបញ្ហាគ្រប់គ្រងបរិយាកាសធម្មតាមួយ
នៅក្នុងការបាញ់ស្ព្រាយម៉ាញ៉េទិចដែលមានប្រតិកម្ម ការពុលគោលដៅគឺជាបញ្ហាមួយក្នុងចំណោមបញ្ហាទូទៅបំផុតដែលទាក់ទងនឹងការគ្រប់គ្រងបរិយាកាស។
នៅពេលដែលសម្ពាធដោយផ្នែកនៃឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មកើនឡើងហួសពីជួរជាក់លាក់មួយ ផ្ទៃគោលដៅអាចគ្របដណ្ដប់ដោយស្រទាប់សមាសធាតុ។ បន្ទាប់មកគោលដៅផ្លាស់ប្តូរពីស្ថានភាពហៈរលាយទៅជាស្ថានភាពពុល។
ការផ្លាស់ប្តូរនេះអាចបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរអត្រាស្ព្រាយ វ៉ុលបញ្ចេញ ចរន្តបញ្ចេញ ការបញ្ចេញអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំ អត្រាដាក់ស្រទាប់ និងសមាសធាតុខ្សែភាពយន្ត។
បញ្ហានេះកាន់តែពិបាក ពីព្រោះទំនាក់ទំនងរវាងលំហូរឧស្ម័នប្រតិកម្ម និងស្ថានភាពគោលដៅច្រើនតែមិនមែនលីនេអ៊ែរ។ ការផ្លាស់ប្តូរតិចតួចនៃលំហូរឧស្ម័នអាចបង្កើតការផ្លាស់ប្តូរដ៏ធំមិនសមាមាត្រនៅក្នុងស្ថានភាពដំណើរការ។
សម្រាប់ការផលិតបរិមាណច្រើន ការពឹងផ្អែកតែលើលំហូរឧស្ម័នប្រតិកម្មថេរអាចមិនគ្រប់គ្រាន់។ ប្រព័ន្ធកម្រិតខ្ពស់ជាងនេះអាចប្រើការគ្រប់គ្រងរង្វិលជុំបិទជិតដោយផ្អែកលើការបញ្ចេញពន្លឺ លក្ខណៈនៃការបញ្ចេញ ការវាស់សម្ពាធដោយផ្នែក ឬសញ្ញាដំណើរការផ្សេងទៀតដើម្បីធ្វើឱ្យបង្អួចបញ្ចេញប្រតិកម្មមានស្ថេរភាព។
៧. អនាម័យបន្ទប់ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ស្ថេរភាពបរិយាកាស
ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសមិនអាស្រ័យតែលើប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័ននោះទេ។ ស្ថានភាពខាងក្នុងនៃបន្ទប់ថ្នាំកូតក៏សំខាន់ដូចគ្នាដែរ។
ក្នុងអំឡុងពេលវដ្តផលិតកម្មម្តងហើយម្តងទៀត សម្ភារៈថ្នាំកូតនឹងកកកុញបន្តិចម្តងៗនៅលើជញ្ជាំងបន្ទប់ ខែល គ្រឿងបរិក្ខារស្រទាប់ខាងក្រោម និងសមាសធាតុខាងក្នុងផ្សេងទៀត។ កំណកទាំងនេះអាចក្លាយជាប្រភពនៃការបំពុលភាគល្អិត ឬការបញ្ចេញឧស្ម័ន។ កំណកខ្លះក៏អាចមានប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នដំណើរការ ឬបញ្ចេញឧស្ម័នដែលស្រូបយកពីមុនក្នុងអំឡុងពេលកំដៅ និងប្រតិបត្តិការប្លាស្មាជាបន្តបន្ទាប់។
នេះអាចផ្លាស់ប្តូរបរិយាកាសបន្ទប់ជាក់ស្តែងបន្តិចម្តងៗ ទោះបីជារូបមន្តដំណើរការនៅតែមិនផ្លាស់ប្តូរក៏ដោយ។
សម្រាប់ហេតុផលនេះ ការសម្អាតបន្ទប់ជាប្រចាំ ការជំនួសខែល ការថែទាំគ្រឿងបរិក្ខារ និងការត្រួតពិនិត្យការផ្សាភ្ជាប់ក្នុងសុញ្ញកាស គឺជាផ្នែកសំខាន់ៗនៃការគ្រប់គ្រងបរិយាកាស។
ដំណើរការ PVD ដែលមានស្ថេរភាពមិនមែនគ្រាន់តែជាលទ្ធផលនៃរូបមន្តដែលមានស្ថេរភាពនោះទេ។ វាអាស្រ័យលើការរក្សាបរិស្ថានរូបវន្តដែលមានស្ថេរភាពនៅក្នុងបន្ទប់។
៨. ការចែកចាយឧស្ម័នមានសារៈសំខាន់ដូចបរិមាណឧស្ម័នដែរ
បញ្ហាជាក់ស្តែងមួយទៀតគឺថាបរិមាណឧស្ម័នសរុបដែលចូលទៅក្នុងបន្ទប់មិនធានានូវបរិយាកាសដំណើរការឯកសណ្ឋាននោះទេ។
