வெற்றிடப் பூச்சுக்கான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டில் நடைமுறை அனுபவம்

வெற்றிடப் பூச்சு முறையில், படலத்தின் தரம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையைப் பாதிக்கும் மிக அடிப்படையான காரணிகளில் ஒன்றாக வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு விளங்குகிறது. பூச்சுக் கூடம் வெற்றிடத்தில் இயங்கினாலும், படிவுச் சூழல் என்பது முற்றிலும் "வாயு அற்ற" ஓர் இடம் அல்ல. எஞ்சிய வாயுக்கள், செயல்முறை வாயுக்கள், வினைபுரியும் வாயுக்கள், வாயு ஓட்டம், செயல்படும் அழுத்தம் மற்றும் உந்திச் செலுத்தும் நிலைமைகள் ஆகியவை பிளாஸ்மா மற்றும் படிவுப் பொருட்களுடன் தொடர்ந்து இடைவினை புரிகின்றன.

உண்மையான உற்பத்தியில், இலக்கு, எதிர்மின்வாய், அடிமூலக்கூறு அல்லது மின்வழங்கி ஆகியவற்றுடன் தொடர்புடையதாகத் தோன்றும் பல பூச்சுக் குறைபாடுகளுக்கு, இறுதியில் நிலையற்ற வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடே காரணமாக அமைகிறது. நிலையற்ற படல நிறம், மோசமான ஒட்டுதல், இயல்புக்கு மாறான படல மின்தடை, அதிகப்படியான மின்வில் உருவாதல், சீரற்ற படலத் தடிமன், ஊசித்துளைகள் மற்றும் தொகுதிக்குத் தொகுதி மாறுபாடு போன்ற சிக்கல்கள், பெரும்பாலும் செயல்முறை வளிமண்டலத்தில் ஏற்படும் மாற்றங்களுடன் நெருங்கிய தொடர்புடையவை.

எனவே, தொழில்துறை PVD அமைப்புகளைப் பொறுத்தவரை, வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை வாயு ஓட்டமானியைச் சரிசெய்வதாக மட்டும் கருதக்கூடாது. இது அடிப்படை அழுத்தம், எஞ்சிய வாயுவின் கலவை, செயல்முறை வாயு ஓட்டம், செயல்பாட்டு அழுத்தம், வாயுவின் பகுதி அழுத்தம், உந்தி கடத்துத்திறன், பிளாஸ்மா நிலைமைகள் மற்றும் வினைபுரியும் வாயுவின் பின்னூட்டம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு ஒருங்கிணைந்த செயல்முறையாகும்.

1. முதல் படி வாயுவைச் செலுத்துவது அல்ல, மாறாக அடித்தள வெற்றிடத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதே ஆகும்.

உற்பத்தியில் செய்யப்படும் ஒரு பொதுவான தவறு என்னவென்றால், வெற்றிட அறையின் நிலையைக் கவனிக்காமல், செயல்முறை-வாயு அளவுருக்களில் மட்டும் கவனம் செலுத்துவதாகும்.

செயல்முறை வாயுக்களை அறிமுகப்படுத்துவதற்கு முன், பூச்சுக் கூடம் ஒரு பொருத்தமான அடிப்படை அழுத்தத்தை அடைய வேண்டும். போதுமான குறைந்த அடிப்படை அழுத்தம், எஞ்சியிருக்கும் ஆக்ஸிஜன், நீராவி, ஹைட்ரோகார்பன்கள் மற்றும் பிற மாசுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது. இந்த எஞ்சிய வாயுக்கள் படிதல் செயல்முறையில் பங்கேற்று, வளரும் படலத்துடன் கலந்து, படலத்தின் கலவை, நுண் கட்டமைப்பு, ஒட்டுதல் மற்றும் ஒளியியல் அல்லது மின் பண்புகளைப் பாதிக்கக்கூடும்.

வினைபுரியும் PVD செயல்முறைகளுக்கு இது குறிப்பாக முக்கியமானது. உதாரணமாக, நைட்ரைடுகள் அல்லது ஆக்சைடுகளைப் படியவைக்கும்போது, ​​உத்தேசிக்கப்பட்ட வினைபுரியும் வாயுவை, கலத்தில் மீதமுள்ள கட்டுப்பாடற்ற ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீராவியிலிருந்து வேறுபடுத்தி அறிய வேண்டும். இல்லையெனில், நிறை-ஓட்டக் கட்டுப்படுத்தி சாதாரணமாக இயங்கினாலும் கூட, உண்மையான வினைபுரியும் சூழலானது செயல்முறை செய்முறையிலிருந்து கணிசமாக விலகிச் செல்லக்கூடும்.

நடைமுறை உற்பத்தியில், ஒரே செய்முறை திடீரென வெவ்வேறு பூச்சு முடிவுகளைத் தந்தால், இலக்கு ஆற்றல் மாறியுள்ளதா என்பது மட்டுமே முதல் கேள்வியாக இருக்கக்கூடாது. அடித்தள அழுத்தம், வெற்றிடமாக்கும் நேரம், அறையின் தூய்மை மற்றும் எஞ்சிய வாயு நிலைமைகள் மாறியுள்ளனவா என்பதையும் சரிபார்க்க வேண்டியது அவசியம்.

2. அழுத்தக் குறைப்பு நடத்தை ஒரு முக்கியமான செயல்முறைக் காட்டியாகும்.

ஒரு நல்ல வெற்றிட அமைப்பானது, ஒப்பீட்டளவில் நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய காற்றிறக்கும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

தேவையான அடிப்படை அழுத்தத்தை அடைவதற்கு, அறையானது வழக்கத்தை விட கணிசமாக அதிக நேரம் எடுத்துக்கொண்டால், அது அதிகரித்த வாயு வெளியேற்றம், மாசுபடுதல், வெற்றிடக் கசிவு, பம்பின் செயல்திறன் குறைதல் அல்லது அறைக்குள் அதிகப்படியான ஈரப்பதம் இருப்பதைக் குறிக்கலாம்.

வாயு வெளியேற்றத்தின் பொதுவான மூலங்களில் அடி மூலக்கூறு பொருட்கள், பொருத்திகள், பாலிமர் எச்சங்கள், வெற்றிட மசகு எண்ணெய், அசுத்தமடைந்த அறை மேற்பரப்புகள் மற்றும் உறிஞ்சப்பட்ட ஈரப்பதம் ஆகியவை அடங்கும். சில பொருட்கள், அறையானது ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடியதாகத் தோன்றும் அழுத்தத்தை அடைந்த பிறகும் தொடர்ந்து வாயுக்களை வெளியிடக்கூடும், இதன் விளைவாகப் படிதல் செயல்பாட்டின் போது நிலையற்ற செயல்முறை நிலைமைகள் ஏற்படுகின்றன.

எனவே, வெற்றிடமாக்கும் நேரம், இறுதி அழுத்தம், அழுத்த உயர்வு விகிதம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான தொடர்பு, வெற்றிட அமைப்பின் நிலை குறித்த மதிப்புமிக்க தகவல்களை வழங்க முடியும்.

உற்பத்தி உபகரணங்களைப் பொறுத்தவரை, பம்பிங் அமைப்பிலிருந்து தனிமைப்படுத்திய பிறகு ஏற்படும் அழுத்த அதிகரிப்புப் போக்கைக் கண்காணிப்பது, உண்மையான கசிவுக்கும் இயல்பான வாயு வெளியேற்றத்திற்கும் இடையே வேறுபடுத்தி அறிய உதவும். இது குறிப்பாகப் பழுது நீக்கும் போது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

3. வேலை அழுத்தம் போக்குவரத்துச் சூழலைத் தீர்மானிக்கிறது.