ការរចនា និងទីតាំងនៃច្រកចូលឧស្ម័ន ក្បាលផ្កាឈូក បន្ទះការពារ រន្ធបូម សន្ទះបិទបើក និងកន្លែងដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម កំណត់ពីរបៀបដែលឧស្ម័នត្រូវបានចែកចាយនៅក្នុងបន្ទប់។
ការចែកចាយឧស្ម័នមិនល្អអាចបង្កើតការប្រែប្រួលក្នុងតំបន់នៃកំហាប់ឧស្ម័នប្រតិកម្ម ឬដង់ស៊ីតេប្លាស្មា។ លទ្ធផលអាចជាសមាសធាតុខ្សែភាពយន្ត ឬកម្រាស់ខុសៗគ្នានៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតផ្ទៃធំ និងឧបករណ៍ផលិតកម្មដែលមានសមត្ថភាពផ្ទុកខ្ពស់។
ដូច្នេះ នៅពេលធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស ការរចនាលំហូរឧស្ម័នគួរតែត្រូវបានពិចារណារួមគ្នាជាមួយនឹងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធប្រភពប្លាស្មា ការបង្វិលស្រទាប់ខាងក្រោម ធរណីមាត្របូម និងរចនាសម្ព័ន្ធបន្ទប់។
៩. នៅពេលដែលថ្នាំកូតផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗ សូមពិនិត្យមើលបរិយាកាសជាមុនសិន
នៅក្នុងផលិតកម្មជាក់ស្តែង បញ្ហាថ្នាំកូតច្រើនតែលេចឡើងជាការផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗនៃពណ៌ ភាពរឹង ភាពស្អិត កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ឬដំណើរការអគ្គិសនី។
នៅពេលដែលរឿងនេះកើតឡើង វាជាការល្បួងឱ្យកែតម្រូវថាមពលដាក់ស្រទាប់ ភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឬពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ភ្លាមៗ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អថេរទាក់ទងនឹងបរិយាកាសគួរតែត្រូវបានត្រួតពិនិត្យជាមុនសិន។
លំដាប់នៃការដោះស្រាយបញ្ហាជាក់ស្តែងមួយគឺការប្រៀបធៀបទិន្នន័យផលិតកម្មបច្ចុប្បន្នជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌដំណើរការធម្មតា៖ សម្ពាធមូលដ្ឋាន ពេលវេលាបូមចុះ សម្ពាធការងារ លំហូរឧស្ម័នដំណើរការ លំហូរឧស្ម័នប្រតិកម្ម ទីតាំងសន្ទះបិទបើក វ៉ុល/ចរន្តបញ្ចេញ សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម និងអត្រាដាក់។
ប្រសិនបើប៉ារ៉ាម៉ែត្រមួយក្នុងចំណោមប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះបានផ្លាស់ប្តូរ វាអាចផ្តល់នូវការពន្យល់ដោយផ្ទាល់ជាងការកែប្រែរូបមន្តថ្នាំកូត។
ជាពិសេស ប្រសិនបើការកំណត់លំហូរឧស្ម័នមិនផ្លាស់ប្តូរ ប៉ុន្តែសម្ពាធបន្ទប់បានផ្លាស់ប្តូរ បញ្ហាអាចស្ថិតនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូម សន្ទះបិទបើកសម្ពាធ ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័ន ចរន្តឧស្ម័នក្នុងបន្ទប់ ឬស្ថានភាពលេចធ្លាយ ជាជាងនៅក្នុងសម្ភារៈថ្នាំកូតខ្លួនឯង។
១០. ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសនៅទីបំផុតគឺជាបញ្ហាគ្រប់គ្រងប្រព័ន្ធ
បទពិសោធន៍ជាក់ស្តែងដែលប្រមូលបានពីថ្នាំកូតបូមធូលីឧស្សាហកម្មបង្ហាញថាការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសមិនអាចបំបែកចេញពីប្រព័ន្ធបូមធូលីទាំងមូលបានទេ។