பொருத்தமான அடிப்படை வெற்றிடம் அடையப்பட்ட பிறகு, செயல்முறை வாயு செலுத்தப்பட்டு, அறையானது செயல்பாட்டு அழுத்த நிலைக்குள் நுழைகிறது.

செயல்பாட்டு அழுத்தம், சிதறடிக்கப்பட்ட அணுக்கள், அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்களின் சராசரி தடையற்ற பாதையை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. எனவே, இது பிளாஸ்மா பண்புகள், படிவு வீதம், அயனியாக்கம், துகள் சிதறல் மற்றும் படிவுப் பாய்வின் கோணப் பரவல் ஆகியவற்றைப் பாதிக்கிறது.

ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த அழுத்தத்தில், சிதறடிக்கப்பட்ட துகள்கள் குறைவான மோதல்களுடன் அறை வழியாகப் பயணிக்க முடியும், இதன் விளைவாகப் படிவுப் பாய்வு அதிக திசைசார்ந்ததாக அமைகிறது. இது சில பயன்பாடுகளுக்குப் பயனுள்ளதாக இருக்கலாம், ஆனால் சிக்கலான முப்பரிமாணக் கூறுகளின் மீது நிழலாக்க விளைவுகளை அதிகரிக்கக்கூடும்.

அழுத்தம் அதிகரிக்கும்போது, ​​படிவுப் பொருட்களுக்கும் வாயு மூலக்கூறுகளுக்கும் இடையிலான மோதல்கள் அடிக்கடி நிகழ்கின்றன. படிவுப் பாய்வு மேலும் சிதறடிக்கப்படுவதால், இது பள்ளமான பரப்புகளில் பூச்சுப் பரவலை மேம்படுத்தக்கூடும், ஆனால் அதே சமயம் படிவுத் திறனைக் குறைத்து, படலத்தின் உருவமைப்பையும் மாற்றக்கூடும்.

ஆகையால், செயல்பாட்டு அழுத்தத்தை வெறுமனே “சரியாக அமைக்கப்பட வேண்டிய” ஒரு மதிப்பாகக் கருதக்கூடாது. அது, படிவுப் பொருட்களின் போக்குவரத்து இயக்கவியலை நேரடியாகப் பாதிக்கும் ஒரு செயல்முறை மாறியாகும்.

4. வாயு ஓட்டமும் அழுத்தமும் ஒன்றல்ல.

நடைமுறை PVD செயல்பாட்டில், வாயு ஓட்டமானது பொதுவாக ஒரு நிறை ஓட்டக் கட்டுப்படுத்தி (MFC) மூலம் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, அதே சமயம் அறை அழுத்தமானது வாயு உள்ளீடு மற்றும் உந்தித் திறனுக்கு இடையிலான சமநிலையால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

இந்த வேறுபாடு மிகவும் முக்கியமானது.

வெவ்வேறு வெற்றிட அமைப்பு நிலைகளில், ஒரே வாயுப் பாய்வு விகிதமானது ஒரே செயல்பாட்டு அழுத்தத்தை உருவாக்கும் என்று அவசியமில்லை. உந்திச் செலுத்தும் வேகம், த்ராட்டில் வால்வின் நிலை, அறையின் கடத்துத்திறன் அல்லது உள்ளக வாயுப் பாய்வுப் பாதை மாறினால், அதன் விளைவாக ஏற்படும் அழுத்தமும் மாறக்கூடும்.

உதாரணமாக, ஒரு த்ராட்டில் வால்வு அல்லது பம்பிங் அமைப்பு அசாதாரணமாக இயங்கினால், அழுத்த விலகலை ஈடுசெய்வதற்காக இயக்குபவர் வாயு ஓட்டத்தை அதிகரிக்கலாம். அழுத்தம் தற்காலிகமாக இலக்கு மதிப்பிற்குத் திரும்பினாலும், உண்மையான வாயு ஓட்டம் மற்றும் பிளாஸ்மா நிலைமைகள் அதற்குள் மாறியிருக்கக்கூடும்.

எனவே, அனுபவம் வாய்ந்த செயல்முறைப் பொறியாளர்கள், இந்த இரண்டு அளவுருக்களில் ஏதேனும் ஒன்றை மட்டுமே செயல்முறையின் ஒரே குறிப்பாகப் பயன்படுத்துவதற்குப் பதிலாக, பொதுவாக வாயு ஓட்டம் மற்றும் அறை அழுத்தம் ஆகியவற்றை ஒன்றாகக் கண்காணிக்கின்றனர்.

5. வினைபுரியும் வாயு கட்டுப்பாடு அதிக உணர்திறன் கொண்டது

TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂ மற்றும் பிற கூட்டுப் பூச்சுகள் போன்ற வினைபுரியும் PVD செயல்முறைகளுக்கு, வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு கணிசமாக மிகவும் சிக்கலானதாகிறது.

வினைபுரியும் வாயு, படலம் உருவாவதில் நேரடியாகப் பங்கேற்கிறது. நைட்ரஜன், ஆக்ஸிஜன், அசிட்டிலீன், மீத்தேன் அல்லது பிற வினைபுரியும் வாயுக்கள், ஆவியாக்கப்பட்ட அல்லது சிதறடிக்கப்பட்ட கூறுகளுடன் வினைபுரிந்து இறுதிப் படலத்தின் கலவையைத் தீர்மானிக்கின்றன.

எனவே, வினைபுரியும் வாயுவின் பகுதி அழுத்தத்தில் ஏற்படும் ஒரு சிறிய மாற்றம், படலத்தின் பண்புகளில் ஒரு குறிப்பிடத்தக்க மாற்றத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

உதாரணமாக, போதுமான நைட்ரஜன் ஓட்டம் இல்லாதது முழுமையற்ற நைட்ரைடேஷனுக்கு வழிவகுக்கலாம், அதே சமயம் அதிகப்படியான நைட்ரஜன் படிவு விகிதம், பிளாஸ்மா பண்புகள், இலக்கின் நடத்தை மற்றும் படலத்தின் கலவை ஆகியவற்றைப் பாதிக்கக்கூடும். வினைபுரியும் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கில், அதிகப்படியான வினைபுரியும் வாயுவைச் செலுத்துவது இலக்கு நச்சுத்தன்மைக்கும் வழிவகுக்கும், இதில் இலக்கின் மேற்பரப்பில் ஒரு கூட்டுப் படலம் உருவாகி, ஸ்பட்டரிங் பண்புகளை மாற்றுகிறது.

இதனால்தான், வழக்கமான உலோகப் படிவு முறையை விட, வினைபுரியும் சிதறல் முறைக்கு பெரும்பாலும் மேம்பட்ட செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.

6. இலக்கு நஞ்சாதல் என்பது ஒரு பொதுவான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டுப் பிரச்சினை ஆகும்.

வினைபுரியும் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கில், வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டுடன் தொடர்புடைய மிகவும் பொதுவான சிக்கல்களில் ஒன்று இலக்கு நஞ்சாதல் ஆகும்.

வினைபுரியும் வாயுவின் பகுதி அழுத்தம் ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பைத் தாண்டி அதிகரிக்கும்போது, ​​இலக்கின் மேற்பரப்பு ஒரு கூட்டுப் படலத்தால் மூடப்படலாம். அப்போது அந்த இலக்கானது, உலோகச் சிதறல் நிலையிலிருந்து நச்சுற்ற நிலைக்கு மாறுகிறது.