ម៉ាស៊ីនបូមធូលីកំណត់សមត្ថភាពបូមរបស់បន្ទប់។ ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នកំណត់ការបញ្ចូលឧស្ម័ន។ សន្ទះបិទបើកគ្រប់គ្រងទំនាក់ទំនងរវាងលំហូរឧស្ម័ន និងសម្ពាធបន្ទប់។ ប្រភពប្លាស្មាកំណត់ពីរបៀបដែលឧស្ម័នត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដ និងមានអន្តរកម្មជាមួយប្រភេទសារធាតុដាក់។ ប្រព័ន្ធស្រទាប់ខាងក្រោមកំណត់ពីរបៀបដែលស្នាដៃធ្វើអន្តរកម្មជាមួយប្លាស្មា។
ប្រព័ន្ធទាំងនេះដំណើរការក្នុងពេលដំណាលគ្នា ហើយការផ្លាស់ប្តូរប៉ារ៉ាម៉ែត្រមួយអាចជះឥទ្ធិពលដល់ប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងទៀតជាច្រើន។
ដូច្នេះ ដំណើរការ PVD ដែលចាស់ទុំគួរតែបង្កើតបង្អួចដំណើរការដែលមានស្ថេរភាពជាជាងពឹងផ្អែកលើប៉ារ៉ាម៉ែត្រថេរតែមួយ។ គោលបំណងគឺដើម្បីធានាថាសម្ពាធសុញ្ញកាស លំហូរឧស្ម័ន លក្ខណៈប្លាស្មា លក្ខខណ្ឌស្រទាប់ខាងក្រោម និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការដាក់នៅតែស្ថិតក្នុងជួរដែលបានគ្រប់គ្រងពេញមួយផលិតកម្ម។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសគឺជាធាតុផ្សំជាមូលដ្ឋានមួយនៃថ្នាំកូតសុញ្ញកាសដែលមានស្ថេរភាព។ ចាប់ពីសម្ពាធមូលដ្ឋាន និងការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ រហូតដល់សម្ពាធការងារ លំហូរឧស្ម័ន សម្ពាធផ្នែកនៃឧស្ម័នប្រតិកម្ម ការពុលគោលដៅ និងអនាម័យបន្ទប់ កត្តានីមួយៗអាចមានឥទ្ធិពលលើថ្នាំកូតចុងក្រោយ។
ចំពោះការរលាយ PVD បែបប្រពៃណី លក្ខខណ្ឌបរិយាកាសដែលមានស្ថេរភាពផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់ការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តដែលអាចធ្វើម្តងទៀត។ ចំពោះការរលាយដោយប្រតិកម្ម និងដំណើរការដែលមានជំនួយពីប្លាស្មាផ្សេងទៀត ការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសដ៏ច្បាស់លាស់កាន់តែមានសារៈសំខាន់ ពីព្រោះសមាសធាតុឧស្ម័នចូលរួមដោយផ្ទាល់ក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។
ដូច្នេះគោលបំណងពិតប្រាកដនៃការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសមិនមែនគ្រាន់តែរក្សាសម្ពាធ ឬតម្លៃលំហូរឧស្ម័នជាក់លាក់នោះទេ។ វាគឺដើម្បីបង្កើតបរិយាកាសដាក់សារធាតុដែលមានស្ថេរភាព និងអាចបង្កើតឡើងវិញបាន ដែលប្លាស្មា ប្រភេទសារធាតុដាក់ ស្រទាប់ខាងក្រោម និងបរិយាកាសដែលមានប្រតិកម្មនៅតែស្ថិតក្នុងស្ថានភាពគ្រប់គ្រង។
សម្រាប់ឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីឧស្សាហកម្ម នេះតម្រូវឱ្យមានការរចនាសម្របសម្រួលនៃប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសម្ពាធ ប្រភពប្លាស្មា រចនាសម្ព័ន្ធបន្ទប់ និងកម្មវិធីគ្រប់គ្រងដំណើរការ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ សីហា-០៨-២០២៦