இந்த நிலைமாற்றம், சிதறல் வீதம், வெளியேற்ற மின்னழுத்தம், வெளியேற்ற மின்னோட்டம், இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான் உமிழ்வு, படிவு வீதம் மற்றும் படலத்தின் கலவை ஆகியவற்றில் மாற்றங்களை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

வினைபுரியும் வாயு ஓட்டத்திற்கும் இலக்கு நிலைக்கும் இடையிலான தொடர்பு பெரும்பாலும் நேரியலற்றதாக இருப்பதால், இப்பிரச்சனை மேலும் சவாலானதாகிறது. வாயு ஓட்டத்தில் ஏற்படும் ஒரு சிறிய மாற்றம், செயல்முறை நிலையில் விகிதாசாரமற்ற வகையில் ஒரு பெரிய மாற்றத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

எனவே, அதிக அளவு உற்பத்திக்கு, ஒரு நிலையான வினைபுரியும் வாயு ஓட்டத்தை மட்டும் நம்பியிருப்பது போதுமானதாக இருக்காது. மேலும் மேம்பட்ட அமைப்புகள், வினைபுரியும் படிவு வரம்பை நிலைப்படுத்த, ஒளியியல் உமிழ்வு, வெளியேற்றப் பண்புகள், பகுதி அழுத்த அளவீடு அல்லது பிற செயல்முறை சமிக்ஞைகளின் அடிப்படையில் அமைந்த மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாட்டைப் பயன்படுத்தலாம்.

7. அறையின் தூய்மை வளிமண்டல நிலைத்தன்மையை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது

வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு என்பது வாயு விநியோக அமைப்பை மட்டும் சார்ந்ததல்ல. பூச்சு அறையின் உள் நிலையும் சம அளவில் முக்கியமானது.

தொடர்ச்சியான உற்பத்திச் சுழற்சிகளின் போது, ​​பூச்சுப் பொருள் படிப்படியாக அறைச் சுவர்கள், கவசங்கள், அடித்தளப் பொருத்திகள் மற்றும் பிற உள் பாகங்களில் குவிகிறது. இந்தப் படிவுகள் துகள் மாசுபடுதல் அல்லது வாயு வெளியேற்றத்திற்கான மூலங்களாக மாறக்கூடும். மேலும், சில படிவுகள் செயல்முறை வாயுக்களுடன் வினைபுரியலாம் அல்லது அடுத்தடுத்த வெப்பமூட்டல் மற்றும் பிளாஸ்மா செயல்பாட்டின் போது முன்னர் உறிஞ்சப்பட்ட வாயுக்களை வெளியிடலாம்.

செயல்முறை செய்முறை மாறாமல் இருந்தாலும், இது அறையின் உண்மையான சூழலை படிப்படியாக மாற்றக்கூடும்.

இக்காரணத்தால், அறையைத் தவறாமல் சுத்தம் செய்தல், கவசத்தை மாற்றுதல், பொருத்துதல்களைப் பராமரித்தல் மற்றும் வெற்றிட அடைப்பானைச் சோதித்தல் ஆகியவை வளிமண்டல மேலாண்மையின் இன்றியமையாத பகுதிகளாகும்.

ஒரு நிலையான PVD செயல்முறை என்பது, ஒரு நிலையான செய்முறையின் விளைவு மட்டுமல்ல. அது, அறைக்குள் ஒப்பீட்டளவில் நிலையான ஒரு பௌதீகச் சூழலைப் பராமரிப்பதைப் பொறுத்தது.

8. எரிவாயுவின் அளவைப் போலவே அதன் விநியோகமும் முக்கியமானது.

மற்றொரு நடைமுறைச் சிக்கல் என்னவென்றால், அறைக்குள் நுழையும் வாயுவின் மொத்த அளவு, ஒரு சீரான செயல்முறைச் சூழலுக்கு உத்தரவாதம் அளிப்பதில்லை.

வாயு உள்ளீட்டு வழி, ஷவர்ஹெட், தடுப்பான், உந்தித் துளை, கட்டுப்படுத்தும் வால்வு மற்றும் அடி மூலக்கூறு தாங்கி ஆகியவற்றின் வடிவமைப்பும் அமைவிடமும், அறைக்குள் வாயு எவ்வாறு விநியோகிக்கப்படுகிறது என்பதைத் தீர்மானிக்கின்றன.

வாயுக்கள் சரியாகப் பரவாதது, வினைபுரியும் வாயுவின் செறிவு அல்லது பிளாஸ்மாவின் அடர்த்தியில் குறிப்பிட்ட இடங்களில் மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும். இதன் விளைவாக, அடித்தளத்தின் வெவ்வேறு இடங்களில் படலத்தின் கலவை அல்லது தடிமன் வேறுபடலாம்.

பெரிய பரப்பளவு பூச்சு அமைப்புகளுக்கும், அதிக சுமை தாங்கும் திறன் கொண்ட உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கும் இது குறிப்பாக முக்கியமானது.

எனவே, ஒரு வெற்றிடப் பூச்சு இயந்திரத்தை உகந்ததாக்கும்போது, ​​பிளாஸ்மா மூல உள்ளமைவு, அடி மூலக்கூறு சுழற்சி, உந்தி வடிவியல் மற்றும் அறை அமைப்பு ஆகியவற்றுடன் வாயு ஓட்ட வடிவமைப்பையும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

9. மேற்பூச்சில் திடீரென மாற்றம் ஏற்பட்டால், முதலில் சூழலைச் சரிபார்க்கவும்.

உண்மையான உற்பத்தியின்போது, ​​பூச்சுப் பிரச்சனைகள் பெரும்பாலும் நிறம், கடினத்தன்மை, ஒட்டுதல், பூச்சுத் தடிமன் அல்லது மின் செயல்திறனில் ஏற்படும் திடீர் மாற்றங்களாக வெளிப்படுகின்றன.

இது நிகழும்போது, ​​படிவுத் திறன், அடி மூலக்கூறு சாய்வு அல்லது படிவு நேரத்தை உடனடியாகச் சரிசெய்யத் தோன்றும். இருப்பினும், வளிமண்டலம் தொடர்பான மாறிகள் முதலில் சரிபார்க்கப்பட வேண்டும்.

ஒரு நடைமுறைப் பழுதுநீக்கும் செயல்முறை என்பது, தற்போதைய உற்பத்தித் தரவுகளை இயல்பான செயல்முறை நிலைமைகளுடன் ஒப்பிடுவதாகும்: அடிப்படை அழுத்தம், வெளியேற்ற நேரம், செயல்பாட்டு அழுத்தம், செயல்முறை வாயு ஓட்டம், வினைபுரியும் வாயு ஓட்டம், த்ராட்டில் வால்வின் நிலை, வெளியேற்ற மின்னழுத்தம்/மின்னோட்டம், அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை மற்றும் படிவு வீதம்.

இந்த அளவுருக்களில் ஏதேனும் ஒன்று மாறியிருந்தால், அது பூச்சு செய்முறையை வெறுமனே மாற்றுவதை விட நேரடியான விளக்கத்தை அளிக்கக்கூடும்.

குறிப்பாக, வாயு ஓட்ட அமைப்பு மாறாமல் இருந்தும் அறை அழுத்தம் மாறியிருந்தால், அந்தப் பிரச்சனை பூச்சுப் பொருளில் இல்லாமல், பம்பிங் அமைப்பு, அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டு வால்வு, வாயு வழங்கல், அறை கடத்துத்திறன் அல்லது கசிவு நிலையில் இருக்கலாம்.

10. வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு என்பது அடிப்படையில் ஒரு அமைப்பு-கட்டுப்பாட்டுச் சிக்கலாகும்.

தொழில்துறை வெற்றிடப் பூச்சுத் துறையில் இருந்து பெறப்பட்ட நடைமுறை அனுபவம், வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை ஒட்டுமொத்த வெற்றிட அமைப்பிலிருந்து பிரிக்க முடியாது என்பதைக் காட்டுகிறது.

வெற்றிடப் பம்புகள் அறையின் உந்திச் செலுத்தும் திறனைத் தீர்மானிக்கின்றன. வாயு விநியோக அமைப்பு, வாயு உள்ளீட்டைத் தீர்மானிக்கிறது. கட்டுப்படுத்தும் வால்வு, வாயு ஓட்டத்திற்கும் அறை அழுத்தத்திற்கும் இடையிலான தொடர்பை ஒழுங்குபடுத்துகிறது. பிளாஸ்மா மூலம், வாயு எவ்வாறு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு, படிவுப் பொருட்களுடன் வினைபுரிகிறது என்பதைத் தீர்மானிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு அமைப்பு, வேலைப்பொருள் பிளாஸ்மாவுடன் எவ்வாறு வினைபுரிகிறது என்பதைத் தீர்மானிக்கிறது.

இந்த அமைப்புகள் ஒரே நேரத்தில் இயங்குகின்றன, மேலும் ஒரு அளவுருவில் ஏற்படும் மாற்றம் மற்ற பலவற்றைப் பாதிக்கக்கூடும்.

எனவே, ஒரு முதிர்ந்த PVD செயல்முறையானது, ஒரே ஒரு நிலையான அளவுருவைச் சார்ந்திருப்பதை விட, ஒரு நிலையான செயல்முறை வரம்பை நிறுவ வேண்டும். உற்பத்தி முழுவதும் வெற்றிட அழுத்தம், வாயு ஓட்டம், பிளாஸ்மா பண்புகள், அடி மூலக்கூறு நிலைமைகள் மற்றும் படிவு அளவுருக்கள் ஆகியவை ஒரு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வரம்பிற்குள் இருப்பதை உறுதி செய்வதே இதன் நோக்கமாகும்.

முடிவு

நிலையான வெற்றிடப் பூச்சின் அடிப்படைக் கூறுகளில் ஒன்று வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு ஆகும். அடித்தள அழுத்தம் மற்றும் எஞ்சிய வாயு மேலாண்மை முதல் செயல்பாட்டு அழுத்தம், வாயு ஓட்டம், வினைபுரியும் வாயுவின் பகுதி அழுத்தம், இலக்கு நஞ்சாதல் மற்றும் அறைத் தூய்மை வரை ஒவ்வொரு காரணியும் இறுதிப் பூச்சின் மீது தாக்கத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

வழக்கமான PVD படிவுமுறைக்கு, நிலையான வளிமண்டல நிலைமைகள் மீண்டும் மீண்டும் நிகழக்கூடிய படல வளர்ச்சிக்கு ஓர் அடித்தளத்தை வழங்குகின்றன. வினைபுரியும் சிதறல் மற்றும் பிற பிளாஸ்மா உதவி செயல்முறைகளுக்கு, துல்லியமான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு இன்னும் முக்கியமானதாகிறது, ஏனெனில் வாயுவின் கலவை படல உருவாக்கத்தில் நேரடியாகப் பங்கேற்கிறது.

எனவே, வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டின் உண்மையான நோக்கம் என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் அல்லது வாயு ஓட்ட மதிப்பை வெறுமனே பராமரிப்பது அல்ல. பிளாஸ்மா, படிவு இனங்கள், அடிமூலக்கூறு மற்றும் வினைபுரியும் வளிமண்டலம் ஆகியவை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நிலையில் இருக்கும் ஒரு நிலையான மற்றும் மீண்டும் உருவாக்கக்கூடிய படிவுச் சூழலை நிறுவுவதே அதன் நோக்கமாகும்.

தொழில்துறை வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்களுக்கு, வெற்றிட உந்தி அமைப்பு, வாயு விநியோக அமைப்பு, அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, பிளாஸ்மா மூலம், அறை கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டு மென்பொருள் ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த வடிவமைப்பு தேவைப்படுகிறது.

-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்